可调式扩散炉结构的制作方法

文档序号:8039098阅读:316来源:国知局
专利名称:可调式扩散炉结构的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种扩散炉,尤指一种可调式扩散炉结构。
背景技术
一般生产CIGS薄膜太阳电池,首先会将一个钼(moly)基底电接触层沉积于一个 基材上(例如玻璃、不锈钢或其它功能性基材材料)。而后,将一个相关厚度的CIGS层沉 积于该钼(moly)层上。于该技术中,首先会使用一种物理气向沉积(PVD)制程(即挥发或 溅镀)、化学镀浴、或电镀制程,将这些金属(Cu/In/Ga)沉积于基材上。接续地,于一扩散炉 中,一种具有硒的气体,会于一个高达大约500至600°C的温度下,与该金属层反应,以此形 成最终的CIGS组成物。习知扩散炉设置有内炉膛,内炉膛以耐火砖支撑固定的设置于外炉膛内,内炉膛 本身并无法进行调整,因此只能利用设于外炉膛外部的金属领圈来调整内炉膛,造成内炉 膛调整作业的不便,且内炉膛一般需进行X轴、Y轴、Z轴、倾角及旋转等多种调整,全部依赖 金属领圈来调整,难免造成作业上的不便。因此,本创作人提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本实用新型。 发明内容本实用新型实施例的目的在于提供一种可调式扩散炉结构,可便利于内炉膛的调 整作业。本实用新型实施例提供一种可调式扩散炉结构,包括一外炉膛;一内炉膛,该内 炉膛设置于该外炉膛内,该内炉膛内部形成有一炉腔;多个红外线加热器,所述多个红外线 加热器设置于该外炉膛上;以及两个升降调整装置,所述两个升降调整装置设置于该外炉 膛内,该内炉膛以所述两个升降调整装置支撑设置于该外炉膛内。其中,所述两个升降调整装置沿该外炉膛纵向间隔的设置于该外炉膛内。其中,每一升降调整装置具有一本体、一承载件及一螺杆,该本体固定于该外炉 膛,该螺杆上端连接于该承载件,该螺杆螺接于该本体,该螺杆上螺接有锁固件,该内炉膛 设置于该承载件上。其中,该承载件与该内炉膛之间设置有垫体。其中,该内炉膛为石英管。其中,该内炉膛至少一端形成有开口,该开口配置有一金属领圈。其中,所述多个红外线加热器分别以电热丝设于石英管内所构成,该电热丝连接 有电线。其中,所述多个红外线加热器分别具有加热段及连接于该加热段的固定段,所述 多个红外线加热器的加热段位于该外炉膛内,所述多个红外线加热器的固定段固定于该外 炉膛外。其中,所述多个红外线加热器的固定段分别以固定装置予以固定。[0015]其中,所述多个红外线加热器区分为多个加热组,所述多个加热组分别电性连接 于一功率分配卡,所述多个加热组设有控温点,所述多个功率分配卡电性连接于一控制器, 以电控方式动态的调整所述多个加热组的功率分配。本实用新型实施例还提供一种可调式扩散炉结构,包括一外炉膛;一内炉膛,该 内炉膛设置于该外炉膛内,该内炉膛内部形成有一炉腔;多个加热器,所述多个加热器设置 于该外炉膛上;以及两个升降调整装置,所述两个升降调整装置设置于该外炉膛内,该内炉 膛以所述两个升降调整装置支撑设置于该外炉膛内。本实用新型具有以下有益的效果本实用新型内炉膛以两个升降调整装置支撑设置于外炉膛内,可利用两个升降调 整装置对内炉膛进行Z轴及倾角的调整,因此不需全部依赖金属领圈来进行内炉膛的调 整,使得内炉膛的调整作业较为方便。为使能更进一步了解本实用新型的特征及技术内容,请参阅以下有关本实用新型 的详细说明与附图,然而附图仅提供参考与说明,并非用来对本实用新型加以限制。

[0020]图1为本实用新型可调式扩散炉结构的立体示意图。[0021]图2为本实用新型可调式扩散炉结构局部构造的立体示意图。[0022]图3本实用新型可调式扩散炉结构的剖视示意图。[0023]图4为本实用新型红外线加热器的立体示意图。[0024]图5为本实用新型加热组的控制方块示意图。[0025]图6本实用新型升降调整装置调整的示意图。[0026]其中,附图标记说明如下[0027]1外炉膛[0028]11脚架[0029]2内炉膛[0030]21炉腔[0031]22开口[0032]23金属领圈[0033]M升降调整装置[0034]241本体[0035]242承载件[0036]243螺杆[0037]M4锁固件[0038]245垫体[0039]3红外线加热器[0040]31电热丝[0041]32石英管[0042]33电线[0043]3a加热段[0044]3b固定段4固定装置41夹持件42固定件43 支架5冷却管路6加热组7功率分配卡8控制器
具体实施方式
请参阅图1至图3,本实用新型提供一种可调式扩散炉结构,该扩散炉可用于如 CIGS制程等,在扩散的过程中,反应气体可经由一反应气体入口(图略)导入扩散炉中,该 扩散炉包括有一外炉膛1、一内炉膛2及多个红外线加热器3,外炉膛1为一中空体,外炉膛 1的形状并不限制,可为圆形、多边形、方形或其它各种适当的形状,在本实施例中外炉膛1 为多边形。外炉膛1主要是以耐火材料(绝缘层)制成,外炉膛1至少一端形成开口状,以 便置入内炉膛2。外炉膛1可连接有适当的脚架11,可用以支撑及架高外炉膛1位于适当 的高度,但脚架11的构造并不限制。内炉膛2为一中空体,可以石英管或其它材料制成,内炉膛2设置于外炉膛1内, 内炉膛2内部形成有一炉腔21。内炉膛2至少一端形成有一开口 22,开口 22与炉腔21相 连通,以便经由开口 22将工件放置于炉腔21内。开口 22配置有一金属领圈23,金属领圈 23可设置适当的炉门(图略),可用以开放及封闭开口 22。两个升降调整装置M设置于外炉膛1内,使内炉膛2得以两个升降调整装置M 支撑设置于外炉膛1内,两个升降调整装置M沿外炉膛1纵向间隔的设置于外炉膛1内。 升降调整装置M的构造并不限制,在本实施例中每一升降调整装置M具有一本体Ml、一 承载件242及一螺杆M3 (如图6所示),本体241适当的固定于外炉膛1内壁,承载件242 位于本体241上方,螺杆243上端连接于承载件242底部,螺杆243螺接于本体M1,因此可 利用螺杆M3的转动调整承载件M2的高度,在调整完成时再以一螺接于螺杆243上的锁 固件(如螺帽)244予以锁固。内炉膛2设置于承载件242上,也可于承载件242与内炉膛 2之间设置有以耐火材料制成的垫体M5,以具有较佳的耐热效果。红外线加热器3的构造及形状并不限制,在本实施例中红外线加热器3分别以电 热丝(如钨丝)31设于石英管32内所构成(如图4所示),电热丝31连接有适当的电线 33,于电热丝31通电后石英管32即可发出含有热能的红外线。每一红外线加热器3具有 加热段3a及连接于加热段3a的固定段北,在本实施例中红外线加热器3弯折成U形,其具 有一加热段3a及连接于加热段3a两端的固定段北。所述多个红外线加热器3设置于外炉膛1上,并予以适当的固定,所述多个红外线 加热器3的加热段3a位于外炉膛1内,且加热段3a与外炉膛1内壁间隔有适当的距离,所 述多个红外线加热器3的两固定段北固定于外炉膛1外。所述多个红外线加热器3的两 固定段北伸出于外炉膛1外,并利用多个固定装置4予以固定,所述多个固定装置4的构造并不限制,在本实施例中,每一固定装置4包含有一夹持件41及一固定件42,夹持件41 一端固定于设置在外炉膛1外壁的支架43上,夹持件41另一端可作张开及夹合的动作,用 以夹持红外线加热器3的固定段北,并利用穿设于夹持件41另一端的固定件(如螺丝)42 予以锁固,使每一红外线加热器3的两固定段北得以固定于相对应的固定装置4,以便利用 所述多个固定装置4将所述多个红外线加热器3固定设置于外炉膛1上。外炉膛1外部可 进一步的设置有冷却管路5,冷却管路5内部循环有冷却水,可用以协助降温。当红外线加热器3通电后可发出含有热能的红外线,可利用红外线对内炉膛2及 置于内炉膛2的炉腔21内的工件加热,并将反应气体导入扩散炉中进行预定的制程。另, 本实用新型的红外线加热器3也可以其它型式的加热器取代。本实用新型内炉膛2以两个升降调整装置M支撑设置于外炉膛1内,因此可利用 两个升降调整装置M对内炉膛2进行Z轴(即高度)的调整,且两个升降调整装置M也 可对内炉膛2进行倾角的调整,使得内炉膛2本身即可进行Z轴及倾角的调整(微调)。另 外,可搭配金属领圈23进行内炉膛2的X轴、Y轴及旋转的调整(微调),因此不需全部依 赖金属领圈23来进行内炉膛2的调整,使得内炉膛2的调整作业较为方便。另,请参阅图5,本实用新型亦可将所述多个红外线加热器3区分为多个加热组6, 所述多个加热组6分别电性连接于一功率分配卡7,所述多个加热组6并设有适当的控温 点(图略),可多个加热组6共享一控温点。所述多个功率分配卡7电性连接于一控制器 8,从而可利用电控方式动态的调整所述多个加热组6的功率分配,以此构成一动态调温装 置。所述多个加热组6各自独立、可各自调整,所述多个加热组6可利用电控方式动态的调 整,制造者及使用者皆可因应需求调整功率分配,达到炉腔21较佳的均温性。然而以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,非意欲局限本实用新型的专利保护 范围,故凡运用本实用新型说明书及附图内容所为的等效变化,均同理皆包含于本实用新 型的权利保护范围内。
权利要求1.一种可调式扩散炉结构,其特征在于,包括一外炉膛;一内炉膛,该内炉膛设置于该外炉膛内,该内炉膛内部形成有一炉腔;多个红外线加热器,所述多个红外线加热器设置于该外炉膛上;以及两个升降调整装置,所述两个升降调整装置设置于该外炉膛内,该内炉膛以所述两个 升降调整装置支撑设置于该外炉膛内。
2.如权利要求1所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,所述两个升降调整装置沿该 外炉膛纵向间隔的设置于该外炉膛内。
3.如权利要求1所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,每一升降调整装置具有一本 体、一承载件及一螺杆,该本体固定于该外炉膛,该螺杆上端连接于该承载件,该螺杆螺接 于该本体,该螺杆上螺接有锁固件,该内炉膛设置于该承载件上。
4.如权利要求3所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,该承载件与该内炉膛之间设 置有垫体。
5.如权利要求1所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,该内炉膛为石英管。
6.如权利要求1所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,该内炉膛至少一端形成有开 口,该开口配置有一金属领圈。
7.如权利要求1所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,所述多个红外线加热器分别 以电热丝设于石英管内所构成,该电热丝连接有电线。
8.如权利要求1所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,所述多个红外线加热器分别 具有加热段及连接于该加热段的固定段,所述多个红外线加热器的加热段位于该外炉膛 内,所述多个红外线加热器的固定段固定于该外炉膛外。
9.如权利要求8所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,所述多个红外线加热器的固 定段分别以固定装置予以固定。
10.如权利要求1所述的可调式扩散炉结构,其特征在于,所述多个红外线加热器区分 为多个加热组,所述多个加热组分别电性连接于一功率分配卡,所述多个加热组设有控温 点,所述多个功率分配卡电性连接于一控制器,以电控方式动态的调整所述多个加热组的 功率分配。
11.一种可调式扩散炉结构,其特征在于,包括一外炉膛;一内炉膛,该内炉膛设置于该外炉膛内,该内炉膛内部形成有一炉腔;多个加热器,所述多个加热器设置于该外炉膛上;以及两个升降调整装置,所述两个升降调整装置设置于该外炉膛内,该内炉膛以所述两个 升降调整装置支撑设置于该外炉膛内。
专利摘要一种可调式扩散炉结构,包括一外炉膛、一内炉膛、多个红外线加热器及两个升降调整装置,内炉膛设置于外炉膛内,所述多个红外线加热器设置于外炉膛上,两个升降调整装置设置于外炉膛内,内炉膛以两个升降调整装置支撑设置于外炉膛内;以此,可便利于内炉膛的调整(微调)作业。
文档编号C30B31/18GK201896206SQ20102060967
公开日2011年7月13日 申请日期2010年11月12日 优先权日2010年11月12日
发明者梁望遵, 游明辉, 陈长发, 陈阿赐, 高家荣 申请人:台技工业设备股份有限公司
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