专利名称：一种石墨管加热器保护套的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及多晶硅制造技术，特别涉及多晶硅生产的氢化炉，具体是一种石 墨管加热器保护套。
背景技术：
目前，多晶硅制造技术中，氢化炉是西门子法生产多晶硅的关键设备，氢化炉内采 用了大量的石墨管加热器。石墨管加热器的外径约50mm，长度约1800mm，两根加热管为一 对，该加热器竖直安装，顶部用石墨横梁连接成一体，底部有铜电极与其连接。氢化炉在使 用过程中，是通过石墨管加热器发热至1400°C的温度，然后通入6kgf/cm2的反应气体，进行 反应。由于炉内的气流是从上往下冲刷，因此加热器在氢化炉内是晃动的，高温、高压的气 流容易对加热器的根部形成冲刷，导致加热器温度不均勻，容易自其根部断裂，使加热器的 使用寿命缩短。
实用新型内容为了克服现有技术中存在的上述不足，本实用新型提供了一种石墨管加热器保护 套，其能大大延长石墨管加热器的使用寿命。本实用新型所采用的技术方案是一种氢化炉石墨管加热器保护套，包括可套装 在石墨管加热器外部的护套，护套的外侧面设有至少两个沿其轴向间隔设置的环形板，相 邻两块环形板之间形成环形凹槽。本实用新型使用时是套装在石墨管加热器根部外侧，利用护套上设置的环形凹槽 形成迷宫式结构来缓冲气流对加热管根部的冲刷。当氢化炉内通入反应气体时，气流从上 往下冲刷，该保护套一方面阻挡了气流对石墨加热管根部的直接冲刷，同时，护套上设置的 环形凹槽形成了迷宫式结构，对气流产生了一种缓冲作用，减轻了气流对加热管根部的冲 刷，能有效保护石墨管加热器，延长加热器的使用寿命。本实用新型中的护套和环形板可采用分体结构，但考虑到结构的简单及可靠性， 所述的护套和环形板可一体制出。为了保护石墨加热管，所述护套的其中一端的端头为锥形结构。使用时，该锥形 端朝上设置，该种设计有利于导引气流，避免气流对加热管的冲刷，从而保护加热管不被损 坏。所述的凹槽其截面形状可采用任何形状，但为了尽可能减少气流到达加热器根部 的几率，所述凹槽的截面可为矩形或U形或V形。本实用新型的有益效果是，其通过简单的结构设计，很好地解决了氢化炉石墨管 加热器根部因受高温高压气流冲刷，造成温度不均，容易发生断裂的技术问题，大大延长了 石墨管加热器的使用寿命。
图1是实施例1的结构示意图；图2是实施例1中石墨管加热器保护套的剖视示意图；图3是是凹槽截面为U形的石墨管加热器保护套的剖视示意图；图4是凹槽截面为V形的石墨管加热器保护套的剖视示意图。图中，1、护套，2、环形板，3、凹槽，4、石墨管加热器。
具体实施方式
以下结合附图及非限定性的实施例对本实用新型作进一步的说明实施例1如附图1所示，是多晶硅生产用的氢化炉内的石墨管加热器的局部结构剖视示意 图。在氢化炉内，石墨管加热器4是竖直安装的，其底部有铜电极与其连接(图中未画出电 极)。在石墨管加热器4的根部套装有一保护套，如图2所示，该保护套包括可套装在石墨 管加热器4外部的护套1，护套1的外侧面设有多个沿其轴向间隔设置的环形板2，相邻两 块环形板2之间形成环形凹槽3，整个保护套为迷宫式结构。其中，护套1和环形板2 —体 制出，均为石墨材质。护套1位于上部的端头设计为锥形结构。本实施例中，套装在石墨管加热器外部的保护套一方面阻挡了气流对石墨加热管 根部的直接冲刷，另一方面，保护套迷宫式结构设计对气流产生了一定的缓冲作用，减轻了 气流对加热器根部的冲刷，使石墨加热器不容易损坏，大大延长了石墨管加热器的使用寿 命。而护套1端头的锥形设计，有利于导引气流，避免了气流对加热管与保护套连接部位的 冲刷，从而保护石墨管加热器不被损坏。本发明中的凹槽3的截面形状可以是任何形状，如可以是矩形(如图2所示)， 也可以是U形(如图3所示)或V形(如图4所述)或其它的形状。考虑到结构设计及尽 可能减少气流到达加热器根部的几率，所述凹槽的截面最好为矩形或U形或V形。本实用新型的其他部分采用已有技术，在此不再赘述。上述实施例仅用作对本实用新型的说明，并非对其的限制，在此基础上还可做出 变动，如本实用新型中的护套1和环形板2还可采用分体式结构等。
权利要求一种氢化炉石墨管加热器保护套，其特征是包括可套装在石墨管加热器外部的护套(1)，护套(1)的外侧面设有至少两个沿其轴向间隔设置的环形板(2)，相邻两块环形板(2)之间形成环形凹槽(3)。
2.根据权利要求1所述的氢化炉石墨管加热器保护套，其特征是所述护套(1)与环 形板(2) —体制出。
3.根据权利要求1或2所述的氢化炉石墨管加热器保护套，其特征是所述护套(1)的 其中一端的端头为锥形结构。
4.根据权利要求1或2所述的氢化炉石墨管加热器保护套，其特征是所述凹槽(3)的 截面为矩形或U形或V形。
专利摘要本实用新型公开了一种石墨管加热器保护套，特别涉及多晶硅生产的氢化炉。其包括可套装在石墨管加热器外部的护套(1)，护套(1)的外侧面设有至少两个沿其轴向间隔设置的环形板(2)，相邻两块环形板(2)之间形成环形凹槽(3)。本实用新型使用时套装在石墨管加热器根部外侧，利用护套上设置的环形凹槽形成迷宫式结构来缓冲气流对加热管根部的冲刷，能有效保护石墨管加热器，延长加热器的使用寿命。
文档编号H05B3/42GK201742573SQ20102025227
公开日2011年2月9日 申请日期2010年7月8日 优先权日2010年7月8日
发明者刘添华, 张洪义, 李文江, 杨冬梅, 苗学明, 邹志勇, 靳忠杰 申请人:山东伟基炭科技有限公司;济南伟得热工材料有限公司