专利名称：一种用于直拉法生长硅单晶车间内外吸尘器管道的插口的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于直拉法生长硅单晶车间内吸尘器管道的插口。该插口可 以解决常规吸尘器管道在吸尘器接口处长期插拔对接口造成的损坏，可以在不停机吸尘器 的情况下轻易的拔出外部吸尘器软管，避免吸尘器的反复起停。
背景技术：
直拉法生长硅单晶过程中，高温下硅同炉室内的氧会发生反应，生成大量硅的氧 化物，绝大多数氧化物会随同炉室内流通的冷却气体排出去，但仍然有一部分沉积在炉壁、 热场石墨件、加热器等表面，如不及时清理，沉积的碎屑在晶体生长过程中落入硅熔体里并 飘到晶体表面会造成单晶坏。在每一炉停炉后，需要使用吸尘器吸出沉积在炉壁和热场表面的氧化物杂质。为 了满足吸除效果，使用了较大吸力的吸尘器，在每台单晶炉附近安装吸尘器接口，通过管道 将吸尘器和接口连接，使用时，需要将吸尘器软管的外部插口插到管道接口内，外部插口和 管道接口通常为由塑料基座固定的不锈钢管，外部插口直径略小于管道接口。清理结束后，通常在吸尘器运转过程中需要将外部插口拔出，由于吸尘器吸力较 大，分离两者需要大力的晃动和拉拔动作，很快造成管道接口的固定装置损坏，接口处漏 气，外部吸尘器软管的吸力下将，影响工作效率并造成较大噪音。如果采用停机吸尘器的方 式拔出插口，则反复起停对大型吸尘器寿命也有不良影响。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种用于直拉法生长硅单晶车间内外吸尘器管道的插 口，该插口可使插拔过程对管道接口损坏大大降低。为实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案这种用于直拉法生长硅单晶车间内外部吸尘器管道的插口，该插口一端设有接车 间内吸尘器管道的接口，另一端设接外部吸尘器软管的接口，本插口的侧面设有窗口，窗口 上方设有轴，有一主板与轴绞接。吸尘系统的连接方式采用内部吸尘器-吸尘器管道-管道接口 _本插口 -外部 吸尘器软管。本插口主体为钢管，钢管侧面有一个可以打开的窗口。吸尘器工作状态下需要拔下外部吸尘器软管插口时，首先打开窗口，使进气主要 通过窗口，此时吸尘器软管内真空度降低，软管插口同吸尘器接口之间吸附力大大减小，此 时拔下插口较容易，不会对接口造成损坏。本实用新型的优点是通过打开本插口上窗口的方式，使吸尘器气路不再经过吸 尘器软管，使插口和接口连接处后端真空度大幅下降，两者连接紧密度下降，可以轻易的在 吸尘器工作过程中仍具有较大吸力的情况下拔出吸尘器软管，即不损坏管道接口，也不必 关闭吸尘器，造成吸尘器电机反复起停造成的损害。
图1 使用本发明插口的吸尘系统示意图图2a 已有的外部吸尘器软管与吸尘器管道接口连接示意图图2b 本发明插口与吸尘器管道接口连接示意图图3a 本发明插口和主视图图3b:图3a的侧视图图4a:打开窗口盖板侧视图图4b 打开窗口盖板后的插口主剖视图图4c 图4b的右剖视图(不包括窗口盖)图1中，10、为本实用新型的插口，11管道，12为内部吸尘器，13外部吸尘软管，14、
吸尘器管道接口。图2a、图2b、图3a、图3b、图4a、图4b、图4c中1、窗口 ；2、窗口旋转轴；3、窗口盖 板；5、窗口进气流；6、管道进气流；7、密封圈。
具体实施方式
吸尘系统的连接方式采用内部吸尘器12-吸尘器管道11-管道接口 14-插口-外 部吸尘器软管13。插口一端设有接车间内吸尘器管道的接口 14，另一端设接外部吸尘器软管的接 口，本插口的侧面设有窗口 1，窗口上方设有轴2，有一主板3与轴绞接。窗口盖板围绕窗口旋转轴旋转窗口周围装有密封圈。窗口长、宽与管道大于插口管道直径的1. 1倍。吸尘器工作状态下需要从管道接口处拔出吸尘器软管插口时，首先打开窗口盖， 使吸尘器软管直接与外部气体联通，气流通过窗口进入吸尘器软管，从吸尘器软管插口进 入吸尘器软管的气流量大大减小，插口和管道接口之间吸附力减弱，将插口从管道接口中 拔出。
权利要求一种用于直拉法生长硅单晶车间内、外部吸尘器管道的插口，其特征在于插口一端设有接车间内吸尘器管道的接口，另一端设接外部吸尘器软管的接口，本插口的侧面设有窗口，窗口上方设有轴，有一盖板与轴绞接。
2.根据权利要求1所述的一种用于直拉法生长硅单晶车间内、外部吸尘器管道的插 口，其特征在于窗口周围装有密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种用于直拉法生长硅单晶车间内、外部吸尘器管道插口， 其特征在于窗口长、宽大于插口管道直径的1.1倍。
专利摘要一种用于直拉法生长硅单晶车间内、外部吸尘器管道的插口，该插口的一端设有接车间内吸尘器管道的接口，另一端设接外部吸尘器软管的接口，本插口的侧面设有窗口，窗口上方设有轴，有一主板与轴铰接。本实用新型的优点是通过打开本插口上窗口的方式，使吸尘器气路不再经过吸尘器软管，使插口和接口连接处后端真空度大幅下降，两者连接紧密度下降，可以轻易的在吸尘器工作过程中仍具有较大吸力的情况下拔出吸尘器软管，既不损坏管道接口，也不必关闭吸尘器，避免造成吸尘器电机反复起停造成的损害。
文档编号C30B29/06GK201624607SQ20092027747
公开日2010年11月10日 申请日期2009年11月27日 优先权日2009年11月27日
发明者高宇 申请人:北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司