专利名称：电气柜的制作方法
技术领域：
本发明涉及电器设备散热技术领域，且特别涉及一种应用于光刻机中的电气柜。
背景技术：
目前工业中的各种数控设备，越来越向小型化和机电气一体化方向发展，由于采用了大量的集成电路和狭小的电器控制柜，当设备正常工作时，电路部分发热量越来越大， 因此设备电气柜的散热已成相关行业所要解决的一项重要课题。在工程应用中，电气柜的控温方式大多采用热抽排的方式。热抽排即将电气柜内板卡等热源散发到内部空气中的热量抽排到外部环境中，同时电气柜内不断补充恒温气体。这样，一方面可以保护板卡等电子元件，另一方面控制电气柜外表面的温度，使之不至于影响到系统的温度分布，甚至影响到激光设备的正常运行。然而通过对热抽排的长期研究发现，请参见图1，现有的安装热抽排的电气柜，都是在电气柜壳体110—侧(底部或其他位置)开一个足够大的圆口作为出气口 120，将抽排管路130直接安装所开的出气口 120上，这种普通抽排方式，热抽排效率低，其原因主要是恒温空气平顺的流过板卡等发热元件，在电气柜内以行程最短的方式被抽掉，导致发热元件无法与低温空气进行充分的热交换，使发热元件无法得到很好的散热和降温，进而无法保证电气设备的稳定运行。
发明内容
本发明旨在解决现有技术中，由于电气设备的电气柜中的散热部件的设计缺陷， 导致散热效率低，发热元件无法与低温空气进行充分的热交换等技术问题。有鉴于此，本发明提供一种电气柜，其特征在于，包括壳体；进气口及出气口，设置于所述壳体上；散热导流装置，设置于所述出气口处。进一步的，所述散热导流装置为带有轴流旋转叶片式散热导流装置。进一步的，所述散热导流装置与排气管道匹配。进一步的，所述的电气柜，还包括散热导流肋片，设置于所述壳体内壁。进一步的，所述散热导流肋片为螺旋式设置于所述壳体内壁。本发明提供的电气柜的散热导流装置集中在电气柜抽排出口处，改善电气柜内部流场，气流更充分的流过发热部件，提高换热效率，更好的保护板卡等电子元件，同时使电气柜外表面的温度更均勻可控。提高了抽排系统的效率，节约能耗，能有效保证设备系统内的温度，保证光刻机等设备的正常运行。另一方面，此散热导流装置固定于电气柜外侧，便于安装与拆卸清洗，且与排气管路完全贴合，易于实现标准化。
图1所示为现有技术中热抽排电气柜的结构示意图；图2所示为本发明一实施例提供的电器柜的结构示意图3所示为本发明一实施例提供的电器柜中散热导流装置的结构示意图；图4所示为本发明另一实施例提供的电器柜的结构示意图。
具体实施例方式为使本发明的技术特征更明显易懂，下面结合附图，给出具体实施例，对本发明做进一步的描述。请参见图2，其所示为本发明一实施例提供的电器柜的结构示意图。该电气柜，包括壳体210，进气口 220及出气口 230，设置于所述壳体210上；散热导流装置对0，设置于所述出气口 230处。举例说明，该电气柜采用的是热抽排式散热结构，在电气柜中的板卡直立的情况下，进气口 220设置在电气柜壳体210上部，出气口 230设置在电气柜壳体210下部，散热导流装置240安装在电器柜的出气口 230处，排气管道与出气口 230连接抽气时，电气柜中形成低压，低温空气通过进气口 220进入电气柜内，与板卡等发热元件进行热交换，当空气被抽排到出气口处时，藉由散热导流装置M0，改变了抽排流场，使空气产生旋流，增加了空气流过板卡等发热元件的行程和速度，因而提高了热交换的效率，更好的保护板卡等电子元件，保证电气设备的稳定运行。在本实施例中，请结合参见图3，所述散热导流装置240为带有轴流旋转叶片式散热导流装置，其包括一轴对1，以及设置于轴241上的叶片M2。当进行热抽排时，由于轴流旋转叶片式散热导流装置的作用，电气柜内部空气流线由最初的缓慢平顺流过板卡变为快速旋转流过板卡等发热元件，板卡与抽排空气的对流换热系数增加，空气流过板卡的行程更长，换热效率明显提高。与普通的直接与抽排管路连接的电气柜相比，增加轴流旋转叶片式散热导流装置的新型电气柜可以更好的保护板卡等电子元件，同时使电气柜外表面的温度更均勻可控。提高了抽排系统的效率，节约能耗，能有效保证设备系统内的温度，使得激光等设备的正常运行。另一方面，此散热导流装置固定于电气柜出气口处，便于安装与拆卸清洗，此外， 散热导流装置与排气管道匹配，与管道完全贴合，易于实现标准化。请参见图4，其所示为本发明另一实施例提供的电器柜的结构示意图。该电气柜，包括壳体410，进气口 420及出气口 430，设置于所述壳体410上；散热导流装置440，设置于所述出气口 430处。该电气柜还包括散热导流肋片450，设置于所述壳体内壁。在本实例中，散热导流肋片450为螺旋式设置于所述壳体410内壁。在电气柜内部四周壁面上布置与轴流旋转叶片式散热导流装置同样旋转方向的散热导流肋片，帮助气流更快速的流过板卡的发热部件。综上所述，本发明实施例提供的电气柜的散热导流装置集中在电气柜抽排出口处，改善电气柜内部流场，气流更充分的流过发热部件，提高换热效率，更好的保护板卡等电子元件，同时使电气柜外表面的温度更均勻可控。提高了抽排系统的效率，节约能耗，能有效保证设备系统内的温度，保证光刻机等设备的正常运行。另一方面，此散热导流装置固定于电气柜外侧，便于安装与拆卸清洗，且与排气管路完全贴合，易于实现标准化。虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求
1.一种电气柜，其特征在于，包括 壳体；进气口及出气口，设置于所述壳体上； 散热导流装置，设置于所述出气口处。
2.根据权利要求1所述的电气柜，其特征在于，所述散热导流装置为带有轴流旋转叶片式散热导流装置。
3.根据权利要求1所述的电气柜，其特征在于，所述散热导流装置与排气管道匹配。
4.根据权利要求1所述的电气柜，其特征在于，其还包括散热导流肋片，设置于所述壳体内壁。
5.根据权利要求4所述的电气柜，其特征在于，所述散热导流肋片为螺旋式设置于所述壳体内壁。
全文摘要
本发明揭示了一种电气柜，其包括壳体；进气口及出气口，设置于所述壳体上；散热导流装置，设置于所述出气口处。本发明提供的电气柜的散热导流装置集中在电气柜抽排出口处，改善电气柜内部流场，气流更充分的流过发热部件，提高换热效率，更好的保护板卡等电子元件，同时使电气柜外表面的温度更均匀可控。提高了抽排系统的效率，节约能耗，能有效保证设备系统内的温度，保证光刻机等设备的正常运行。
文档编号H05K5/02GK102348363SQ201010241669
公开日2012年2月8日 申请日期2010年7月30日 优先权日2010年7月30日
发明者于文忠, 余斌, 张洪博, 王明 申请人:上海微电子装备有限公司