一种硅液冶炼炉的制作方法

文档序号:8145433阅读:599来源:国知局
专利名称:一种硅液冶炼炉的制作方法
技术领域
本实用新型及一种硅液冶炼炉的改进,它可用来冶炼、提纯硅液以及蓝宝石。 技术背景太阳能的利用是目前世界上最热门的项目之一,太阳能电池是其关键课题,因此 有不少的有关单晶硅、多晶硅冶炼炉的技术提出。例如,中国专利CN2008/10038676. 4号关 于“用于制备高纯多晶硅的装置”,它包括通过管道顺序相连的金属蒸发炉,还原反应炉和 尾气收集炉,在金属蒸发炉上有氮气的进气口,在还原反应炉上设有氮气作为载气的四氯 化硅蒸汽的进气口,在尾气收集炉上设有出气口,这种设备可独立运行,增加原材料的利用 率,但是设备庞大,工艺上有一定缺陷,也比较复杂,还会对环境造成一定污染。
发明内容本实用新型的任务是要提供一种独特结构的硅液冶炼炉,其构思比较新颖、合理, 它使硅液的冶炼和提纯效果明显,炉温高,产品质量稳定,成本低,并且不会对环境产生污
^fe ο本实用新型的任务是以如下方式完成的,这种硅液冶炼炉的壳体采用纯石墨材料 制成的,右侧壳体内有一个进气孔和进气管,进气管上面连通进气孔,下面穿过壳体底部与 翻液炉底上的出气口连通,出气口呈圆形,出气口上面开有9个气孔,翻液炉底右边面积比 左边小,右边的气孔也比左边的气孔小。在冶炼提纯时通过高频电磁场对冶炼炉加热,炉内 温度可高达2700°C -3300°C,进气孔内壁是螺纹结构,其长度大于2cm,通过进气孔不断输 入氧气、氮气等,使炉内的硅液不断翻滚,硅碴通过翻滚逐渐上浮到表面,使下层硅液得到 提纯,从而获得高纯度的硅晶体。

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。图1是本实用新型的硅液冶炼炉主视面剖视图。图2是本实用新型的硅液冶炼炉俯视剖视图。图中1、壳体;2、进气孔;3、进气管;4、翻液炉底;5、出气口 ;6、气孔。
具体实施方式
从图1可知道,这种硅液冶炼的壳体1是采用纯石墨材料制成的,在其右侧的壳体 1内有一个进气孔2和进气管3,进气管3 —端与进气孔2连通,另一端则穿过壳体1的底 部与翻液炉底4上的出气口 5连通,出气口 5是圆形,在它上面开有9个气孔6,翻液炉底4 的右边面积比左边小,同样右边的气孔6也比左边的气孔6小,进气孔2内壁呈螺纹结构, 其长度要大于2c,这样进气孔2与外面的通气管连接是全密封的。图2是这种硅液冶炼炉的俯视剖面图,进气孔2和进气管3是在冶炼炉壳体1的 一侧,翻液炉底4的中央是一个圆形的出气口 5,在出气口 5上开有9个气孔6,这种采用纯石墨材制成的壳体1在高频电磁场加热下,迅速发热,使冶炼炉的温度上升,其炉温可以高 达2700-3300°C,硅在高温下迅速熔化成硅液,通过进气孔2和进气管3并穿过出气口 5的 气孔6对硅液吹气,使硅液不停断地翻腾,不断翻滚的硅液使硅碴上浮到硅液的表面,这样 除去表面有杂质的部分,便可以得到高度纯净的多晶硅结晶体。
权利要求一种硅液冶炼炉,其特征是这种硅液冶炼炉的壳体(1)是采用纯石墨材料制成的,在其右侧的壳体(1)内有一个进气孔(2)和进气管(3),进气管(3)一端与进气孔(2)连通,另一端则穿过壳体(1)的底部与翻液炉底(4)上的出气口(5)连通,出气口(5)呈圆形状,在它上面开有9个气孔(6),翻液炉底(4)的右边面积比左边小,进气孔(2)内壁呈螺纹结构,其长度大于2cm。
专利摘要本实用新型公开了一种硅液冶炼炉,其壳体是用纯石墨材料制成的,壳体一侧有一进气孔和进气管,进气管与进气孔以及翻液炉底的出气口相连通,出气口上有9个气孔,翻液炉底的左边小于右边,进气孔内壁呈螺纹结构。这种硅液冶炼炉结构独特,性能良好,炉温高,提纯效果明显,成本低,产品质量稳定,它也是生产优质多品硅的关键装置。
文档编号C30B29/06GK201746608SQ20102005920
公开日2011年2月16日 申请日期2010年1月4日 优先权日2010年1月4日
发明者黄枫贵, 黄瑞珍 申请人:莆田市东煌能源科技有限公司
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