太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚的制作方法

文档序号:8138468阅读:367来源:国知局
专利名称:太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚的制作方法
技术领域
本发明涉及一种太阳能硅生产用石英坩埚,具体地说是一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚。
背景技术
石英坩埚是太阳能硅单晶生产的生要元件之一,它不仅影响长晶的成品率,也会影响单晶的电学性能。太阳能硅单晶生产是将块状的高纯度多晶硅置于石英坩埚,加热使其熔化,并利用硅单晶制成的籽晶进行下种引晶,达到排除位错的目的,从而拉制出无位错单晶。由于熔融的硅熔体与石英坩埚在高温环境下会发生化学反应,对石英坩埚内壁产生侵蚀,不但降低了石英坩埚耐高温的能力,同时也影响了硅单晶的纯度。

发明内容
本发明的目的是克服现有技术不足,提供一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩祸。本发明采用的技术方案一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体,所述石英坩埚埚体的内壁上设有一层碳酸钡涂层。本发明在太阳能硅单晶生产用的石英坩埚内壁涂厚度均勻的含有结晶水的氢氧化钡层,氢氧化钡涂层与空气中的二氧化碳反应会生成碳酸钡。这种涂层石英坩埚在单晶炉上被加热时,碳酸钡将被分解形成氧化钡,氧化钡又会与石英坩埚反应形成矽酸钡 (BaSiO3)。由于矽酸钡的存在,使得石英坩埚壁上形成一层致密微小的白矽石结晶,这种微小的白矽石结晶很难被溶液渗入而剥落,即使剥落也很快会被溶液溶解掉。有益效果;本发明可以大幅度地延长石英坩埚的使用寿命,可以有效提高长晶成品率。另外在石英坩埚内壁上形成的一层白矽石结晶,可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化的现象。


附图为本发明结构示意图。
具体实施例方式下面结合具体实施方式
对本发明作进一步说明如附图所示一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体1,所述石英坩埚埚体1的内壁上设有一层碳酸钡涂层2。
权利要求
1. 一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体(1),其特征在于所述石英坩埚埚体(1)的内壁上设有一层碳酸钡涂层O)。
全文摘要
本发明公开了提供一种太阳能硅单晶生产用涂层石英坩埚,包括石英坩埚埚体,所述石英坩埚埚体的内壁上设有一层碳酸钡涂层。本发明可以大幅度地延长石英坩埚的使用寿命,可以有效提高长晶成品率。另外在石英坩埚内壁上形成的一层白矽石结晶,可以增加石英坩埚的强度,减少高温软化的现象。
文档编号C30B15/10GK102199787SQ20101013061
公开日2011年9月28日 申请日期2010年3月23日 优先权日2010年3月23日
发明者池金林 申请人:扬州华尔光电子材料有限公司
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