胶带粘贴装置的制作方法

专利名称：胶带粘贴装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在液晶面板或PDP(Plasma Display Panel)或有机 EL(Electro-Luminescence)面板等的基板上粘贴各向异性导电胶带的胶带粘贴装置。
背景技术：
例如在液晶面板的模块制造工序中，接合基板的电极与驱动器IC或TCP(Tape Carrier Package)或 COF(Chip on Film)或 FPC(Flexible PrintedCircuit)等部件， 在该接合过程中采用作为包含导电粒子的粘接剂的各向异性导电胶带(Anisotropic Conductive Film :ACF)。用于将各向异性导电胶带(以下称为导电胶带)粘贴到基板的电极上的胶带粘贴装置具备保持基板并使基板在水平面方向上移动的基板保持移动台； 提供在导电胶带上层叠被称为隔离物的保护胶带而成的胶带部件的供给卷筒；具备将由供给卷筒提供的胶带部件按压在基板上并将导电胶带粘贴在基板上的压接头的粘贴单元；以及对由粘贴单元粘贴了导电胶带之后的胶带部件(隔离物单体)进行卷绕的卷绕卷筒。再有，还具备在由压接头将胶带部件按压到基板上时支撑压接头的按压体正下方的基板的下表面的下支撑部(支撑台，backup stage) 0在这种胶带粘贴装置中，公知以下结构的粘贴装置配置有多个转印机构，该转印机构是将供给卷筒、把胶带部件按压到基板上并将导电胶带粘贴在基板上的相当于上述压接头的转印头以及卷绕卷筒作为一个单元来构成，通过同时对基板进行导电胶带的粘贴动作而使得生产率提高(例如专利文献1)。再有，通过尽量减少供给卷筒以及卷绕卷筒两个卷筒的更换次数，从而也可以实现生产率的提高。为此，使胶带部件的胶带长度增大(例如增大为3倍左右)是比较有效的方法。还有，也公知以下技术通过在下支撑部安装对设于基板下表面的基板定位用的基板标记进行拍摄的照相机，从而简化了构成。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特许第3821623号公报

发明内容
然而，若使胶带部件的胶带长度增大，则供给卷筒以及卷绕卷筒二者的直径也会变大，因此不仅会导致装置整体大型化，引起成本上升，还存在以下问题点卷筒的更换作业本身难以进行，作业的中断时间变长，相应地还可能会引起生产率降低。这种问题点即使在仅具备1个压接头的装置中也会产生，如上所述在具备多个压接头的装置中会比较明显，有时不能很好地发挥可同时粘贴多个导电胶带的长处。为此，本发明的目的在于提供一种在不会使得装置整体大型化的前提下既可以增大胶带长度、又可以实现作业效率的提高的胶带粘贴装置。另外，也对本发明的其他目的进行说明。以往，因为下支撑部构成为与粘贴单元一体地移动，所以若使照相机对设于基板
4下表面的基板标记进行拍摄，则不仅下支撑部，就连具有重量的粘贴单元也会移动。因此， 不能迅速地使照相机移动，存在可能会导致基板定位所需的时间变长、作业效率下降的问题点。为此，本发明的另一目的在于提供一种可以缩短基板定位所需的时间，实现作业效率的提高的胶带粘贴装置以及胶带粘贴方法。为了达成上述目的，本发明构成如下。根据本发明的第一方式，提供一种胶带粘贴装置，其包括基板保持台，其保持基板；粘贴单元，其将层叠在胶带部件上的各向异性导电胶带粘贴到基板的侧缘部的胶带粘贴位置上；和粘贴单元移动装置，其使粘贴单元相对于由基板保持台保持着的基板相对地移动，粘贴单元具备供给卷筒，其供给在各向异性导电胶带上层叠隔离物而成的胶带部件；压接头，其将由供给卷筒供给的胶带部件按压在由基板保持台所保持的基板的侧缘部的胶带粘贴位置，将各向异性导电胶带粘贴到所述胶带粘贴位置；和卷绕卷筒，其对由压接头在基板上粘贴了各向异性导电胶带之后的胶带部件进行卷绕，在粘贴单元中，供给卷筒与卷绕卷筒被安装在同一轴上。根据本发明的第二方式提供一种第一方式所述的胶带粘贴装置，其中，该胶带粘贴装置具备多个粘贴单元，每个粘贴单元具备台架，其安装有压接头，并且以能够相对于由基板保持台保持着的基板相对地移动的方式被安装在粘贴单元移动装置上；和底座，其以同轴的方式安装供给卷筒与卷绕卷筒，并且以能够装卸的方式被安装在台架上。根据本发明的第三方式，提供一种第一方式所述的胶带粘贴装置，其中，粘贴单元还包括卷绕卷筒驱动装置，其具有被配置在供给卷筒及卷绕卷筒的所述同一轴上并且与卷绕卷筒连接的第一旋转轴、和对第一旋转轴进行旋转驱动的卷绕卷筒用驱动电动机；和供给卷筒驱动装置，其具有在第一旋转轴的外周侧与第一旋转轴配置在同一轴上并且与供给卷筒连接的中空状的第二旋转轴、和对第二旋转轴进行旋转驱动的供给卷筒用驱动电动机。根据本发明的第四方式，提供一种第二方式所述的胶带粘贴装置，其中，每个粘贴单元还包括卷绕卷筒驱动装置，其具有被配置在供给卷筒及卷绕卷筒的所述同一轴上并且与卷绕卷筒连接的第一旋转轴、和对第一旋转轴进行旋转驱动的卷绕卷筒用驱动电动机；和供给卷筒驱动装置，其具有在第一旋转轴的外周侧与第一旋转轴配置在同一轴上并且与供给卷筒连接的中空状的第二旋转轴、和对第二旋转轴进行旋转驱动的供给卷筒用驱动电动机。根据本发明的第五方式，提供一种第四方式所述的胶带粘贴装置，其中，供给卷筒用驱动电动机及卷绕卷筒用驱动电动机被安装在台架上，在底座上安装于同一轴上的供给卷筒及卷绕卷筒中，将供给卷筒安装得比卷绕卷筒更靠近台架侧。根据本发明的第六方式，提供一种第一方式 第五方式中任一方式所述的胶带粘贴装置，其中，该胶带粘贴装置还包括辊部件，其与通过压接头将各向异性导电胶带粘贴到基板上而仅剩隔离物的胶带部件接触，以除去隔离物上残存的粘接剂的渣滓。根据本发明的第七方式，提供一种第二方式所述的胶带粘贴装置，其中，
该胶带粘贴装置还包括多个下支撑部，其设置为能够相对于基板保持台而在水平面内移动，支撑由基板保持台所保持着的基板的侧缘部的胶带粘贴位置的下表面；多个照相机，其被设于每个下支撑部上，从基板保持台所保持着的基板的下方对基板所具有的基板定位用的基板标记进行拍摄；位置识别装置，其基于通过每个照相机的拍摄而得到的基板标记的图像，进行基板的位置识别；和定位装置，其基于位置识别装置对基板的位置识别结果，使基板保持台动作，进行基板向作业位置的定位，粘贴单元移动装置使每个粘贴单元能够与每个下支撑部独立地在水平面内方向上移动，被定位在各作业位置上的状态下的每个粘贴单元从胶带粘贴位置的上方，对被定位在各作业位置且由每个下支撑部支撑着胶带粘贴位置的下表面的状态下的基板，按压并粘贴各向异性导电胶带。根据本发明的第八方式，提供一种第七方式所述的胶带粘贴装置，其中，该胶带粘贴装置还包括粘贴状态检查装置，其被设置于每个粘贴单元，进行各向异性导电胶带向基板的粘贴状态的检查。(发明的效果)在本发明中，因为将供给卷筒与卷绕卷筒安装在同一轴上并配置为紧凑型，所以即使两卷筒的直径变大，装置整体也不会大型化。由此，可以增大胶带部件的胶带长度，减少卷筒的更换次数，并实现作业效率的提高。另外，在将供给卷筒与卷绕卷筒设置在底座上且被单元化的构成中，该底座能够自由地安装到台架上或自台架上拆卸，可以容易地进行两卷筒的更换，可以缩短卷筒的更换所需的时间，可以实现进一步的作业效率的提高。


本发明的上述这些方式和特征，根据随附的附图以及与其相关的下面记载的优选实施方式会变得更加明确。图1是本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置的立体图。图2是本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置的主视图。
图3是本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置的侧视图。图4是本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置的俯视图。图5是本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置所具备的粘贴单元的主视图。图6是本发明的一个实施方式的粘贴单元的立体图。图7是本发明的一个实施方式的粘贴单元的部分分解立体图。图8是本发明的一个实施方式的粘贴单元的部分剖面俯视图。图9是本发明的一个实施方式的粘贴单元的部分侧视图。图10(a) (b) (C)是本发明的一个实施方式的粘贴单元的部分放大主视图。图11是本发明的一个实施方式的粘贴单元的部分放大主视图。图12是表示本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置的动作顺序的一例的流程图。图13是本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置的部分剖面俯视图。图14是本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置的主视图。图15是本发明的一个实施方式的胶带粘贴装置的主视图。
具体实施例方式在继续本发明的描述之前，在附图中针对相同的部件赋予相同的参照标记。以下参照附图对本发明的实施方式进行说明。在图1 图4中，胶带粘贴装置1 在基座2上具有门型的框架3，框架3具有从操作人员OP方向看沿着基座2的横向延伸的水平部3a和支撑该水平部3a的两端的一对垂直部北。在以下的说明中为了方便，将框架 3的水平部3a延伸的水平面内的方向(基座2的横向)作为X轴方向，将与X轴方向正交的水平面内的方向(基座2的前后方向)作为Y轴方向。另外，将该水平面的垂直方向作为Z轴方向，将绕Z轴旋转的旋转方向作为θ方向。进而，在该胶带粘贴装置中，将Y轴方向的操作人员的主要站立位置侧、即操作人员OP侧作为前面侧(以下称为前面侧)，将Y轴方向的与操作人员OP侧相反的一侧作为后方侧(背面侧)(以下称为后方侧或背面侧)。在图1 图4中，在基座2的上表面的框架3的Y轴方向的后方侧区域，设有用于进行基板PB的保持以及移动(向作业位置的定位)的基板保持移动台4。在图3及图4 中，基板保持移动台4具备使保持基板PB的基板保持部4d在沿着X轴方向移动的在基座 2上沿着X轴方向延伸的X台轴如；配置于X台轴如上并使基板保持部4d在Y轴方向上移动的Y台轴4b ；以及配置于Y台轴4b上且使基板保持部4d在Z轴方向上上下移动以及使基板保持部4d沿θ方向旋转的θ台轴如。基板保持移动台4使由载置在基板保持部 4d的上表面且未图示的基板吸附机构吸附保持着的基板PB在水平面内方向(X轴方向、Y 轴方向、Z轴方向以及θ方向)移动，进行基板PB向作业位置的定位。由基板保持移动台 4进行的基板PB向作业位置定位的控制是由该胶带粘贴装置1所具备的控制器8(图2)来进行的。 在图4中，基板PB例如为形成为长方形形状的液晶面板的基板，在该基板PB的侧缘部的长边与短边上分别设有隔着导电胶带ACF而接合未图示的部件的多个电极DT。其中，各个电极DT都位于应该粘贴导电胶带ACF的位置、即胶带粘贴位置处。
在图1及图2中，在框架3的前面侧(操作人员OP —侧)，分别具备压接头21的2个粘贴单元5被设置为能够沿着框架3的水平部3a而在X轴方向上自由移动，其中压接头21将从供给卷筒32提供的胶带部件T的导电胶带ACF粘贴到基板PB的侧缘部。这2个粘贴单元5构成为能够相对于基板保持移动台4所保持着的基板PB分别独立地在沿着基板PB的侧缘部的方向、即X轴方向上移动。另外，在框架3的水平部3a上，具备使2个粘贴单元5分别独立地在X轴方向上移动的移动装置(未图示)。在本实施方式中，该移动装置为粘贴单元移动装置的一例，例如可以利用球形螺杆机构或者线性驱动机构来构成。再有，粘贴单元移动装置只要具有相对于由基板保持移动台4保持着的基板PB而言使2个粘贴单元5 “相对”独立地沿着X轴方向分别移动的功能即可，并非仅限于粘贴单元5自身移动的情况。在图5、图6及图7中，各粘贴单元5具备驱动单元部6、和以能够装卸的方式被装备于驱动单元部6中的胶带供给单元部7。驱动单元部6具备安装有将导电胶带ACF粘贴到基板PB的侧缘部的压接头21，且在框架3的水平部3a上能沿着X轴方向移动的台架 (holder) 11。胶带供给单元部7构成为将供给卷筒32和卷绕卷筒33分别安装在底座31 的同一轴上，该供给卷筒32供给在导电胶带ACF上层叠被成为隔离物SP的保护胶带而构成的胶带部件T (图5中的部分放大图)，该卷绕卷筒33对由压接头21将从供给卷筒32供给的胶带部件T的导电胶带ACF按压到基板PB上且进行粘贴之后的胶带部件(隔离物SP 单体)进行卷绕。胶带供给单元部7收纳胶带部件，进而胶带供给单元部7的底座31以能够装卸的方式而被安装在驱动单元部6的台架11上。在图6、图7及图8中，驱动单元部6是在台架11上安装供给卷筒驱动电动机12、 卷绕卷筒驱动电动机13、驱动齿轮14、从动齿轮15、中空旋转轴(shaft) 16、第一原点传感器17、第二原点传感器18、胶带输送辊驱动电动机19、胶带切割器20、压接头21、剥离辊单元22以及胶带摄像照相机23而构成的，该台架11是由被设置为在框架3的水平部3a上能沿着X轴方向、即横向自由移动(因此，相对于由基板保持移动台4保持着的基板PB能够自由移动)的板状部件构成的。在图1中，通过由控制器8对设于框架3的水平部3a内且未图示的球形螺杆机构进行动作控制，从而可以使各台架11 (这里为两个)在框架3的水平部3a上各自独立地在沿着基板PB的侧缘部的方向、即X轴方向上移动(图1中示出的箭头Al)。在图6及图7中，胶带供给单元7构成为在以能装卸的方式安装于驱动单元部 6的台架11上且由板状部件构成的底座31的前面，除了供给卷筒32与卷绕卷筒33以外， 还安装有用于将胶带部件向卷绕卷筒33引导的胶带输送辊34、第一阶差辊35、第二阶差辊 36、清洗辊37以及多个引导辊(第一 第七引导辊41、42、…、47)等胶带输送路径装置， 该卷绕卷筒33对由压接头21将从供给卷筒32供给的胶带部件T的导电胶带ACF按压到基板PB上并进行粘贴之后的胶带部件(隔离物SP单体)进行卷绕。再有，在构成胶带供给单元部7的底座31的中央处设有从Z轴方向的下方向上方延伸的切口部31a，在切口部31a的上方的区域内，供给卷筒32与卷绕卷筒33均在Y轴方向上绕着Yl轴安装在同一轴上。卷绕卷筒33的直径要比供给卷筒32的直径小，并且设置为对于操作人员OP而言比供给卷筒32更靠近眼前侧(前面侧)。S卩，如图6所示，按照供给卷筒32配置得比卷绕卷筒33更靠近台架11的方式，以同轴的方式将供给卷筒32与卷绕卷筒33安装在底座31上。
在图6及图8(a)、(b)中，从操作人员OP侧(Y轴方向的前面侧)观察，供给卷筒驱动电动机12与卷绕卷筒驱动电动机13并列地设置在台架11的背面。供给卷筒驱动电动机12的驱动轴1 在Y轴方向上贯通台架11并延伸到台架11的前面侧，且与作为外齿齿轮的驱动齿轮14连接。中空旋转轴16 (中空状的第二旋转轴的一例)以绕着Yl轴可自由旋转地方式设置在台架的前面侧，以外齿齿轮与驱动齿轮啮合的从动齿轮15被固定在中空旋转轴16的外周面。卷绕卷筒驱动电动机13的驱动轴13a(第一旋转轴的一例)在 Y轴方向上贯通台架11并向台架11的前面侧突出，进而在Y轴方向上贯通中空旋转轴16 的内部并延伸。即，中空旋转轴16与驱动轴13a被配置在同一轴上。在图8(a)、(b)中，在将胶带供给单元部7的底座31安装到驱动单元部6的台架 11的前面侧时，中空旋转轴16在Y轴方向上贯通设于底座31上的贯通孔31b，并与设于供给卷筒32背面的旋转轴安装孔3 嵌合，从而中空旋转轴16与供给卷筒32被连接在一起。再有，卷绕卷筒驱动电动机13的驱动轴13a与设于卷绕卷筒33背面的驱动轴安装孔 33a嵌合，从而卷绕卷筒驱动电动机13的驱动轴13a和卷绕卷筒33被连接在一起。另外， 由供给卷筒驱动电动机12、驱动轴12a、驱动齿轮14、从动齿轮15以及中空旋转轴16构成供给卷筒驱动装置，由卷绕卷筒驱动电动机13以及驱动轴13a构成卷绕卷筒驱动装置。根据该构成，若在将胶带供给单元部7安装到驱动单元部6的状态下驱动供给卷筒驱动电动机12的驱动轴12a，则其驱动力从驱动齿轮14、从动齿轮15、中空旋转轴16而被传递到供给卷筒32，供给卷筒32绕着Yl轴旋转。再有，若卷绕卷筒驱动电动机13的驱动轴13a被驱动，则其驱动力被传递到卷绕卷筒33，使得与供给卷筒32配置在同一轴上的卷绕卷筒33绕着Yl轴旋转。此外，由控制器8进行供给卷筒驱动电动机12的驱动轴12a 的旋转动作控制以及卷绕卷筒驱动电动机13的驱动轴13a的旋转动作控制。另外，在本实施方式中，虽然以利用齿轮传递机构来构成供给卷筒驱动装置的情况为例进行了说明，但也可以取代这种情况，作为供给卷筒驱动装置或卷绕卷筒驱动装置，例如采用计时皮带传递机构来构成。在图5及图7中，第一引导辊41被设置在从前面侧所看到的底座31的切口部31a 的图示左方的区域内，第二引导辊42被设置在第一引导辊41的下方。第三引导辊43被设置在第二引导辊42的图示右下方，第一阶差辊35被设置为在第三引导辊43的上方沿着由沿上下方向延伸的LM导向器构成的第一阶差辊导向器3 而在上下方向上自由移动。第一阶差辊35由未图示弹簧部件始终向上方被施加弹性力，在向下方的拉拽荷重不起作用时， 位于第一价差辊导向器35a的最上侧的位置处、即原点位置。再有，在第一阶差辊导向器35a的图示右方设有在Y轴方向上贯通底座31的贯通孔31c，设于驱动单元部6的台架11前面的第一原点传感器17的前端(传感器部)自该贯通孔31c突出。第一原点传感器17沿着水平方向向位于原点位置的第一阶差辊35投射检查光，在第一阶差辊35位于原点位置时，因为接收由第一阶差辊35反射的检查光，所以输出受光信号，而在第一价差辊35并未位于原点位置时(位于原点位置的下方时)因为未接收由第一阶差辊35反射的检查光，所以不输出受光信号。控制器8基于来自这种第一原点传感器35的受光信号的输出状态，以检测第一阶差辊35是否位于原点位置。在图5及图7中，剥离辊单元22构成为包括以沿着横向(X轴方向)自由移动的方式设置在台架11的图示右下方的区域内的移动底座22a ；设置于移动底座22a的前面的一对辊(第一剥离辊22b及第二剥离辊22c)。第一剥离辊22b在X轴方向上夹持着台架 11的切口部31a而位于第三引导辊43的图示右侧，第二剥离辊22c位于第一剥离辊22b的图示右上方。从前面侧看，第四引导辊44被设置在胶带供给单元部7的底座31的切口部31a 的图示右方的区域的中央部下方，第五引导辊45被设置于第四引导辊44的上方。第六引导辊46被设置在第五引导辊45的图示左上方，第七引导辊47被设置在第六引导辊46的图示左方。第二阶差辊36被设置为能在第六引导辊46与第七引导辊47之间的区域的下方，在第二阶差辊导向器36a上沿着上下方向自由移动，该第二阶差辊导向器36a由沿着上下方向延伸的LM导向器构成。第二阶差辊36由未图示的弹簧部件始终向下方被赋予弹性力，在向上方的拉拽荷重不起作用时位于比规定的原点位置(第二阶差辊导向器36a的基本中间位置)更靠下方的位置处。再有，在第二阶差辊导向器36a的图示左方，设置在Y轴方向上贯通底座31的贯通孔31d，设置在驱动单元部6的台架11的前面的第二原点传感器18的前端(传感器部) 自该贯通孔31d突出。第二原点传感器18沿着水平方向向位于原点位置的第二阶差辊36 投射检查光，在第二阶差辊36位于原点位置时因为接收由第二阶差辊36反射的检查光，所以输出受光信号，而在第二价差辊36并未位于原点位置时(位于原点位置的下方时)因为未接收由第二阶差辊36反射的检查光，所以不输出受光信号。控制器8基于来自这种第二原点传感器36的受光信号的输出的有无，以检测第二阶差辊36是否位于原点位置。胶带输送辊34由被设置为相对地压合外周面的驱动辊3 及夹送辊(pinch roller) 34b构成，且被安装在第五引导辊45的图示右方。胶带输送辊驱动电动机19设置在台架11的背面，其驱动轴19a在Y轴方向上贯通台架11。在将胶带供给单元部7的底座 31安装在驱动单元部6的台架11的前面时，胶带输送辊驱动电动机19的驱动轴19a的向台架11的前面侧延伸的部分与设于驱动辊3 的背面的未图示的驱动轴安装孔嵌合，从而安装在台架11上的胶带输送辊驱动电动机19的驱动轴19a和安装在胶带供给单元部7的底座31上的驱动辊3 连接在一起。因此，若在胶带供给单元部7被安装到驱动单元部6的状态下驱动胶带输送辊驱动电动机19的驱动轴19a，则其驱动力被传递到驱动辊34a，驱动辊3 绕Y轴旋转，夹送辊34b向与驱动辊；Ma相反的方向旋转，由驱动辊3 与夹送辊34b夹持胶带部件(隔离物SP单体)T，同时向被卷绕卷筒33回收的方向输送胶带部件(隔离物SP单体)T。其中， 胶带输送辊驱动电动机19的驱动轴19a的旋转动作控制由控制器8进行。在图5及图7中，清洗辊37具备被设置为相对地压合外周面的第一清洗辊37a及第二清洗辊37b。相对于胶带部件(隔离物SP单体)T的输送方向而言，与胶带输送辊34 相比在跟前侧配置清洗辊37，该清洗辊37被安装在第四引导辊44与第五引导辊45之间的上下中间部，其中胶带输送辊34利用驱动辊3 与夹送辊34b夹持胶带部件(隔离物SP 单体)，同时输送胶带部件(隔离物SP单体)T。第一清洗辊37a由外周面具有粘接性的弹性材料(例如氨基甲酸乙酯(urethan))形成，第二清洗辊37b由外周面具有比第一清洗辊 37a的侧面更弱的粘接性的材料(例如特氟隆(注册商标))形成。胶带切割器20被设置在台架11前面的第三引导辊43的右侧区域内。该胶带切割器20由在上下方向并列设置的上刃20a与下刃20b构成，通过这上下两刃20a、20b进行
10相互接近及相互分开的开闭动作(切断动作)，从而切断在水平方向上通过上下两刃20a、 20b之间的胶带部件T的导电胶带ACF(对导电胶带ACF开设切痕)。另外，在由该胶带切割器20进行的胶带部件T的切断动作中，仅切断胶带部件T中的层叠于隔离物SP上的导电胶带ACF，而不切断隔离物SP。压接头21位于设置在底座31上的切口部31a内，并被设置于台架11上。压接头 21包括沿着上下方向(Z轴方向)延伸且使杆(rod) 21a向下方突没的汽缸21b ；以及设于杆21a的下端的按压体21c。按压体21c具备热源21d。再有，为了检查基板PB上的导电胶带ACF的粘贴状态，而从基板PB的上方对粘贴在基板PB上的导电胶带ACF进行拍摄的胶带摄像照相机23，在沿着基板PB的侧缘部的方向、即X轴方向上，能够相对于基板保持移动台4移动(即相对于基板保持移动台4所保持的基板PB移动)，且被安装在支撑设有电极DT的基板PB的侧缘部的下表面的支撑台51 (下支撑部)独立地移动的粘贴单元5的台架11上，设于胶带供给单元部7的底座31前面的第四引导辊44的图示右方(参照图3及图幻。胶带摄像照相机23使摄像视野朝向下方， 从上方侧对被粘贴在基板PB上的胶带粘贴位置处(应该粘贴导电胶带ACF的位置，即设有电极DT的位置处)的导电胶带ACF进行拍摄。胶带摄像照相机23的拍摄动作由控制器8来控制，由胶带摄像照相机23所拍摄的图像信息被输入到控制器8中。而且，控制器8基于通过胶带摄像照相机23的拍摄而得到的导电胶带ACF的图像，进行向基板PB粘贴导电胶带ACF的状态(基板PB上有无导电胶带ACF以及粘贴状态是否良好)的判断。其中，在该检查中，只要可以检查基板PB上的导电胶带ACF的粘贴状态即可，还可以取代摄像照相机而采用光学式的传感器等。在图1 图4中，在配置于基座2的上表面的框架3的Y轴方向的前方区域、即2 个粘贴单元5的下方区域，沿着基座2的横向(X轴方向)延伸设置支撑台导向器50，在该支撑台导向器50的上表面，2个支撑台51被设置为互相地且与2个粘贴单元5 (因此与2 个压接头21)独立地在沿着基板PB的侧缘部的方向、即X轴方向上自由移动。各支撑台51 通过由控制器8对设于支撑台导向器50内的未图示的球形螺杆机构或者线性电动机机构等进行动作控制，从而能沿着支撑台导向器50而在X轴方向、即横向上移动(图1中示出的箭头A2)。各支撑台51是上表面为平坦面52 (参照图3及图4)的柱状部件，各支撑台51的平坦面52向X轴方向移动的移动轨道和两粘贴单元5所具备的压接头21的按压体21c在 X轴方向上的移动轨道L(参照图4)在上下方向上对置。因此，各支撑台51可以在与位于沿着框架3的水平部3a的任意位置上的压接头21在上下方向上对置的位置处相对地进行 X轴方向的移动。在Y轴方向上的与操作人员OP侧相反一侧的各支撑台51的背面，设有向后方侧突出的照相机支撑部53，在该照相机支撑部53上设有使摄像视野朝向上方的基板标记摄像照相机M。即，该胶带粘贴装置1所具备的2个基板标记摄像照相机M可以相对于2个粘贴单元5沿着X轴方向相互独立移动。这两个基板标记摄像照相机M是自玻璃等透明材质的基板PB的侧缘部的下表面侧分别对设于侧缘部两端侧的基板PB的定位用的2个基板标记M(参照图4)进行拍摄的部件，该摄像动作是由控制器8进行控制的，由这两个基板标记摄像照相机M所拍摄的基板标记M的图像信息被输入到控制器8中。而且，控制器8基于通过基板标记摄像照相机M的拍摄而得到的基板标记M的图像进行基板PB的位置识另IJ，利用基板保持移动台4使基板PB移动，进行基板PB向作业位置的定位。即，在本实施方式中，作为控制器的功能，控制器8具有作为基于通过基板标记摄像照相机M的拍摄而得到的基板标记M的图像进行基板PB的位置识别的位置识别单元的功能；作为基于位置识别单元对基板PB的位置识别结果而使基板保持移动台4工作，以进行基板PB向作业位置的定位的基板定位单元的功能。在图5中，从供给卷筒32拉出的胶带部件T按照以下顺序被搭在作为胶带输送路径单元的第一引导辊41、第二引导辊42、第一阶差辊35、第三引导辊43、构成剥离辊单元22 的第一剥离辊22b及第二剥离辊22c、第四引导辊44、清洗辊37、第五引导辊45、胶带输送辊34、第六引导辊46、第二阶差辊36以及第七引导辊47上，并与卷绕卷筒33连接。另外， 虽然设为胶带输送路径单元中包含清洗辊37，但在根据胶带部件T自身情况，位于胶带输送方向(箭头B(参照图幻)下游的胶带输送辊34用的胶带部件T不需要清洗时，胶带输送路径单元中也可以不包含清洗辊37。在此，如图9所示，第一引导辊41及第二引导辊42在包含供给卷筒32的胶带部件T的卷曲面在内的垂直面Sl内输送胶带部件T，如图5及图7所示，第一阶差辊35、第三引导辊43、剥离辊单元22 (第一剥离辊22b及第二剥离辊22c)、第四引导辊44、清洗辊37、 第五引导辊45、胶带输送辊34、第六引导辊46、第二阶差辊36以及第七引导辊47在包含卷绕卷筒33的胶带部件的卷曲面在内的垂直面S2内输送胶带部件T。因此，胶带部件T在从第二引导辊42到第一阶差辊35之间向Y轴方向的前面侧偏移了包含供给卷筒32的胶带部件T的卷曲面在内的垂直面Sl与包含卷绕卷筒33的胶带部件T的卷曲面在内的垂直面S2在Y轴方向的差(阶差)Δ量，但是由此在被配置在Y轴方向的同一轴上且在Y轴方向上偏移了该阶差Δ量的供给卷筒32与卷绕卷筒33之间，能进行胶带部件T的供给及卷绕。另外，胶带部件T在从第二引导辊42到第一阶差辊35之间向Y轴方向的前面侧偏移了包含供给卷筒32的胶带部件T的卷曲面在内的垂直面Sl与包含卷绕卷筒33的胶带部件T的卷曲面在内的垂直面S2在Y轴方向的差(阶差)△量，但也可以是在从第六引导辊46到第二阶差辊36之间向Y轴方向的前面侧偏移供给卷筒32的胶带部件T的卷曲面与卷绕卷筒33的胶带部件T的卷曲面在Y轴方向的差(阶差)Δ量，被配置在Y轴方向的同一轴上，且在Y轴方向上偏移了该阶差Δ量的供给卷筒32与卷绕卷筒33之间进行胶带部件T的供给及卷绕。然而，为了构成为在利用压接头21将从后述的供给卷筒32拉出的胶带部件T的导电胶带ACF的面粘贴到基板PB之前，导电胶带ACF的面不与胶带输送路径单元的辊01、 42,35,43)的面接触，希望胶带部件T采取以下构成在从第二引导辊42到第一阶差辊35 之间向Y轴方向的前面侧偏移包含供给卷筒32的胶带部件T的卷曲面在内的垂直面Sl与包含卷绕卷筒33的胶带部件T的卷曲面在内的垂直面S2在Y轴方向的差(阶差)Δ量， 被配置在Y轴方向的同一轴上，且在Y轴方向上偏移了该阶差Δ量的供给卷筒32与卷绕卷筒33之间进行胶带部件T的供给及卷绕。在图2及图5中，在第三引导辊43与第一剥离辊22b之间，沿着水平方向传送胶带部件T。这是为了 在此之间(第三引导辊43与第一剥离辊22b之间)的胶带部件T被设置于由基板保持移动台4保持的基板PB的侧缘部，胶带部件T的导电胶带ACF与粘贴的电极DT的表面平行。另外，如图6所示，在该胶带粘贴装置1的粘贴单元5中，胶带部件T 按照设置有导电胶带ACF —侧成为供给卷筒32的轴心方向的内侧的方式被供给卷筒32卷绕，在从供给卷筒32拉出之后的隔离物SP上层叠了导电胶带ACF的胶带部件T成为与设有导电胶带ACF的一侧相反侧的隔离物SP和第一引导辊41、第二引导辊42、第一阶差辊 35以及第三引导辊43的外周面接触。在第三引导辊43与第四引导辊44之间的胶带部件 T被沿着水平方向输送的区域内，导电胶带ACF成为胶带部件T的下表面。由此，因为从供给卷筒32拉出的胶带部件T的导电胶带ACF的面在由压接头21 粘贴到基板PB的侧缘部的电极DT之前不会与胶带输送路径单元的辊(41、42、35、4；3)的面接触，所以可以防止胶带输送路径单元的辊01、42、35、43)的面的污染等引起的导电胶带 ACF的品质降低或粘接性的导电胶带ACF附着到胶带输送路径单元的辊01、42、35、43)的面上而产生的胶带部件T的输送故障。在图5中，胶带部件T以被第一清洗辊37a与第二清洗辊37b夹持的状态通过清洗辊37。再有，胶带部件T以被驱动辊3 与夹送辊34b夹持的状态通过胶带输送辊34。在将胶带供给单元部7安装到驱动单元部6之前的初始状态下，如上所述，在相对于驱动单元部6能拆装的胶带供给单元部7中，在同一轴上安装胶带部件T的供给卷筒32 与卷绕卷筒33，并且将胶带部件T搭在多个引导辊(第一 第七引导辊41、42、…、47)、胶带输送辊34、第一阶差辊35、第二阶差辊36、剥离辊单元22以及清洗辊37等用于向卷绕卷筒33引导胶带部件T的胶带输送路径单元上，按照第一阶差辊35及第二阶差辊36分别成为能够进行位置调整为位于各自的原点位置的状态的方式，调节从供给卷筒32到卷绕卷筒33之间的胶带部件T的长度，其中该卷绕卷筒33对由压接头21将从供给卷筒32供给的胶带部件T的导电胶带ACF按压到基板PB上并进行粘贴之后的胶带部件(隔离物SP 单体)进行卷绕。而且，将该初始状态下的胶带供给单元部7安装到驱动单元部6，控制器 8驱动胶带输送辊驱动电动机19的驱动轴19a，若使胶带输送辊34的驱动辊3 沿着图5 中示出的箭头Rl的方向旋转，则伴随与此，夹送辊34b会沿着箭头R2的方向旋转，被驱动辊3 与夹送辊34b夹持着的胶带部件T在图5所示的箭头B的方向上前进。此外，因为胶带部件T被驱动辊3 与夹送辊34b夹持着，所以即使在初始状态 (即未安装到驱动单元部6的状态)下的胶带供给单元部7的驱动辊3 与胶带输送辊驱动电动机19的驱动轴19a分离的状态下，胶带部件T的输送位置也不会大幅度偏移。若胶带部件T在箭头B的方向上前进，首先，供给卷筒32 (以及卷绕卷筒3 处于停止状态，所以供给卷筒32与胶带输送辊34之间的胶带部件T的长度缩短，第一阶差辊35 抵抗安装在第一阶差辊导向器35a的弹簧(未图示)的弹性力，被从原点位置向下方拉拽。 控制器8基于来自位于原点位置的第一原点传感器17的输出而检测出第一阶差辊35从原点位置向下方的移动时，驱动供给卷筒驱动电动机12的驱动轴12a，使供给卷筒32沿着图 5所示的箭头R3的方向旋转。由此，从供给卷筒32供给(调出)胶带部件T。若从供给卷筒32供给胶带部件T，则供给卷筒32与胶带输送辊34之间的胶带部件T的长度变长，因此第一阶差辊35因为安装在第一阶差辊导向器35a的弹簧(未图示) 的弹性力而上升。控制器8在基于来自第一原点传感器17的输出而检测出第一阶差辊35 返回到原点位置时，停止供给卷筒32的驱动。然后，通过停止该供给卷筒32的驱动，从而在再次检测到第一阶差辊35从原点位置向下方移动时，控制器8重新开始供给卷筒32的驱动。由此，可以将供给卷筒32与胶带输送辊34之间的胶带部件T的长度基本保持恒定。另一方面，若由胶带输送辊34向卷绕卷筒33侧输送胶带部件T，则胶带输送辊34 与卷绕卷筒33之间的胶带部件T会变长，因此第二阶差辊36借助安装在第二阶差辊导向器36a的弹簧(未图示)的弹性力而从原点位置向下方移动。控制器8若基于来自位于原点位置的第二原点传感器36的输出而检测出第二阶差辊36从原点位置向下方移动，则驱动卷绕卷筒驱动电动机13，使卷绕卷筒33沿着图5所示的箭头R4的方向旋转。由此，胶带输送辊34与卷绕卷筒33之间的胶带部件T被卷绕卷筒33卷绕。若由卷绕卷筒33卷绕胶带部件T，则胶带输送辊34与卷绕卷筒33之间的胶带部件T的长度变短，因此第二阶差辊36抵抗安装在第二阶差辊导向器36a的弹簧(未图示) 的弹性力被上拉而上升。控制器8在基于来自第二原点传感器18的输出而检测出第二阶差辊36返回到原点位置后，停止卷绕卷筒33的驱动。然后，通过停止该卷绕卷筒33的驱动，从而在再次检测到第二阶差辊36从原点位置向下方移动时，控制器8重新开始卷绕卷筒33的驱动。由此，可以将胶带输送辊34与卷绕卷筒33之间的胶带部件T的长度基本保持恒定。第三引导辊43与构成剥离辊单元22的第一剥离辊22b之间的胶带部件T在水平方向上被输送的区域的中间部分成为粘贴作业区域PR，在该粘贴作业区域PR内，进行通过设在驱动单元部6的台架11上的压接头21而在由基板保持移动台4所保持的基板PB上的胶带粘贴位置处粘贴导电胶带ACF的作业(图5)。在此，胶带部件T在到达粘贴作业区域ra之前通过胶带切割器20的上刃20a与下刃20b之间，借助胶带切割器20的切断动作而将导电胶带ACF切断，留出切痕，被裁断为所需要的长度。若将导电胶带ACF作为下面侧并在隔离物SP上层叠了导电胶带ACF的胶带部件T 输送到粘贴单元5的压接头21的粘贴作业区域PR，则通过位于该粘贴单元5的压接头21 正下方(即粘贴作业区域I3R的正下方)的支撑台51的平坦面52，支撑设置了电极DT的基板PB侧缘部的下表面(图10(a))，在此基础上使在粘贴单元5的驱动单元部6的台架11 上设置的压接头21的汽缸21b工作，使杆21a向下方突出，由此通过设于杆21a下端且被加热器21d加热的按压体21c，将粘贴作业区域PR内的胶带部件T按压到支撑台51支撑的基板PB侧缘部上设置的电极DT上，从而将层叠在胶带部件T上的导电胶带ACF粘贴到基板PB的电极DT上(图10(b))。通过压接头21将导电胶带ACF粘贴到基板PB上后，使汽缸21b工作，向上方拉拽杆21a，从而使按压体21c自胶带部件T离开(图10(c))。接着，使剥离辊单元22的移动底座22a向粘贴作业区域I3R侧移动(图10(c)。如图中所示的箭头A3 (X轴方向图示左侧))。由此，胶带部件T被拽向上方，将隔离物SP强制性地与被粘贴在基板PB上的导电胶带ACF分离。另外，导电胶带ACF与隔离物SP之间的接合力和被粘贴到基板PB上的导电胶带 ACF与基板PB之间的接合力相比较弱，因此通过将按压体21c拽向上方后的胶带部件T的张力，隔离物SP很自然地自导电胶带ACF部分分离，但是通过采用上述的剥离辊单元22，从而可以迅速且可靠地进行隔离物SP自被粘贴在基板PB上的导电胶带ACF的分离。在由压接头21进行了导电胶带ACF的粘贴之后，如图5及图11所示，成为隔离物
14SP单体的胶带部件T之后经由第四引导辊44、第五引导辊45而通过胶带输送辊34，但是成为在该隔离物SP单体的设有导电胶带ACF—侧的面上附着有(残留有)粘接剂的渣滓的状态。胶带输送辊34的驱动辊3 是在其外周面具有多个微小的突起34t(参照图11)且可以准确地控制胶带部件T的输送量的部件，若在这种驱动辊34a的表面上附着(从隔离物SP转移)粘接剂的渣滓K，则有可能无法准确地进行胶带部件T的输送量控制。再有，在若想除去附着并牢牢地粘在驱动辊3 表面上的粘接剂的渣滓K，则要直接用金属刷等对驱动辊34a的表面进行清洗的情况下，驱动辊34a的外周面所具备的多个微小的突起34t会因为清洗而导致磨损，胶带部件T的输送量控制会变得不准确。还有，在粘接剂的渣滓K牢牢地粘在驱动辊3 的表面之前，即使直接清洗驱动辊3 的表面，驱动辊3 的表面上也会残留渣滓K的粘接成分，驱动辊3 的表面会变得不稳定且发粘，胶带部件T的输送量控制会变得不准确。然而，在该胶带粘贴装置1的粘贴单元5中，成为隔离物SP单体的胶带部件T在到达驱动辊3 之前，使第一清洗辊37a向一个方向(图11中所示的箭头肪)旋转，同时使第二清洗辊37b向相反的方向(图11中示出的箭头R6)旋转，以通过清洗辊37，从而胶带部件T的残留有粘接剂的渣滓K一侧的面与由具有粘接性的氨基甲酸乙酯等弹性材料构成的第一清洗辊37a接触，从而粘接剂的渣滓K被除去，因此不再存在因为粘接剂的渣滓K 引起的驱动辊34a的输送量控制变得不准确的担忧。另外，第一清洗辊37a及第二清洗辊 37b优选相对于胶带供给单元部7的底座31而言能够自由装卸，并且进行更换或清扫，可以始终将驱动辊3 的表面保持清洁(没有粘接剂的渣滓的状态)。接着，利用图12的流程图、图13 图15以及图3，对利用这种构成的胶带粘贴装置1而在基板PB上的胶带粘贴位置处粘贴导电胶带ACF的顺序进行说明。在基板PB上的胶带粘贴位置处粘贴导电胶带ACF的过程中，首先控制器8使未图示的基板搬运装置工作， 将基板PB搬入到胶带粘贴装置1内，将该基板PB载置在基板保持移动台4的基板保持部 4d上并进行吸附保持(图12的步骤STl)。然后，使基板保持移动台4工作，使设于玻璃等透明材质的基板PB侧缘部的两端侧的2个基板标记M,位于基板标记摄像照相机M的移动轨道Ll的大致正上方的位置处(参照图13及图3中以虚线表示的基板PB)，进行基板PB 的暂时定位(步骤SD)，其中基板标记摄像照相机M的移动轨道Ll是通过使支撑台51在支撑台导向器51上沿着X轴方向移动而形成的。控制器8进行了基板PB的暂时定位后，使2个支撑台51分别沿X轴方向移动，这两个支撑台51各自具备的基板标记摄像照相机M位于X轴方向的基板标记M的拍摄位置、即各自的基板PB侧缘部的两端侧的基板标记M的正下方(图13及图14)，之后通过这两个基板标记摄像照相机M分别对基板标记M进行拍摄(步骤ST3)。其中，在此在通过基板标记摄像照相机M分别对基板标记M进行拍摄时，在进行了基板PB的暂时定位之后使2个支撑台51移动到X轴方向的基板标记M的拍摄位置，但是也可以相对于基板标记M的拍摄位置，几乎同时进行基板PB的暂时定位和支撑台51向 X轴方向的移动。再有，也可以在基板PB的暂时定位之前，使2个支撑台51沿X轴方向移动，再移动到基板标记M的拍摄位置。控制器8在使2个基板标记摄像照相机M对基板PB两端侧的2个基板标记M进行拍摄后，基于这两个基板标记M的拍摄结果(图像)进行图像识别，进行用于计算基板PB的位置偏移(基板PB的θ方向的位置偏移)的基板PB的位置识别(步骤ST4)。控制器8在进行了基板PB的位置识别之后，基于该位置识别结果而使基板保持移动台4工作，进行向在由基板保持移动台4保持的基板PB侧缘部的多个胶带粘贴位置上粘贴导电胶带ACF的作业的位置、即作业位置的定位(定位以及位置修正)(步骤ST5)。该基板PB向作业位置的定位具体是通过以下方式来进行的使基板保持移动台4工作，基于在步骤ST4中求得的位置识别结果，例如按照在θ方向消除位置偏移的方式使基板PB整体在θ方向上旋转，进而按照由基板保持移动台4所保持的基板PB的胶带粘贴位置位于 2个粘贴单元5各自具备的压接头21的(按压体21c)的X轴方向的移动轨道L的正下方的方式，使基板保持移动台4所保持的基板PB整体向Y轴方向的前方移动。在此，如图14所示，控制器8在进行上述基板PB的位置识别的期间内(或者进行基板PB的位置识别之前)，使2个粘贴单元5分别移动到基板保持移动台4所保持的基板 PB的胶带粘贴位置的上方(步骤ST6)。然后，若步骤ST5的基板PB向作业位置的定位结束，则按照在上下方向之间夹持被定位在该作业位置上的基板PB的侧缘部的胶带粘贴位置的方式，使2个支撑台51移动到与2个粘贴单元5的每一个在上下方向对置的位置，相对于2个支撑台51，使由基板保持移动台4的基板保持部4d所保持的基板PB在Z轴方向上相对移动，由2个支撑台51来支撑基板PB的胶带粘贴位置的下表面(步骤ST7)。由此，2个粘贴单元5与2个支撑台51， 各自上下对置的部分彼此成为一组，成为被配置为在上下方向夹持基板PB的胶带粘贴位置的状态。此时，之后要粘贴的胶带部件T的导电胶带ACF成为位于各粘贴单元5的粘贴作业区域ra内的状态(参照图5)。另外，上述一组的1个粘贴单元5与1个支撑台51构成为能够相互独立地沿着X轴方向移动。其中，2个支撑台51对基板保持移动台4的基板保持部4d所保持的基板PB的胶带粘贴位置的下表面进行支撑的支撑动作，可以使保持着基板PB的基板保持部4d沿着Z 轴方向下降来进行。或者，也可以按照支撑基板PB的胶带粘贴位置的下表面的方式，在支撑台51上设置球形螺杆机构、线性电动机驱动机构或汽缸机构等上下移动单元(未图示)， 使2个支撑台51上升来进行。再有，在该胶带粘贴装置1中，2个支撑台51与2个粘贴单元5可以互相分别独立地在沿着基板PB的侧缘部的方向、即X轴方向上自由移动，因此在利用2个基板标记摄像照相机M进行基板定位标记M的拍摄(即基板PB的位置识别)的期间(参照图14)，可以使具有胶带部件T的供给卷筒32或卷绕卷筒33或胶带输送路径单元的2个粘贴单元5，各自以独立的动作，与2个支撑台51的X轴方向的移动独立地先移动到压接头21的X轴方向的移动轨道L上的胶带粘贴位置处，通过该粘贴单元5的压接头21可以将导电胶带ACF 粘贴到基板PB的侧缘部的电极DT上。由此，可以抑制伴随与支撑台51相比大尺寸的2个粘贴单元5的定位移动带来的残留振动的影响，在完成基板PB向X轴方向的移动轨道L的位置的定位以及完成2个支撑台51夹持基板PB上的胶带粘贴位置而向与压接头21在上下方向对置的位置的定位之后，马上进行由压接头21粘贴导电胶带ACF的粘贴动作(参照图4)。还有，在此如图14所示，因为高精度地进行基板PB的定位修正，所以希望所拍摄的基板标记M尽可能地位于基板PB的两侧。利用在X轴方向上能移动的支撑台51所具备的基板标记摄像照相机M对位于基板PB两端侧的基板标记M进行了拍摄并进行了位置识别之后，按照2个支撑台51夹持基板PB上的胶带粘贴位置且成为与2个粘贴单元5各自的压接头21在上下方向对置的位置的方式，使2个支撑台51与2个粘贴单元5分别独立地移动。在该移动之际，因为粘贴单元5在Y轴方向的同轴上并设配置供给卷筒32与卷绕卷筒33，所以在X轴方向上排列了 2个粘贴单元5的状态下，难以在基板PB的相邻的2个胶带粘贴位置上同时粘贴导电胶带ACF，其中该粘贴单元具有供给卷筒32或卷绕卷筒33中直径较大的一方的卷筒的直径以上的宽度尺寸。因此，从基板PB的两端侧向基板PB的侧缘部的X轴方向中央，并不是使2个粘贴单元5向互相接近的方向移动且在侧缘部的胶带粘贴位置粘贴导电胶带ACF，而是针对导电胶带ACF顺次地进行以下动作例如使图示X轴方向左侧的粘贴单元5按照在位于基板 PB的X轴方向左侧的端部的胶带粘贴位置上粘贴导电胶带ACF的方式移动，使图示X轴方向右侧的粘贴单元5按照在比基板PB的侧缘部的X轴方向中央侧更靠右侧的胶带粘贴位置上粘贴导电胶带ACF的方式移动。而且，优选按照2个粘贴单元不互相干涉的方式使2 个粘贴单元5向X轴方向右侧移动，在多个胶带粘贴位置上同时粘贴导电胶带ACF的粘贴方法。另外，在上述粘贴方法中，虽然使2个粘贴单元5中、图示X轴方向左侧的粘贴单元5位于基板PB的X轴方向左侧的端部，使图示X轴方向右侧的粘贴单元5比基板PB的侧缘部的X轴方向的中央侧更靠近右侧，顺次向X轴方向右侧移动，以便在多个胶带粘贴位置同时粘贴导电ACF，但是也可以是相反的位置及方向。在将导电胶带ACF同时粘贴到多个胶带粘贴位置上时，只要2个粘贴单元5不互相干涉即可。控制器8在使2个支撑台51分别移动到与基板PB上的胶带粘贴位置对应的X轴方向的移动轨道L的位置上时，如图15所示，使基板保持移动台4的保持着基板PB的基板保持部4d下降，按照由支撑台51的平坦面支撑设有电极DT的基板PB的侧缘部的下表面的方式进行工作。与此同时，控制器8使各粘贴单元5的压接头21工作，由被加热器21d 加热的压接头21的按压体21c将胶带部件T按压到由支撑台51支撑着基板PB的侧缘部下表面的基板PB侧缘部的电极DT之上的胶带粘贴位置，并将导电胶带ACF粘贴到基板PB 的电极DT上(步骤ST8)。控制器8在由粘贴单元5的压接头21将胶带部件T的导电胶带ACF粘贴到基板 PB上的胶带粘贴位置之后，使压接头21的按压体21c上升，从已经被粘贴到胶带粘贴位置上的导电胶带ACF剥离胶带部件(隔离物SP单体)T，使粘贴单元5自基板PB离开。然后， 控制器8通过使2个粘贴单元5与支撑着设有电极DT的基板PB的侧缘部下表面的支撑台 51在X轴方向上的移动独立地分别移动，从而可以使各粘贴单元5所具备的胶带摄像照相机23移动到通过该粘贴单元5的压接头21已经粘贴到基板PB的侧缘部上的导电胶带ACF 的正上方。然后，由各胶带摄像照相机23进行导电胶带ACF的拍摄，进行该导电胶带ACF 的粘贴状态的检查(步骤ST9)。再有，控制器8与该步骤ST8并行地进行接下来的导电胶带ACF的粘贴准备，因此在各粘贴单元5中按照使胶带部件T位于下一胶带粘贴位置的方式向压接头21的粘贴作业区域I5R进行规定量输送的动作(步骤ST10)。在步骤ST9中，控制器8在进行了由各粘贴单元5粘贴后的导电胶带ACF的粘贴状态的检查后，接着进行导电胶带ACF的粘贴状态是否良好的判断(步骤ST11)，结果在确
1认了导电胶带ACF的掀开或破损等而判断为导电胶带ACF的粘贴状态不良的情况下，向操作人员OP通知错误(步骤ST12)，并且使粘贴单元5的动作停止(步骤ST13)。另一方面， 在步骤STll中判断为导电胶带ACF的粘贴状态良好时，判断当前正在进行导电胶带ACF的粘贴作业的基板PB中的全部胶带粘贴位置上是否粘贴完导电胶带ACF (步骤ST14)。在步骤ST14中，当并未在所有胶带粘贴位置上粘贴完导电胶带ACF的情况下返回步骤ST7，针对还未进行导电胶带ACF的粘贴的胶带粘贴位置，进行导电胶带ACF的粘贴作业，因此进行使2个粘贴单元5以及2个支撑台51分别向与新的胶带粘贴位置对应的位置处移动的动作。例如，如图4所示，作为胶带粘贴位置的电极DT在基板PB的长边上有6 处，在短边上有4处，由2个粘贴单元5同时一个一个地粘贴导电胶带ACF的动作重复进行 5次(针对长边进行3次，针对短边进行2次)，由此从步骤ST14返回到步骤ST7的循环重复进行5次。另外，通过使基板保持移动台4的基板保持部4d旋转90度来进行针对基板 PB长边的导电胶带的粘贴作业以及针对基板PB短边的导电胶带ACF的粘贴作业的切换时的基板PB的定位。另一方面，在步骤ST14中，控制器8在该基板PB中的所有胶带粘贴位置上都粘贴完导电胶带ACF的情况下，使上述的基板搬运装置(未图示)工作，将基板保持移动台4上的基板PB搬出到胶带粘贴装置1的外部(步骤ST15)。在本实施方式的胶带粘贴装置1中，通过重复上述工序，从而在多个基板PB的多个胶带粘贴位置上粘贴导电胶带ACF，但是在从供给卷筒32供给胶带部件T之后需要更换供给卷筒32及卷绕卷筒33时，操作人员OP从驱动单元部6的台架11取下以可装卸的方式与该台架11并列安装且被单元化的胶带供给单元部7，将以脱机的方式对胶带供给单元部7更换了供给卷筒32与卷绕卷筒33的新的胶带供给单元部7安装到驱动单元部6的台架11上。如以上所说明的，本实施方式的胶带粘贴装置1包括基板保持移动台4，其保持基板PB ；台架11，其能相对于由基板保持移动台4所保持的基板PB相对地移动；底座31，其以能装卸的方式安装在台架11上；供给卷筒32，其被安装在底座31，供给在导电胶带ACF 上层叠了隔离物SP而成的胶带部件T ；压接头21，其被安装在台架11，将由供给卷筒32供给的胶带部件T按压在由基板保持移动台4保持着的基板PB上，粘贴导电胶带ACF ；以及卷绕卷筒33，其与供给卷筒32同轴地安装在底座31上，对由压接头21将导电胶带ACF粘贴到基板PB之后的胶带部件T进行卷绕。再有，该胶带粘贴装置1还包括粘贴单元5，其向在基板PB的侧缘部的胶带粘贴位置粘贴被层叠在胶带部件T上的导电胶带ACF，粘贴单元5具备供给卷筒32，其供给在导电胶带ACF上层叠有隔离物SP而成的胶带部件T ；压接头21，其将由供给卷筒32供给的胶带部件T按压在由作为支撑基板PB的侧缘部的下表面的下支撑部的支撑台51支撑的侧缘部的胶带粘贴位置上，以在基板PB上粘贴导电胶带ACF ；以及卷绕卷筒33，其对由压接头 21将导电胶带ACF粘贴到基板PB之后的胶带部件T进行卷绕，胶带部件T的供给卷筒32 与卷绕卷筒33以同轴的方式安装在粘贴单元5上。在本实施方式的胶带粘贴装置1中，因为在胶带粘贴装置1的粘贴单元5，以在同轴上并列的方式安装供给卷筒32与卷绕卷筒33并紧凑地进行配置，所以通过增长胶带部件T的所卷绕的胶带长度，从而即使两卷筒32、33的直径变大，与在实质的平面上并列配置供给卷筒32与卷绕卷筒33的情况相比，装置整体也不会大型化。由此，通过使胶带部件T 的胶带长度增大，增长卷筒32、33的更换间隔，减少更换次数，从而可以实现作业效率的提高。再有，如本实施方式那样，即使在采用了在横向(X轴方向)上排列多个由供给卷筒32 与卷绕卷筒33组成的套组(相当于粘贴单元幻的布局的情况下，也可以抑制胶带粘贴装置1整体的X轴方向的尺寸增大(尤其是抑制设备线长)。进而，因为供给卷筒32与卷绕卷筒33被设置在相对于驱动单元部6台架11能够装卸的底座31上，且被单元化并作为胶带供给单元部7，所以可以以预先脱机或者更换时脱机的方式，容易地进行自胶带粘贴装置1内(联机)的驱动单元部6的台架11取下的胶带供给单元部7的两卷筒32、33的更换。再有，因为仅通过使在底座31上安装了更换后的胶带部件T的供给卷筒32与卷绕卷筒33的胶带供给单元部7相对于驱动单元部6的台架 11进行安装拆卸，可以使更换作业简化，且可以大幅度缩短用于进行更换的生产中断时间， 可以进一步提高作业效率。还有，在驱动单元部6的台架11上设置有驱动供给卷筒32的供给卷筒驱动电动机12 (供给卷筒驱动单元)；和驱动卷绕卷筒33的卷绕卷筒驱动电动机13 (卷绕卷筒驱动单元)。因此，在用于更换两卷筒32、33的、具备两卷筒32、33的胶带供给单元部7的更换过程中，因为只要更换除了该驱动单元(供给卷筒驱动单元12以及卷绕卷筒驱动单元13) 以外的部分即可，所以可以使得针对驱动单元部6进行更换的卡匣(cassette)结构的胶带供给单元更加轻便。再有，在本实施方式的胶带粘贴装置1中，因为具备作为辊部件的第一清洗辊 37a，所以可以始终准确地控制胶带部件T的输送量，其中该第一清洗辊37a与由压接头21 将导电胶带ACF粘贴到基板PB之后仅剩下隔离物SP的胶带部件T接触，以除去残存于隔离物SP上的粘接剂的渣滓K。还有，本实施方式的胶带粘贴装置1包括基板保持移动台4，其保持基板PB并使基板PB在水平面内移动；作为下支撑部的支撑台51，其被设置为相对于基板保持移动台4 能够在水平面内移动，支撑由基板保持移动台4保持的基板PB的侧缘部的胶带粘贴位置的下表面；基板标记摄像照相机M，其设于支撑台51上，且从由基板保持移动台4保持着的基板PB的下方对基板PB所具备的基板定位用的基板标记M进行拍摄；位置识别单元(控制器8)，其基于通过基板标记摄像照相机M的拍摄而得到的基板标记M的图像，进行基板 PB的位置识别；基板定位单元(控制器8)，其基于位置识别单元对基板PB的位置识别结果，使基板保持移动台4工作，进行基板PB向作业位置的定位；和粘贴单元5，其被设为能与支撑台51独立地在水平面内方向上移动并被定位在作业位置上，且从由支撑台51支撑着胶带粘贴位置的下表面的基板PB的胶带粘贴位置的上方将各向异性导电胶带ACF按压在基板PB上，并进行粘贴。其中，在本实施方式中设置有多个0个)具备基板标记摄像照相机讨的支撑台51。另外，本实施方式的胶带粘贴方法，是具备以下部件的胶带粘贴装置1的胶带粘贴方法基板保持移动台4，其保持基板PB并使基板PB在水平面内移动；2个作为下支撑部的支撑台51，被设置为相对于基板保持移动台4能够在水平面内移动，分别支撑由基板保持移动台4保持着的基板PB的侧缘部的多个胶带粘贴位置的下表面；2个基板标记摄像照相机M，分别设于2个支撑台51上，且在位于由基板保持移动台4保持着的基板PB所具备
19的基板定位用的2个基板标记M的下方的状态下，从基板PB的下方进行2个基板标记M的拍摄；2个粘贴单元5，被设为能与2个支撑台51独立地在水平面内方向上移动，根据基于通过2个基板标记摄像照相机M的拍摄而得到的2个基板标记M的图像进行基板PB的位置识别的结果，被定位到在由基板保持移动台4所保持着的即便PB的侧缘部的多个胶带粘贴位置上粘贴导电胶带ACF的作业的位置、即作业位置，且将导电胶带ACF按压在由2个支撑台51分别支撑着胶带粘贴位置的下表面的基板PB的胶带粘贴位置上，并进行粘贴。而且，在该胶带粘贴方法中，包括使2个支撑台51分别相对于由基板保持移动台 4保持着的基板PB移动，由2个基板标记摄像照相机M从基板PB的下方对设于基板PB上的2个基板标记M进行拍摄，基于所获得的图像进行基板PB的位置识别的工序(步骤ST3 及步骤ST4)；基于基板PB的位置识别结果使基板保持移动台4工作，进行基板PB向作业位置的定位的工序(步骤SI^)；在进行基板PB的位置识别的期间(或者进行基板PB的位置识别之前)内，使2个粘贴单元5分别向在作业位置粘贴导电胶带ACF的、由基板保持移动台4保持着的基板PB的胶带粘贴位置的上方移动的工序(步骤ST6)；按照成为与2个粘贴单元5在上下方向夹持被定位到作业位置的基板PB的侧缘部的2个胶带粘贴位置的位置的方式使2个支撑台51移动，由2个支撑台51支撑基板PB的胶带粘贴位置的下表面的工序(步骤ST7)；由2个胶带粘贴单元5将导电胶带ACF粘贴到由2个支撑台51支撑着胶带粘贴位置的下表面的基板PB的2个粘贴位置上的工序(ST8)。而且，在本实施方式中，在步骤ST8之后，还执行由2个粘贴单元5各自所具备的胶带摄像照相机23 (粘贴状态检查单元)进行导电胶带ACF向基板PB的粘贴状态的检查的工序(步骤ST9)。在本实施方式的胶带粘贴装置1中，因为对设于基板PB上的基板标记M进行拍摄的基板标记摄像照相机M被安装在设为能与粘贴单元5相互独立地移动的支撑台51上， 所以对基板标记M进行拍摄之际的基板标记摄像照相机M的移动仅为并未伴随与作为下支撑部的支撑台51相比尺寸较大的粘贴单元5的移动的、支撑台51的移动。粘贴单元5不仅具有比支撑台51大的尺寸，还因为保持胶带部件T，所以不优选比较高速地移动。根据这个观点，也可以使支撑台51及基板标记摄像照相机M比粘贴单元5更高速地移动。因此， 在进行基板PB的位置识别之前或者进行基板PB的位置识别的期间内，可以使2个粘贴单元5分别向在作业位置粘贴导电胶带ACF的由基板保持移动台4保持着的基板PB的胶带粘贴位置的上方移动，在进行了基板PB的位置识别之后，可以迅速地进行对基板标记M进行拍摄的基板标记摄像照相机M的移动，可以缩短基板PB的定位所需的时间，可以提高作业效率。尤其是在本实施方式的胶带粘贴装置1中，因为设有多个0个)具备基板标记摄像照相机M的支撑台51，所以可以同时对设于基板PB两端的2个基板标记M进行拍摄，可以在极短的时间内进行基板PB的定位。到此为止虽然对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明并未限于上述实施方式所示出的内容。例如，在上述实施方式中，粘贴单元5为2个，但是粘贴单元5并未限于2 个，既可以是1个，也可以是3个以上。再有，粘贴单元5中的胶带部件T的架设方法只是一例而已，并未限于上述内容。胶带粘贴装置1例如在采取仅具备1个粘贴单元5的装置构成的情况下，考虑使多台这种构成的胶带粘贴装置1相邻配置且同时对多张基板进行导电胶带的粘贴作业的情形。即使在这种装置构成中，也不会使得每个装置大型化，使胶带长度增大且谋求作业效率的提高的事实是不会改变的。另外，通过适当地组合上述各种实施方式中的任意实施方式，从而可以达到各自所具有的效果。本发明虽然参照附图对优选的实施方式进行了充分的记载，但对于熟悉该技术的技术人员而言，各种变形或修正是清楚的。应该理解为这种变形或修正只要未超出基于所付的权利要求书记载的本发明的范围，便包含于其中。将2009年7月3日提出申请的日本特许申请No. 2009-158706号的说明书、附图及权利要求书的公开内容以及2009年7月3日提出申请的日本特许申请No. 2009-158707 号的说明书、附图及权利要求书的公开内容作为整体来参考并纳入到本说明书中。工业上的可利用性提供一种不会使装置整体大型化且可以使胶带长度增大并实现作业的效率化的胶带粘贴装置。另外，提供一种可以缩短基板的定位所需的时间且实现作业效率的提高的胶带粘贴装置及胶带粘贴方法。
权利要求
1.一种胶带粘贴装置，其包括 基板保持台，其保持基板；粘贴单元，其将层叠在胶带部件上的各向异性导电胶带粘贴到基板的侧缘部的胶带粘贴位置上；和粘贴单元移动装置，其使粘贴单元相对于由基板保持台保持着的基板相对地移动， 粘贴单元具备供给卷筒，其供给在各向异性导电胶带上层叠隔离物而成的胶带部件； 压接头，其将由供给卷筒供给的胶带部件按压在由基板保持台所保持的基板的侧缘部的胶带粘贴位置，将各向异性导电胶带粘贴到所述胶带粘贴位置；和卷绕卷筒，其对由压接头在基板上粘贴了各向异性导电胶带之后的胶带部件进行卷绕，在粘贴单元中，供给卷筒与卷绕卷筒被安装在同一轴上。
2.根据权利要求1所述的胶带粘贴装置，其中， 该胶带粘贴装置具备多个粘贴单元，每个粘贴单元具备台架，其安装有压接头，并且以能够相对于由基板保持台保持着的基板相对地移动的方式被安装在粘贴单元移动装置上；和底座，其以同轴的方式安装供给卷筒与卷绕卷筒，并且以能够装卸的方式被安装在台1 ο
3.根据权利要求1所述的胶带粘贴装置，其中， 粘贴单元还包括卷绕卷筒驱动装置，其具有被配置在供给卷筒及卷绕卷筒的所述同一轴上并且与卷绕卷筒连接的第一旋转轴、和对第一旋转轴进行旋转驱动的卷绕卷筒用驱动电动机；和供给卷筒驱动装置，其具有在第一旋转轴的外周侧与第一旋转轴配置在同一轴上并且与供给卷筒连接的中空状的第二旋转轴、和对第二旋转轴进行旋转驱动的供给卷筒用驱动电动机。
4.根据权利要求2所述的胶带粘贴装置，其中， 每个粘贴单元还包括卷绕卷筒驱动装置，其具有被配置在供给卷筒及卷绕卷筒的所述同一轴上并且与卷绕卷筒连接的第一旋转轴、和对第一旋转轴进行旋转驱动的卷绕卷筒用驱动电动机；和供给卷筒驱动装置，其具有在第一旋转轴的外周侧与第一旋转轴配置在同一轴上并且与供给卷筒连接的中空状的第二旋转轴、和对第二旋转轴进行旋转驱动的供给卷筒用驱动电动机。
5.根据权利要求4所述的胶带粘贴装置，其中，供给卷筒用驱动电动机及卷绕卷筒用驱动电动机被安装在台架上， 在底座上安装于同一轴上的供给卷筒及卷绕卷筒中，将供给卷筒安装得比卷绕卷筒更靠近台架侧。
6.根据权利要求1 5中任一项所述的胶带粘贴装置，其中，该胶带粘贴装置还包括辊部件，其与通过压接头将各向异性导电胶带粘贴到基板上而仅剩隔离物的胶带部件接触，以除去隔离物上残存的粘接剂的渣滓。
7.根据权利要求2所述的胶带粘贴装置，其中， 该胶带粘贴装置还包括多个下支撑部，其设置为能够相对于基板保持台而在水平面内移动，支撑由基板保持台所保持着的基板的侧缘部的胶带粘贴位置的下表面；多个照相机，其被设于每个下支撑部上，从基板保持台所保持着的基板的下方对基板所具有的基板定位用的基板标记进行拍摄；位置识别装置，其基于通过每个照相机的拍摄而得到的基板标记的图像，进行基板的位置识别；和定位装置，其基于位置识别装置对基板的位置识别结果，使基板保持台动作，进行基板向作业位置的定位，粘贴单元移动装置使每个粘贴单元能够与每个下支撑部独立地在水平面内方向上移动，被定位在各作业位置上的状态下的每个粘贴单元从胶带粘贴位置的上方，对被定位在各作业位置且由每个下支撑部支撑着胶带粘贴位置的下表面的状态下的基板，按压并粘贴各向异性导电胶带。
8.根据权利要求7所述的胶带粘贴装置，其中，该胶带粘贴装置还包括粘贴状态检查装置，其被设置于每个粘贴单元，进行各向异性导电胶带向基板的粘贴状态的检查。
全文摘要
本发明提供一种胶带粘贴装置，其中在被安装于框架中的台架上，以能够拆卸的方式安装底座，在底座上设有供给卷筒，其供给各向异性导电胶带与隔离物层叠而成的胶带部件；和卷绕卷筒，其与供给卷筒安装在同一轴上，对由被安装在台架上的压接头将各向异性导电胶带压接到基板上之后的胶带部件进行卷绕。
文档编号H05K3/32GK102473654SQ201080028230
公开日2012年5月23日 申请日期2010年7月2日 优先权日2009年7月3日
发明者小田原广造, 藤原启二 申请人:松下电器产业株式会社