专利名称：五速段自动整体搅拌系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅片处理设备，尤其涉及一种用于硅片碱液制绒面处理中，可以 使碱液在清洗过程中的浓度、温度均勻以及减少碱液结晶的五速段自动整体搅拌系统。
背景技术：
在硅片碱液制绒面处理过程中，清洗硅片时碱液的浓度、温度是否均勻以及碱液 结晶多少是必须控制的。这直接影响硅片清洗的质量。现有制绒碱液的浓度、温度及结晶 的控制是采用简单的搅拌装置来控制，碱液各点温度的及时检测和碱液的及时搅拌，都不 能有效的控制，使得碱液结晶较快、较多，影响硅片碱液制绒面处理的质量。
发明内容为解决上述技术问题，本实用新型提出一种可以高效、准确控制碱液浓度、温度以 及减少碱液结晶的五速段自动整体搅拌系统。本实用新型提出的五速段自动整体搅拌系统，其包括设于制绒槽内上部的吸水管 和下部的出水管、与吸水管和出水管联通的循环泵、设于制绒槽内各处的检测装置，还包括 一控制系统。该控制系统包括可控制循环泵以五个速度段运转的变频器，所述的检测装置 与该控制系统连接。本实用新型的检测装置不断测量碱液中各点的温度，当各点的温差达到设备设定 值时，控制系统将控制循环泵抽吸和排放制绒槽中的液体，进行循环搅拌，并会根据温差的 大小控制循环泵以高速、较高速、中速、较低速、低速一五个速度段运转，自动调整循环搅 拌速度。以便快速控制槽内的温差以及防止碱液结晶。本实用新型采用五速段自动整体搅 拌系统来调节搅拌速度，其结合电气控制和检测功能，达到使制绒碱液浓度、温度均勻及减 少结晶的效果。
以下结合附图和实施例对本实用新型作出详细的说明，其中
图1为本实用新型较佳实施例结构示意图；图2为图1的剖视图。
具体实施方式
图1和图2示出了本实用新型较佳实施例基本结构，所述的五速段自动整体搅拌 系统，其包括设于制绒槽1内上部的吸水管2和下部的出水管3、与吸水管2和出水管3联 通的循环泵4、设于制绒槽1内各处的检测装置5，还包括一控制系统。该控制系统包括可 控制循环泵4以高速、较高速、中速、较低速、低速一五个速度段运转的的变频器6，所述的 检测装置5与控制系统连接。在硅片的清洗过程中，检测装置5不断测量制绒槽1中的碱液中各点的温度，当各点的温差达到设备设定值时，控制系统通过变频器6控制循环泵4启动，循环泵由吸水管2 和出水管3来抽吸和排放制绒槽中的液体，从而使得液体进行循环搅拌。变频器控制循环 泵以高速、较高速、中速、较低速、低速一五个速度段运转，根据温差自动调整循环搅拌速 度。搅拌的速度也可人工在控制系统的触摸屏上调整。这样便可以快速的控制槽内的温差 以及防止碱液结晶，加工出高质量的硅片。 以上结合较佳实施方式对本实用新型进行了具体描述，但是本技术领域内的技术 人员可以对这些实施方式做出多种变更或变化，这些变更和变化应落入本实用新型保护的 范围之内。
权利要求一种五速段自动整体搅拌系统，其特征在于，包括设于制绒槽(1)内上部的吸水管(2)和下部的出水管(3)、与吸水管(2)和出水管(3)联通的循环泵(4)、设于制绒槽(1)内各处的检测装置(5)，还包括一控制系统；该控制系统包括可控制循环泵(4)以五个速度段运转的变频器(6)，所述的检测装置(5)与控制系统连接。
专利摘要本实用新型公开了一种五速段自动整体搅拌系统，其包括设于制绒槽内上部的吸水管和下部的出水管、与吸水管和出水管联通的循环泵、设于制绒槽内各处的检测装置，还包括一控制循环泵的控制系统。该控制系统包括可控制循环泵以五个速度段运转的变频器，所述的检测装置与该控制系统连接。本实用新型根据检测装置提供的数据，由控制系统将控制循环泵抽吸和排放制绒槽中的液体，进行循环搅拌，并可以五个速度段运转来自动调整搅拌速度，以便快速的控制槽内的温差以及防止碱液结晶。
文档编号C30B33/10GK201586488SQ20092026115
公开日2010年9月22日 申请日期2009年12月8日 优先权日2009年12月8日
发明者左国军 申请人:常州捷佳创精密机械有限公司