专利名称：太阳能电池用氮化硅坩埚的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种太阳能电池用氮化硅坩埚，属于太阳能电池生产设备的领 域。
背景技术：
目前，单晶硅拉制采用石英坩埚为主要基体材料，高温下石英材料会与液态硅发 生反应，引起粘埚现象，无法实现坩埚多次使用。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、能实现重复使用的太阳能 电池用氮化硅坩埚。为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种太阳能电池用氮化硅坩埚，其特点 是所含氮化硅的重量比为70-98%且气孔率小于10%的可重复用坩埚为顶部敞开的横截 面为圆形的槽体。进一步，所述坩埚为冷等静压或浇铸一体成型的结构。本实用新型具有积极的效果(1)本实用新型的火管式空气预热烧嘴太阳能电池 用氮化硅坩埚，由于由高致密度的氮化硅材料(所含氮化硅的重量比为70-98%且气孔率 小于10% )构成，在高温下该高致密的氮化硅不与液态硅反应，因此使坩埚可以重复使用。
(2)坩埚材料的气孔率小于10%，使材料不存在连通的气孔，可以阻止高温液态硅的渗入。
(3)可拆卸式的坩埚可以方便脱模，防止脱模过程对坩埚的损害，以提高坩埚的使用寿命， 可使用至少50次。
为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据的具体实施例并结合附 图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中图1为实施例中的太阳能电池用氮化硅坩埚的剖面结构示意图。
具体实施方式
见图1，本实施例的太阳能电池用氮化硅坩埚，所含氮化硅的重量比为70-98%且 气孔率小于10%，以实现重复使用。该坩埚的生产工艺依次为混料、成型、气压烧结和加 工。坩埚为顶部敞开的横截面为圆形或方形的槽体，且坩埚为冷等静压或浇铸一体成型的 结构。其他实施方式中，坩埚可以为适于在多晶硅太阳能电池铸锭和单晶硅硅棒的拉制中 所使用的任何形状的坩埚。若坩埚为横截面为圆形的槽体，则其高度为204mm，直径为204mm。上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型 的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。
权利要求一种太阳能电池用氮化硅坩埚，其特征在于气孔率小于10％的可重复用坩埚为顶部敞开的横截面为圆形的槽体。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池用氮化硅坩埚，其特征在于所述坩埚为冷等静 压或浇铸一体成型的结构。
专利摘要本实用新型涉及一种太阳能电池用氮化硅坩埚，其所含氮化硅的重量比为70-98％且气孔率小于10％；坩埚为顶部敞开的横截面为圆形的槽体，且坩埚为冷等静压或浇铸一体成型的结构。或所述坩埚为底部与埚体通过陶瓷销钉固定的拼装式结构。由于由高致密度的氮化硅材料构成，在高温下该高致密的氮化硅不与液态硅反应，因此使坩埚可以重复使用并阻止高温液态硅的渗入。可拆卸式的坩埚可以方便脱模，防止脱模过程对坩埚的损害，以提高坩埚的使用寿命，可使用至少50次。
文档编号C30B29/06GK201567387SQ20092025601
公开日2010年9月1日 申请日期2009年12月1日 优先权日2009年12月1日
发明者冯志峰 申请人:江苏华盛精细陶瓷科技有限公司