专利名称：玻璃膜层叠体的制作方法
技术领域：
本发明涉及利用支承玻璃来支承玻璃膜而成的玻璃膜层叠体，所述玻璃膜使用在液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器、太阳能电池、锂离子电池、电子看板、触控面板、电子纸等设备的玻璃基板、及有机EL照明等设备的玻璃罩或医药品封装件等中。
背景技术：
从空间节省化的观点出发，代替现有普及的CRT型显示器，近年来普及有液晶显示器、等离子体显示器、有机EL显示器、场致发射显示器等平板显示器。对这些平板显示器要求进一步的薄型化。特别对有机EL显示器而言，要求通过折叠或卷绕而容易搬运，并且既可以用于平面也可以用于曲面。另外，既可以用于平面也可以用于曲面的要求不仅限于显示器，若能够在例如机动车的车身表面或建筑物的屋顶、柱、外壁等具有曲面的物体的表面形成太阳能电池或者有机EL照明，则其用途变得广泛。从而，对使用在上述设备中的基板或玻璃罩要求进一步的薄板化和挠性。使用在有机EL显示器中的发光体会因与氧或水蒸气等气体接触而发生劣化。从而，对使用在有机EL显示器中的基板要求高的阻气性，因此期待使用玻璃基板。然而，使用在基板中的玻璃与树脂膜不同，拉伸应力弱，因此挠性低，若因弯曲玻璃基板而在玻璃基板表面上产生拉伸应力，则会导致玻璃基板破损。需要进行超薄板化以对玻璃基板赋予挠性， 提出有如下述专利文献1所记载那样的厚度为200 μ m以下的玻璃膜。对使用在平板显示器或太阳能电池等电子设备中的玻璃基板进行透明导电膜等的贴膜处理或清洗处理等各种与电子设备制造关联的处理。然而，若对使用在上述电子设备中的玻璃基板进行薄膜化，则由于玻璃为脆性材料而多少发生应力变化以至破损，在进行上述各种与电子设备制造关联的处理时，存在操作极为困难的问题。此外，由于厚度为 200μπι以下的玻璃膜富有挠性，因此在进行制造关联处理时，还存在如下问题难以进行定位，图制时产生偏移等。因此，为了提高玻璃膜的操作性，提出了通过在树脂膜上涂敷粘接性物质后层叠玻璃膜而成的层叠体。在这种层叠体中，玻璃膜由韧性材料的树脂膜支承，因此在进行上述各种制造关联处理时，与仅为玻璃膜的情况相比，玻璃膜层叠体的操作比较容易。然而，在最终从层叠体剥离树脂膜而仅剩玻璃膜时，存在如下问题脆性材料的玻璃膜容易破损，进而在剥离树脂膜后粘接性物质残留在玻璃膜上而造成玻璃膜的污染。另外，由于树脂膜与玻璃膜各自的热膨胀率不同，因此即使在200°C前后比较低温下进行热处理这样的制造关联处理时，也可能引起热翘曲或树脂的剥离等。此外，由于树脂膜也富有挠性，因此也存在如下问题在制造关联处理中的定位或图制时产生偏移等。为了解决上述问题，提出有下述专利文献2所记载的层叠体。在下述专利文献2 中，提出了支承玻璃基板和玻璃片经由即使反复使用也大致维持一定的粘接剂层而层叠的层叠体。由此，即使使用就单体而言没有强度或刚性的玻璃片，也能够共用现有的玻璃用液晶显示元件制造线来制造液晶显示元件，在工序结束后，能够将玻璃基板在不发生破损的
3状态下迅速地剥离。另外，由于支承体使用玻璃，因此能够某种程度上防止热翘曲等。此外， 由于支承体的刚性高，因此难以产生制造关联处理中的定位或图制时的偏移等问题。然而，对于上述的层叠体而言，依然没有解决在剥离支承玻璃后粘接剂残留在薄板玻璃片上这样的问题。在先技术文献专利文献专利文献1日本特开2008-133174号公报专利文献2日本特开平8-86993号公报
发明内容
本发明是为了解决上述现有技术的问题点而作成的，其目的在于提供一种玻璃膜层叠体，从而能够提高对玻璃膜进行制造关联处理时的操作性，也不会产生定位或图制时的偏移等问题，在制造关联处理后将玻璃膜装入各种设备时，能够从支承玻璃容易地剥离玻璃膜，且能够可靠地防止剥离后粘接残留在玻璃膜上的情况。本发明的第一方面涉及的玻璃膜层叠体通过在玻璃膜上层叠支承玻璃而成，其特征在于，所述玻璃膜与所述支承玻璃的彼此接触侧的表面的表面粗糙度Ra分别为2. Onm以下。本发明的第二方面以第一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，所述玻璃膜及所述支承玻璃的所述表面的GI值分别为lOOOpcs/m2以下。本发明的第三方面以第一或第二方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，所述玻璃膜的厚度为300 μ m以下。本发明的第四方面以第一 第三方面中任一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，所述支承玻璃的厚度为400 μ m以上。本发明的第五方面以第一 第四方面中任一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，所述玻璃膜与所述支承玻璃的在30 380°C下的热膨胀系数之差在 5X1(T7°C 以内。本发明的第六方面以第一 第五方面中任一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，所述玻璃膜及所述支承玻璃通过溢流下拉法而成形。本发明的第七方面以第一 第六方面中任一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，所述玻璃膜与所述支承玻璃以在缘部的至少一部分设置高低差的方式层叠。本发明的第八方面以第一 第七方面中任一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，在所述玻璃膜与所述支承玻璃的接触部分的局部区域夹设有剥离用的片构件，并且该片构件的一部分从所述接触部分露出。本发明的第九方面以第一 第八方面中任一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，在所述支承玻璃上，在与所述玻璃膜的有效面以外对应的位置处设有至少一个贯通孔。本发明的第十方面以第一 第九方面中任一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，在所述支承玻璃的所述玻璃膜侧设有用于对所述玻璃膜进行定位的引导构件。本发明的第十一方面以第一 第十方面中任一方面所记载的玻璃膜层叠体的为基础，其特征在于，所述引导构件比所述玻璃膜的厚度薄。发明效果根据本发明的第一方面，由于形成为在玻璃膜上层叠支承玻璃而成的玻璃膜层叠体，因此能够通过对玻璃膜进行制造关联处理时的操作性，能够防止产生定位误差或图制时的偏移等问题。由于玻璃膜及支承玻璃的彼此接触侧的表面的表面粗糙度Ra分别为 2. Onm，玻璃膜与支承玻璃以光滑的表面彼此接触，因此密接性良好，即使不使用粘接剂，也能够使玻璃膜与支承玻璃牢固地稳定层叠。由于不使用粘接剂，因此在制造关联处理后将玻璃膜装入各种设备时，只要在一部位将玻璃膜从支承玻璃剥离，之后就能够连续地将玻璃膜整体容易地从支承玻璃剥离，从而得到完全没有粘接剂残留的玻璃膜。另一方面，若表面粗糙度Ra超过2. Onm，则密接性降低，无法在不使用粘接剂的情况下将玻璃膜与支承玻璃牢固地层叠。根据本发明的第二方面，由于玻璃膜与支承玻璃的彼此接触侧的表面的GI值分别为lOOOpcs/m2以下，因此玻璃膜与支承玻璃的接触面洁净，从而不会损坏表面的活性，即使不使用粘接剂也能够使玻璃膜与支承玻璃更加牢固地稳定层叠。根据本发明的第三方面，由于玻璃膜的厚度为300 μ m以下，因此即使对操作更为困难且容易产生定位误差或图制时的偏移等问题的超薄壁的玻璃膜而言，也能够容易地进行制造关联处理。根据本发明的第四方面，由于支承玻璃的厚度为400 μ m以上，因此能够可靠地支承玻璃膜。根据本发明的第五方面，由于玻璃膜与支承玻璃的在30 380°C下的热膨胀系数之差在5 χ io-7/0c以内，因此即使在制造关联处理时进行热处理，也能够得到不易产生热翘曲等的玻璃膜层叠体。根据本发明的第六方面，玻璃膜及支承玻璃通过溢流下拉法而成形，因此无需进行研磨工序就能够得到表面精度极其高的玻璃。由此，能够使玻璃膜与支承玻璃更加牢固
地层叠。根据本发明的第七方面，由于玻璃膜与支承玻璃以在缘部的至少一部分设置高低差的方式层叠，因此在玻璃膜从支承玻璃露出的情况下，能够更加容易且可靠地剥离玻璃膜与支承玻璃。另一方面，在支承玻璃从玻璃膜露出的情况下，能够适当地保护玻璃膜的端部以防砸撞等。根据本发明的第八方面，由于在玻璃膜与支承玻璃的接触部分的局部区域夹设有剥离用的片构件，并且该片构件的一部分从上述接触部分露出，因此通过把持片构件的露出部分而能够使玻璃膜与支承玻璃更加容易且可靠地剥离。根据本发明的第九方面，由于在支承玻璃上的与玻璃膜的有效面以外对应的位置处设有至少一个贯通孔，因此从支承玻璃剥离玻璃膜时，能够通过贯通孔注入压缩空气或插入销等，由此能够仅抬起玻璃膜，能够容易地开始玻璃膜的剥离。根据本发明的第十方面，由于在支承玻璃的玻璃膜侧设有用于对玻璃膜进行定位的引导构件，因此在相对于支承玻璃层叠玻璃膜时，能够容易地进行玻璃膜相对于支承玻
5璃的定位。根据本发明的第十一方面，由于引导构件比玻璃膜的厚度薄，因此在对玻璃膜层叠体空隙清洗处理这样的制造关联处理时，能够防止在玻璃膜表面残留液体。
图1是本发明所涉及的璃膜层叠体的剖视图。图2是玻璃膜及支承玻璃的制造装置的说明图。图3(a)是将玻璃膜和支承玻璃以在缘部设置高低差的方式层叠而成的玻璃膜层叠体的图，是支承玻璃从玻璃膜露出的形态的图。图3(b)是玻璃膜从支承玻璃露出的形态的图。图3(c)是在支承玻璃上设有切口部的形态的图。图4(a)是在支承玻璃上设有贯通孔的俯视图。图4 (b)是图4 (a)的A-A线剖视图。图5(a)是在支承玻璃上设有引导构件的俯视图。图5 (b)是图5 (a)的B-B线剖视图。
具体实施例方式以下，参照附图对本发明所涉及的璃膜层叠体的优选实施方式进行说明。本发明所涉及的玻璃膜层叠体1如图1所示，由玻璃膜2和支承玻璃3构成，玻璃膜2与支承玻璃3在不使用粘接剂等的情况下层叠。玻璃膜2使用硅酸盐玻璃，优选使用二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃，最优选使用无碱玻璃。若在玻璃膜2中含有碱成分，则阳离子会在表面脱离，产生所谓的出碱现象，结构性地变粗糙。在这种情况下，当弯曲玻璃膜2使用时，可能因经年劣化而容易从变粗糙的部分破损。需要说明的是，这里所说的“无碱玻璃”是指实质上不含碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体而言，是指碱成分的重量比为IOOOppm以下的玻璃。优选本发明中的碱成分的含有量为500ppm以下，更优选为300ppm以下。优选玻璃膜2的厚度为300 μ m以下，更优选为5 μ m 200 μ m，最优选为5 μ m
100 μ m。由此，能够进一步减薄玻璃膜2的厚度，从而赋予玻璃膜2适当的挠性，并且对于操作性困难且容易产生定位误差或图制时的偏移等问题的玻璃膜2而言，能够容易地进行制造关联处理。若玻璃膜2的厚度小于5 μ m,则玻璃膜2的强度容易不足，从玻璃膜层叠体 1剥离玻璃膜2而装入设备时，容易导致破损。支承玻璃3与玻璃膜2同样使用硅酸盐玻璃、二氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等。对于支承玻璃3而言，优选使用与玻璃膜2的在30 380°C下的热膨胀系数之差为 5 X Io-V0C以内的玻璃。由此，能够制成即使在制造关联处理时进行热处理，也不易因膨胀率的差而产生热翘曲等，能够维持稳定的层叠状态的玻璃膜层叠体1。优选支承玻璃3的厚度为400 μ m以上。其原因在于，若支承玻璃3的厚度小于 400 μ m，则在对支承玻璃单体进行操作时，可能在强度方面产生问题。优选支承玻璃3的厚度为400 μ m 700 μ m,最优选为500 μ m 700 μ m。由此，能够可靠地支承玻璃膜2，且能够有效地抑制在剥离玻璃膜2与支承玻璃3时可能产生的破损。
玻璃膜2与支承玻璃3的彼此接触侧的表面的表面粗糙度Ra分别为2. Onm以下。 若表面粗糙度Ra超过2. Onm,则密接性降低，不利用粘接剂粘接的话无法牢固地层叠玻璃膜2与支承玻璃3。优选玻璃膜2与支承玻璃3的上述表面的表面粗糙度Ra分别为1. Onm 以下，更优选为0. 5nm以下，最优选为0. 2nm以下。优选玻璃膜2与支承玻璃3的彼此接触侧的表面的GI值分别为lOOOpcs/m2以下。 由此，由于玻璃膜2与支承玻璃3的接触面洁净，因此不会损坏表面的活性，即使不使用粘接剂，也能过使玻璃膜2与支承玻璃3更为牢固地稳定层叠。在本说明书中，GI值是指存在于Im2的区域内的长径1 μ m以上的不纯粒子的个数(pes)。更优选玻璃膜2与支承玻璃 3的上述表面的GI值分别为500pCS/m2以下，最优选为lOOpcs/m2以下。优选本发明中使用的玻璃膜2与支承玻璃3通过下拉法成形。其原因在于，能够更为光滑地形成玻璃膜2的表面。尤其是图2所示的溢流下拉法为在成形时玻璃板的两面不与成形构件接触的成形法，不易在得到的玻璃板的两面(透光面)上产生伤痕，即使不进行研磨也能够得到高的表面品位，因此采用。由此，能够使玻璃膜2与支承玻璃3更为牢固地层叠。刚从截面为楔型的成形体7的下端部71流下后的玻璃带G被冷却辊8在限制宽度方向的收缩的同时向下方拉伸，而减薄至规定的厚度。接着，将到达了所述规定厚度的玻璃带G在缓冷炉(退火炉)中徐缓冷却，除去玻璃带G的热应变，并按规定尺寸切断玻璃带 G。由此，形成由玻璃膜2和支承玻璃3构成的玻璃片。图3是将玻璃膜与支承玻璃以在缘部设有高低差的方式层叠而成的玻璃膜层叠体的图，(a)是支承玻璃从玻璃膜露出的形态的图，(b)是玻璃膜从支承玻璃露出的形态的图，(c)是在支承玻璃上设有切口部的形态的图。本发明所涉及的璃膜层叠体1如图3所示，优选玻璃膜2与支承玻璃3设有高低差4地层叠。在图3(a)中，以支承玻璃3比玻璃膜2露出的方式设有高低差41。由此，能够更加适当地保护玻璃膜2的端部。另一方面，在图3(b)中，以玻璃膜2比支承玻璃3露出的状态设有高低差42。由此，在玻璃膜2与支承玻璃3开始剥离时，能够容易地仅把持玻璃膜2，能够使两者更加容易且可靠地剥离。高低差4设置在玻璃膜层叠体1的周边部的至少一部分上为好，例如在玻璃膜层叠体1俯视下为长方形的情况下，设置在四边中至少一边上为好。另外，也可以通过在支承玻璃3或玻璃膜2的四边的一部分上设置切口(定向部)来设置高低差。在图3(b)的形态中，优选玻璃膜2的露出量为0. 5mm 20mm。若小于0. 5mm，则开始剥离时可能难以把持玻璃膜2的缘部，若超过20mm，则在玻璃膜层叠体1的侧缘施加砸撞(砸撞)等的外力时，玻璃膜2可能破损。进而，通过制成在玻璃膜层叠体1的端部设有使支承玻璃3的缘部从玻璃膜2的缘部露出而形成的高低差、使玻璃膜2的缘部从支承玻璃3的缘部露出而形成的高低差4 这两方的高低差这样的玻璃膜层叠体1，由此能够同时把持玻璃膜2和支承玻璃3，且能够容易地剥离玻璃膜2。最优选各自的高低差形成各自附近。此外，如图3(c)所记载的那样，在玻璃膜2比支承玻璃3小的情况下，优选在支承玻璃3的端部设置切口部31。这样能够适当地保护玻璃膜2的端部，且剥离玻璃膜2时能够容易地把持在支承玻璃3的切口部31露出的玻璃膜2，从而能够容易地剥离玻璃膜2。切口部31可以利用砂轮等研磨支承玻璃3端部的一部分或利用空心钻等切除端部的一部分而形成。优选剥离用的片构件以从玻璃膜层叠体1露出的状态夹设在玻璃膜2与支承玻璃 3的接触部分的局部区域。其原因在于，通过单独把持片构件的露出部分，由此能够容易地剥离玻璃膜2。作为片构件，可以使用公知的树脂片等。优选厚度薄至在剥离玻璃膜2时单独拉伸片构件时该片构件不会断裂这种程度。片构件只要能够剥离玻璃膜2即可，因此对夹设量、露出量没有特别限定，灵活为1 2cm左右为好。优选在剥离玻璃膜2与支承玻璃3时，将玻璃膜层叠体1浸渍在水中，施加超声波的同时进行剥离。由此，能够减轻玻璃膜2与支承玻璃3的剥离所需要的力，还能够更加容易剥离玻璃膜2与支承玻璃3。图4是在支承玻璃上设有贯通孔的图，(a)是俯视图，(b)是A-A线剖视图。优选在支承玻璃3上设有至少一个贯通孔32。该贯通孔32设置在至少其一部分被玻璃膜2覆盖的位置上。其原因在于，在从支承玻璃3剥离玻璃膜2时，通过贯通孔32 注入压缩空气或插入销等，由此能够从支承玻璃3仅抬起玻璃膜层叠体1中的玻璃膜2，能够容易地开始玻璃膜2的剥离。贯通孔32附近的玻璃膜2可能会受到因剥离开始时的弯曲应力或销等砸撞而引起的外力，或者由于在贯通孔32附近有无支承玻璃3而引起的热传递的不同，而导致进行加热工序时贯通孔32附近的玻璃膜2容易产生变形，因此优选在玻璃膜2的与有效面以外对应的位置处设置贯通孔32。需要说明的是，这里所说的玻璃膜2的有效面以外是指，例如在将玻璃膜2装入设备时切断除去的不需要部分或对玻璃膜2表面进行成膜时成膜范围外的非有效部分等。贯通孔32的形状可以是圆形、三角形、四边形等多边形状等，没有特别限定，但从贯通孔32的加工性或防止裂纹的产生的观点出发，优选为圆形。贯通孔32的大小没有特别限定，但举出具有Imm 50mm的开口部的贯通孔32。在玻璃膜层叠体1俯视下为长方形的情况下，优选设置贯通孔32的部位在四边的角部附近。图5是在支承玻璃上设有引导构件的图，(a)是俯视图，(b)是B-B线剖视图。优选在支承玻璃3的玻璃膜2侧，在支承玻璃3的外周部设置引导构件5。由此， 在相对于支承玻璃3层叠玻璃膜2时，能够容易地定位。如图5所示，在玻璃膜层叠体1俯视下为长方形的情况下，与支承玻璃3的相邻的两边平行地设置引导构件5。由此，确定玻璃膜2的两边在支承玻璃3上的位置，因此能够进一步可靠地进行玻璃膜2的定位。另外，如图5(b)所示，引导构件5的高度比玻璃膜2 的高度低，由此在对玻璃膜层叠体1进行清洗工序时，能够防止液体残留在玻璃膜2上，能够良好地排水。进而，通过在引导构件5上设置槽6，由此能够进一步提高排水性。优选槽 6在引导构件5上设置多个。优选引导构件5由玻璃制作。其原因在于，在对玻璃膜层叠体1进行加热工序时， 能够防止引导构件5的劣化或损耗。引导构件5通过玻璃料的熔接或基于树脂的粘接剂等而形成。在引导构件5与玻璃膜2之间形成有间隙的情况下，通过填充树脂而能够填补间隙。作为使用的树脂，优选紫外线固化树脂。将玻璃膜2从支承玻璃3剥离时，通过照射紫外线来使树脂固化，因此能够降低粘接力，能够容易地剥离。实施例以下，基于实施例对本发明的玻璃膜层叠体详细地进行说明，但本发明并不限定于这些实施例。使用纵250mm、横250mm、厚度700 μ m的长方形的透明玻璃板作为支承玻璃。作为层叠在支承玻璃上的玻璃膜，使用纵230mm、横230mm、厚度100 μ m的玻璃膜。支承玻璃和玻璃膜使用日本电气硝子株式会社制的无碱玻璃(产品名0A-10G，在30 380°C下的热膨胀系数38 X IO-V0C )。直接使用由溢流下拉法成形的未研磨状态下的玻璃，或适当控制研磨及化学蚀刻的量，由此控制表面粗糙度Ra。支承玻璃、及玻璃膜的接触面侧的表面粗糙度Ra使用Veeco公司制AFM(Nanoscope III a)，在扫描尺寸10 μ m、扫描频率1Hz、样本线 512的条件下进行测定。表面粗糙度Ra从测定范围10 μ m见方的测定值中算出。测定后， 在表1所示的试验区中分别对支承玻璃及玻璃膜进行划分。对进行了划分的支承玻璃及玻璃膜而言，通过清洗及控制室内的空调来调节水中及空气中含有的尘埃的量，从而调节附着在支承玻璃及玻璃膜的接触面侧的表面上的尘埃的量，由此进行GI值的控制。GI值使用日立高科技电子工程株式会社制的GI7000进行测定。之后，分别根据表1所示的划分，在支承玻璃上层叠玻璃膜，从而得到实施例1 8、比较例1 3的玻璃膜层叠体。对得到的玻璃膜层叠体分别进行清洗工序，由此判断粘接剂强度的好坏。对清洗工序中水浸入粘接剂面而使其剥离的玻璃膜层叠体评X，对能够不发生剥离地清洗的玻璃膜层叠体评〇，对即使用刷擦洗也不会发生剥离的玻璃膜层叠体评◎，由此进行密接性的判定。结构如表1所示。表1
权利要求
1.一种玻璃膜层叠体，其通过在玻璃膜上层叠支承玻璃而成，所述玻璃膜层叠体的特征在于，所述玻璃膜与所述支承玻璃的彼此接触侧的表面的表面粗糙度Ra分别为2. Onm以下。
2.根据权利要求1所述的玻璃膜层叠体，其特征在于，所述玻璃膜及所述支承玻璃的所述表面的GI值分别为lOOOpcs/m2以下。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃膜层叠体，其特征在于， 所述玻璃膜的厚度为300 μ m以下。
4.根据权利要求1 3中任一项所述的玻璃膜层叠体，其特征在于， 所述支承玻璃的厚度为400 μ m以上。
5.根据权利要求1 4中任一项所述的玻璃膜层叠体，其特征在于，所述玻璃膜与所述支承玻璃的在30 380°C下的热膨胀系数之差在5X10_7°C以内。
6.根据权利要求1 5中任一项所述的玻璃膜层叠体，其特征在于， 所述玻璃膜及所述支承玻璃通过溢流下拉法而成形。
7.根据权利要求1 6中任一项所述的玻璃膜层叠体，其特征在于， 所述玻璃膜与所述支承玻璃以在缘部的至少一部分设置高低差的方式层叠。
8.根据权利要求1 7中任一项所述的玻璃膜层叠体，其特征在于，在所述玻璃膜与所述支承玻璃的接触部分的局部区域夹设有剥离用的片构件，并且该片构件的一部分从所述接触部分露出。
9.根据权利要求1 8中任一项所述的玻璃膜层叠体，其特征在于，在所述支承玻璃上，在与所述玻璃膜的有效面以外对应的位置处设有至少一个贯通孔。
10.根据权利要求1 9中任一项所述的玻璃膜层叠体，其特征在于，在所述支承玻璃的所述玻璃膜侧设有用于对所述玻璃膜进行定位的引导构件。
11.根据权利要求10所述的玻璃膜层叠体，其特征在于， 所述弓I导构件比所述玻璃膜的厚度薄。
全文摘要
本发明提供一种通过在玻璃膜(2)上层叠支承玻璃(3)而成的玻璃膜层叠体(1)，其特征在于，所述玻璃膜与所述支承玻璃的彼此接触侧的表面的表面粗糙度Ra为2.0nm以下。
文档编号H05B33/04GK102428052SQ20108002128
公开日2012年4月25日 申请日期2010年6月28日 优先权日2009年7月3日
发明者冈本大和, 泷本博司, 笘本雅博, 高谷辰弥 申请人:日本电气硝子株式会社