扩散炉的制作方法

文档序号:8041820
专利名称:扩散炉的制作方法
技术领域
扩散炉
技术领域
本实用新型涉及半导体领域,尤其涉及一种扩散炉。背景技术
传统的扩散炉的炉口主要通过使用隔热挡片达到隔热效果,以避免热量散失。但是,隔热挡片的隔热效果较差。

实用新型内容基于此,有必要提供一种隔热效果较好的扩散炉。包括炉体,所述炉体一侧设有炉口,所述炉口处设有与所述炉口匹配的隔热桶,所述隔热桶内填充有隔热材料。优选的,所述扩散炉还包括设置在所述炉体内侧的桨状结构,所述隔热桶通过所述桨状结构被固定在所述炉口。优选的,所述隔热桶直径小于所述炉口直径。优选的,所述隔热材料为石棉、玻璃棉、岩棉、渣棉、漂白土纤维、绿坡石或海泡石。这种扩散炉,通过将在炉口设置填充有隔热材料的隔热桶,替代传统的隔热挡片, 隔热效果较好,阻止了炉口由于热量散失导致的温度下降,从而保证扩散炉内温度的一致性。

图1为一实施方式的扩散炉的结构示意图;图2为图1示扩散炉的剖面结构示意图;图3为图1示隔热桶的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对扩散炉做进一步的解释说明。如图1和图2所示的扩散炉,包括炉体10,炉体10 —侧具有炉口 20,炉口 20处设有与炉口 20匹配的隔热桶30,隔热桶30内填充有隔热材料40。隔热桶30直径小于炉口 20直径,以使得隔热桶30可以放入扩散炉内。扩散炉还包括设置在炉体10内侧的桨状结构50,隔热桶30通过桨状结构50被固定在炉口 20处。在其他的实施例中,也可以没有桨状结构50,隔热桶30直接放在炉口 20处既可。一般的,隔热桶30采用石英制作,隔热桶30内填充的隔热材料40为石棉或石棉替代品。石棉替代品可以为玻璃棉、岩棉、渣棉及漂白土纤维、绿坡石或海泡石。这种扩散炉,通过将在炉口 20设置填充有隔热材料40的隔热桶30,替代传统的隔热挡片,隔热效果较好,阻止了炉口 20由于热量散失导致的温度下降,从而保证扩散炉内温度的一致性。同时,传统隔热挡片材质为碳化硅,成本较高,而填充有隔热材料40的隔热桶30 成本较低。以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种扩散炉,包括炉体,所述炉体一侧设有炉口,其特征在于,所述炉口处设有与所述炉口匹配的隔热桶,所述隔热桶内填充有隔热材料。
2.如权利要求1所述的扩散炉,其特征在于,所述扩散炉还包括设置在所述炉体内侧的桨状结构,所述隔热桶通过所述桨状结构被固定在所述炉口。
3.如权利要求1所述的扩散炉,其特征在于,所述隔热桶直径小于所述炉口直径。
4.如权利要求1 3中任一项所述的扩散炉,其特征在于,所述隔热材料为石棉、玻璃棉、岩棉、渣棉、漂白土纤维、绿坡石或海泡石。
专利摘要本实用新型公开了一种扩散炉,包括炉体,炉体一侧设有炉口,所述炉口处设有与所述炉口匹配的隔热桶,所述隔热桶内填充有隔热材料。这种扩散炉,通过将在炉口设置填充有隔热材料的隔热桶,替代传统的隔热挡片,隔热效果较好,阻止了炉口由于热量散失导致的温度下降,从而保证扩散炉内温度的一致性。
文档编号C30B31/00GK202090105SQ20102069406
公开日2011年12月28日 申请日期2010年12月31日 优先权日2010年12月31日
发明者刘波, 厉策 申请人:深圳深爱半导体股份有限公司
再多了解一些
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