专利名称：工程气体分离供给型大气压等离子装置及其使用方法
技术领域：
本发明涉及一种工程气体分离供给型大气压等离子装置及其使用方法，尤其涉及一种分离等离子发生气体和工程气体，发生等离子并提高其稳定性的工程气体分离供给型大气压等离子装置及其使用方法。
背景技术：
大气压等离子装置，尤其是介质阻挡放电(Deolectric Barrier Discharge)装置的结构或电极结构虽然存在差异，但是都是通过将为发生等离子并使其稳定化而使用的气体(氩、氦等)及用于蚀刻或光刻等的工程气体混合后供向等离子装置方式来进行的。也就是说，现有的大气压等离子装置或大气压辉光放电系统，因不易生成用于工程气体的等离子，所以为了发生等离子及使其稳定化，需要混入大量的氩、氦或干洁气源，并将其供入等离子装置，从而生成用于加工工程的等离子。 但是，大气压下的等离子放电，尤其是兆赫以上的高频放电中，与氩等等离子发生气体相比，工程气体的放电非常难。为了解决上述问题，使等离子发生气体和工程气体开始就混合在一起并注入，但这也很难使等离子发生并稳定下来，工程条件也需随时改变，存在诸多问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种工程气体分离供给型大气压等离子装置及其使用方法。分别注入等离子发生气体和工程气体，从而使等离子发生更加容易并可提高其稳定性。本发明解决上述技术问题的技术方案如下提供一种工程气体分离供给型大气压等离子装置。所述工程气体分离供给型大气压等离子装置包括接地并下部开放的外壳；在所述外壳内部与所述外壳隔开配置的分段射频电极；向所述分段射频电极供电的供电部；配置在所述外壳内部，将所述分段射频电极固定在所述外壳上，并将所述外壳与所述分段射频电极隔开的绝缘体；在所述外壳侧面下部和所述分段射频电极侧面下部形成相互隔开并相对的放电空间，在所述放电空间内，分别供入等离子发生气体和工程气体，所述等离子发生气体和所述工程气体通过不同的通路分别供向所述放电空间。供给所述等离子发生气体的第一供给部与所述放电空间的距离要大于供给所述工程气体的第二供给部与所述放电空间的距离。所述外壳的内侧面和所述绝缘体相互隔开，与所述放电空间连通，所述外壳的内侧面与绝缘体之间的间距要小于所述放电空间的间距，所述第一供给部在所述外壳与所述绝缘体之间，供给所述等离子发生气体，并通过所述外壳和所述绝缘体之间的间距，向所述放电空间移动，所述第二空间部直接将所述工程气体供入所述放电空间。所述第一供给部由在所述外壳的侧面上部或上面，横向贯通的第一供给管及在所述外壳上形成，将所述第一供给管连至所述外壳内部，至少两个第一喷射管形成。
所述第二供给部由在所述外壳的侧面下部，横向贯通的第二供给管及在所述外壳上形成，将所述第二供给管连至所述外壳内部，至少两个第二喷射管形成。所述外壳、所述分段射频电极、所述绝缘体、所述第一供给部及所述第二供给部前后左右对称。所述第一喷射管与所述绝缘体相对，向所述绝缘体与所述外壳之间供给所述等离子发生气体，所述第二喷射管与所述分段射频电极相对，向所述放电空间供给所述工程气体。所述第一供给部由在所述外壳的侧面上部或上面，横向贯通的第三供给管及在所述外壳上形成，将所述第三供给管连至所述外壳内部，至少两个第三喷射管形成。所述第二供给部由横向贯通所述绝缘体的第四供给管及在所述绝缘体上形成，将所述第四供给管连至所述外壳内部，至少两个第四喷射管形成。所述外壳、所述分段射频电极、所述绝缘体、所述第一供给部及所述第二供给部前后左右对称，所述第三喷射管与所述绝缘体相对，向所述绝缘体与所述外壳之间供给所述 等离子发生气体，所述第四喷射管与所述放电空间相对，开放形成，直接向所述放电空间供给所述工程气体。在所述绝缘体的侧面形成至少一个以上、按照一定的间隔隔开并突出而成的引导突起，所述引导突起与所述外壳的内侧面相接。本发明解决上述技术问题的另一技术方案如下提供一种工程气体分离供给型大气压等离子装置的使用方法。所述工程气体分离供给型大气压等离子装置的使用方法使用一种工程气体分离供给型大气压等离子装置，所述工程气体分离供给型大气压等离子装置包括接地并下部开放的外壳；在所述外壳内部与所述外壳隔开配置的分段射频电极；向所述分段射频电极供电的供电部；配置在所述外壳内部，将所述分段射频电极固定在所述外壳上，并将所述外壳与所述分段射频电极隔开的绝缘体。在所述外壳侧面下部和所述分段射频电极侧面下部形成相互隔开并相对的放电空间，在所述放电空间内，分别供入等离子发生气体和工程气体，所述等离子发生气体和所述工程气体通过不同的通路分别供向所述放电空间。先提供所述等离子发生气体，发生等离子，并使其稳定后，提供所述工程气体。具体地，首先，通过第一供给管供给等离子发生气体，从供电部向分段射频电极供电；
通过第一供给管供给的等离子发生气体，再通过至少一个第一喷射管喷在绝缘体上面，并再通过在绝缘体侧面上形成的引导突起之间而移至下部；
通过引导突起之间移至放电空间的等离子发生气体，因在供电的分段射频电极和外壳之间，从而放电，发生等离子并稳定后，通过第二供给部供给工程气体；
工程气体通过第二供给管，途经第二喷射管，直接喷向在外壳侧面下部的放电空间。或者，首先，通过第三供给管供给等离子发生气体，从供电部向分段射频电极供电；
通过第三供给管供给的等离子发生气体，再通过至少一个第三喷射管喷在绝缘体侧面，并移至放电空间；
通过放电空间移动的等离子发生气体，因在供电的分段射频电极和接地电极之间，从而放电，发生等离子并稳定后，通过第二供给部供给工程气体；
工程气体通过第四供给管，途经第四喷射管，直接喷向绝缘体下方的放电空间。
本发明的有益效果是本发明的工程气体分离供给型大气压等离子装置及其使用方法，通过第一供给部和第二供给部，分别独立的注入等离子发生气体和工程气体，尤其是在注入等离子发生气体后注入工程气体，从而使等离子更易于发生，并可使其稳定，使工程气体更便于使用。
图I是本发明第一实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置的立体 图2是本发明第一实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置一方向的分解立体 图3是本发明第一实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置另一方向的分解立体图；
图4是图I沿A-A方向的截面 图5是图I沿B-B方向的截面 图6是图4沿C-C方向的截面 图7是本发明第二实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置的立体
图8是本发明第二实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置一方向的分解立体 图9是本发明第二实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置另一方向的分解立体图10是图7 D-D方向的截面图11是图7 E-E方向的截面图12是图10 F-F方向的截面图。
具体实施例方式实施方式I
图I是本发明第一实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置的立体图；图2是本发明第一实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置一方向的分解立体图；图3是本发明第一实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置另一方向的分解立体图；图4是图I沿A-A方向的截面图；图5是图I沿B-B方向的截面图；图6是图4沿C-C方向的截面图。如图I至图6所示，本发明的工程气体分离供给型大气压等离子装置，包括外壳110、分段射频电极120、供电部125、绝缘体130、第一供给部140和第二供给部150。外壳110为长方体，内部形成空的空间，下部开放。外壳110与接地线连接。分段射频电极120配置在外壳110的内部,与外壳110隔开设置。分段射频电极120是为了发生等离子而供电的电极。供电部125向分段射频电极120供电。在本实施方式中，供电部125使用另外的接头在外壳Iio的上面，贯通绝缘体130，连接在分段射频电极120上。绝缘体130配置在外壳110内部，将分段射频电极120固定在外壳110内，同时使分段射频电极120与外壳110隔开。绝缘体130与分段射频电极120和外壳110 —样，横向形成，可大面积的发
生等离子。分段射频电极120通过绝缘体130的下部插入后，绝缘体130的上部和分段射频电极120的上部，通过另外的连接方法固定结合。安装有分段射频电极120的绝缘体130，通过外壳110的下部插入后，外壳110侧面与绝缘体130的侧面利用另外的连接方法固定结合。分段射频电极120通过绝缘体130，安装在外壳110的内部。 此时，分段射频电极120与外壳110相互隔开，尤其是外壳110侧面下部和分段射频电极120的侧面下部相互隔开，并彼此相对，形成放电空间160。放电空间160如图4及图6所示，在分段射频电极120的外周面与外壳110的内周面之间的两侧形成。分段射频电极120要向下突出于绝缘体130。如图4所示，绝缘体130的下部和侧面，与外壳110的内侧面隔开，上述隔开的空间与放电空间160连通。此时，外壳110的内侧面与绝缘体130之间所隔开的间距要小于放电空间160的间距。在绝缘体130的外侧面上，分段射频电极120的插入方向，即等离子喷出方向上，突出形成至少两个引导突起135，引导突起135按照一定的距离隔开。上述引导突起135与外壳110的内侧面相接。第一供给部140供给等离子发生气体，在外壳110上形成。等离子发生气体为氩、氦等。第一供给部140由第一供给管141和第一喷射管142构成。第一供给管141在外壳110的上面，横向贯通形成。从外部向第一供给管141供给等离子发生气体，因此第一端或/及另一端向外壳HO的外部开放。也可以与实施方式不同，第一供给管141也可以在外壳110的侧面两侧上部，沿横向贯通形成。第一喷射管142至少有一个以上形成，并形成在外壳110上，使第一供给管141连至外壳110的内部。如图5所示，第一供给管141在外壳110上面的中心部横向形成，第一喷射管142在外壳110的上面向下形成，使第一供给管141与外壳110内部相互连通。第一喷射管142在外壳110的上面形成，因此如图4及图5所示，绝缘体130与其相对，第一喷射管142向绝缘体130与外壳110之间供给等离子发生气体。通过第一供给管141供给等离子发生气体时，等离子发生气体通过第一喷射管142在外壳110与绝缘体130之间喷射，并通过外壳110与绝缘体130之间的间距，移向放电空间160。此时，第一喷射管142沿外壳110的横向方向，由至少一个以上形成，通过第一喷射管142所喷射的等离子发生气体可均匀地喷射在外壳110与绝缘体130之间。在外壳110内侧面与绝缘体130之间的间距非常小，且保持一定距离，因此通过第一喷射管142所喷射的等离子发生气体，可通过外壳110的内侧面和绝缘体130之间的间距,被均匀地移向放电空间160。第二供给部150与第一供给部140不同，可直接将工程气体供向放电空间160。也就是说，第一供给部140不能直接将等离子气体供向放电空间160，只能在供向外壳110和绝缘体130之间后，移向放电空间160。但是相反，第二供给部150则可以直接将工程气体供向放电空间160。在放电空间160内，等离子气体和工程气体分别通过不同的途径被供入。上述工程气体为六氟化硫、四氟化碳、氯气、氧气、三氟化氮等。供给等离子发生气体的第一供给部140，与供给工程气体的第二供给部150相t匕，其与放电空间160的距离要更远。如图4及图6所示，第二供给部150由第二供给管151和第二喷射管152构成。 第二供给管151在外壳110的下面，横向贯通形成。第二供给管151为两个，在外壳110的两侧下部横向贯通形成。因需从外部供向第二供给管151的工程气体，所以其一端或/及另一端向外壳110外部开放。第二喷射管152有至少一个以上形成，且形成在外壳110的侧面，将第二供给管151连至外壳110的内部。第二供给管151在外壳110的侧面下部，横向形成。第二喷射管152在外壳110的侧面下部内侧方向形成，将第二供给管152连至外壳110的内部。第二喷射管152在外壳110的侧面下部形成，与分段射频电极120相对，因此第二喷射管152可向在分段射频电极120与外壳110之间形成的放电空间160供给
工程气体。当工程气体通过第二供给管151供给时，工程气体可通过第二喷射管152直接喷向放电空间160。此时，第二喷施管152沿外壳110的横向方向，由至少一个以上形成。通过第二喷射管152所喷射的工程气体可直接喷向在外壳110与分段射频电极120只见形成的放电空间160。上述外壳110、分段射频电极120、绝缘体130、第一供给部140及第二供给部150前后左右对称，因此可将放电空间160上发生的等离子气体均匀地喷出。接下来，详细说明本发明实施方式的运作过程。首先，通过第一供给管141供给等离子发生气体，从供电部125向分段射频电极120供电。通过第一供给管141供给的等离子发生气体，再通过至少两个第一喷射管142喷在绝缘体130上面，并再通过在绝缘体130侧面上形成的引导突起135之间而移至下部。通过引导突起130之间移至放电空间160的等离子发生气体，因在供电的分段射频电极120和外壳110之间，从而放电，发生等离子。上述等离子发生气体和工程气体不混合，在仅供给等离子气体的状态下放电，因此放电更加容易。
因等离子放电气体而使等离子发生并稳定后，通过第二供给部150供给工程气体。工程气体通过第二供给管151，途经第二喷射管152，直接喷向在外壳110侧面下部的放电空间160。上述工程气体的喷射时，因等离子发生气体已经发生等离子，且等离子已稳定，因此在注入工程气体时，工程更加容易，可提高工程气体的加工效率。实施方式2
图7是本发明第二实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置的立体图；图8是本发明第二实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置一方向的分解立体图；图9是本发明第二实施方式的工程气体分离供给型大气压等离子装置另一方向的分解立体图；图10是图7沿D-D方向的截面图；图11是图7沿E-E方向的截面图；图12 是图10沿F-F方向的截面图。如图7至图12所示，本发明的工程气体分离供给型大气压等离子装置，包括外壳110、分段射频电极120、供电部125、绝缘体130、第一供给部140和第二供给部150。外壳110为长方体，横向形成，内部形成空的空间，下部开放。外壳110在实施方式I中由一个构成，但在实施方式2中由两个构成。在本实施方式中，上述外壳110分为外壳本体111和接地电极部115。上述外壳本体111为长方体，横向形成，内部形成空的空间，下部开放。接地电极部115与外壳本体111的下部结合，并与接地线连接。分段射频电极120在外壳110内周面，具体地说，与接地电极部115隔开配置，绝缘体130使分段射频电极120与外壳110结合，并使分段射频电极120与外壳110不相互接触。如图10所示，绝缘体130与外壳本体111的内侧面略微隔开，如后述，通过第三喷射管144喷出的等离子发生气体可移至放电空间160。上述外壳110、分段射频电极120、供电部125及绝缘体130如第一实施方式所述，在此不做另外说明。第一供给部140供给等离子发生气体，形成在外壳110上。上述第一供给部140由第三供给管143和第三喷射管144构成。第三供给管143如图12所示，在外壳本体111的两侧上，沿横向方向贯通形成。从外部向第三供给管143供给等离子发生气体，因此其一端或/及另一端向外壳本体111外部开放。也可以与实施方式不同，第三供给管143也可以在外壳本体111的侧面两侧上部，沿横向贯通形成。第三喷射管144至少有一个以上形成，并形成在外壳本体111上，使第三供给管143连至外壳本体111的内部。在本实施方式中，第三供给管143在外壳本体111侧面两侧沿横向形成，第三喷射管144在外壳本体11的侧面两侧，向内侧方向形成，将第三供给管143连至外壳本体111的内部。
第三喷射管144在外壳本体111上形成，因此与绝缘体130相对，如图10及图12所不，第三喷射管144将等尚子发生气体供向绝缘体130与外壳本体111之间。此时，绝缘体130的侧面与外壳本体111的内侧面有略微的间距隔开，通过第三供给管143供给等离子发生气体时，等离子发生气体通过第三喷射管144，喷向外壳本体111和绝缘体130之间，然后再通过外壳本体111与绝缘体130之间的间距移至放电空间160。此时，第三喷射管144沿外壳本体111的横向方向，由至少一个以上形成，通过第三喷射管144喷射的等离子发生气体可均匀地喷向外壳本体111和绝缘体130之间的空间。外壳110的内侧面，具体地说，外壳本体111和绝缘体130之间的间距非常小，且保持一定距离，因此通过第三喷射管144喷射的等离子发生气体，可通过外壳本体111内侧面与绝缘体130之间的间距而被均匀地喷向放电空间160。
第二供给部150与第一供给部140不同，可直接将工程气体喷至放电空间160。也就是说，第一供给部140不能直接将等离子气体供向放电空间160，只能在供向外壳本体111和绝缘体130之间后，移向放电空间160。但是相反，第二供给部150贝IJ可以直接将工程气体供向放电空间160。在放电空间160内，等离子气体和工程气体分别通过不同的途径被供入。供给等离子发生气体的第一供给部140，与供给工程气体的第二供给部150相t匕，其与放电空间160的距离要更远。第二供给部150由第四供给管153和第四喷射管154构成。第四供给管153横向贯通绝缘体130，与第三供给管143横向平行。第四供给管153由两个形成，分别横向贯通绝缘体130的两侧下部。因需从外部供向第四供给管153的工程气体，所以其一端或/及另一端绝缘体130外部开放。第四喷射管154有至少一个以上形成，且形成在绝缘体130的下面，将第四供给管153连至外壳110的内部。第四供给管154在绝缘体130的侧面下部，横向形成。第四喷射管154在绝缘体130的侧面下部内侧方向形成，将第四供给管153连至外壳110的内部。第四喷射管154在绝缘体130的侧面下部形成，如图10所示，与放电空间160上部相对，因此第四喷射管154可向在分段射频电极120与外壳110的接地电极部115之间形成的放电空间160供给工程气体。当工程气体通过第四供给管153供给时，工程气体可通过第四喷射管154直接喷向放电空间160。此时，第四喷施管154沿绝缘体130的横向方向，由至少一个以上形成。通过第四喷射管154所喷射的工程气体可直接喷向在接地电极部115与分段射频电极120只见形成的放电空间160。上述外壳110、分段射频电极120、绝缘体130、第一供给部140及第二供给部150前后左右对称，因此可将放电空间160上发生的等离子气体均匀地喷出。
接下来，详细说明本实施方式中，本发明的运作过程。首先，通过第三供给管143供给等离子发生气体，从供电部125向分段射频电极120供电。通过第三供给管143供给的等离子发生气体，再通过至少两个第三喷射管144喷在绝缘体130侧面，并移至放电空间160。通过放电空间160移动的等离子发生气体，因在供电的分段射频电极120和接地电极115之间，从而放电，发生等离子。
上述等离子发生气体和工程气体不混合，在仅供给等离子气体的状态下放电，因此放电更加容易。因等离子放电气体而使等离子发生并稳定后，通过第二供给部150供给工程气体。工程气体通过第四供给管153，途经第四喷射管154，直接喷向绝缘体130下方的放电空间160。上述工程气体的喷射时，因等离子发生气体已经发生等离子，且等离子已稳定，因此在注入工程气体时，工程更加容易，可提高工程气体的加工效率。上述实施方式仅为说明本发明，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神及原则之内，所作的任何改进、等同替换、修改等，均在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.ー种工程气体分离供给型大气压等离子装置，其特征在于所述工程气体分离供给型大气压等离子装置包括接地并下部开放的外壳；在所述外壳内部与所述外壳隔开配置的分段射频电扱；向所述分段射频电极供电的供电部；配置在所述外壳内部，将所述分段射频电极固定在所述外壳上，并将所述外壳与所述分段射频电极隔开的绝缘体；在所述外壳侧面下部和所述分段射频电极侧面下部形成相互隔开并相対的放电空间，在所述放电空间内，分别供入等离子发生气体和工程气体，所述等离子发生气体和所述工程气体通过不同的通路分别供向所述放电空间。
2.根据权利要求I所述的工程气体分离供给型大气压等离子装置，其特征在干 供给所述等离子发生气体的第一供给部与所述放电空间的距离要大于供给所述工程气体的第二供给部与所述放电空间的距离。
3.根据权利要求2所述的工程气体分离供给型大气压等离子装置，其特征在干所述外壳的内侧面和所述绝缘体相互隔开，与所述放电空间连通；及 所述外壳的内侧面与绝缘体之间的间距要小于所述放电空间的间距，所述第一供给部在所述外壳与所述绝缘体之间，供给所述等离子发生气体，并通过所述外壳和所述绝缘体之间的间距，向所述放电空间移动，所述第二空间部直接将所述工程气体供入所述放电空间。
4.根据权利要求3所述的工程气体分离供给型大气压等离子装置，其特征在干所述第一供给部由在所述外壳的侧面上部或上面，横向贯通的第一供给管及在所述外壳上形成，将所述第一供给管连至所述外壳内部，至少两个第一喷射管形成；及所述第二供给部由在所述外壳的侧面下部，横向贯通的第二供给管及在所述外壳上形成，将所述第二供给管连至所述外壳内部，至少两个第二喷射管形成；及所述外壳、所述分段射频电极、所述绝缘体、所述第一供给部及所述第二供给部前后左右对称；及 所述第一喷射管与所述绝缘体相对，向所述绝缘体与所述外壳之间供给所述等离子发生气体，所述第二喷射管与所述分段射频电极相对，向所述放电空间供给所述工程气体。
5.根据权利要求3所述的工程气体分离供给型大气压等离子装置，其特征在干所述第一供给部由在所述外壳的侧面上部或上面，横向贯通的第三供给管及在所述外壳上形成，将所述第三供给管连至所述外壳内部，至少两个第三喷射管形成 '及所述第二供给部由横向贯通所述绝缘体的第四供给管及在所述绝缘体上形成，将所述第四供给管连至所述外壳内部，至少两个第四喷射管形成；及所述外壳、所述分段射频电极、所述绝缘体、所述第一供给部及所述第二供给部前后左右对称；及 所述第三喷射管与所述绝缘体相对，向所述绝缘体与所述外壳之间供给所述等离子发生气体，所述第四喷射管与所述放电空间相对，开放形成，直接向所述放电空间供给所述エ程气体。
6.根据权利要求4或5所述的工程气体分离供给型大气压等离子装置，其特征在于在所述绝缘体的侧面形成至少ー个以上、按照一定的间隔隔开并突出而成的引导突起，所述引导突起与所述外壳的内侧面相接。
7.—种工程气体分离供给型大气压等离子装置的使用方法，其特征在于所述工程气体分离供给型大气压等离子装置的使用方法使用ー种工程气体分离供给型大气压等离子装置，所述工程气体分离供给型大气压等离子装置包括接地并下部开放的外壳；在所述外壳内部与所述外壳隔开配置的分段射频电扱；向所述分段射频电极供电的供电部；配置在所述外壳内部，将所述分段射频电极固定在所述外壳上，并将所述外壳与所述分段射频电极隔开的绝缘体；在所述外壳侧面下部和所述分段射频电极侧面下部形成相互隔开并相对的放电空间，在所述放电空间内，分别供入等离子发生气体和工程气体，所述等离子发生气体和所述工程气体通过不同的通路分别供向所述放电空间；及 先提供所述等离子发生气体，发生等离子，并使其稳定后，提供所述工程气体。
8.根据权利要求7所述的工程气体分离供给型大气压等离子装置的使用方法，其特征在干首先，通过第一供给管供给等离子发生气体，从供电部向分段射频电极供电； 通过第一供给管供给的等离子发生气体，再通过至少ー个第一喷射管喷在绝缘体上面，并再通过在绝缘体侧面上形成的引导突起之间而移至下部； 通过引导突起之间移至放电空间的等离子发生气体，因在供电的分段射频电极和外壳之间，从而放电，发生等离子并稳定后，通过第二供给部供给工程气体； 工程气体通过第二供给管，途经第二喷射管，直接喷向在外壳侧面下部的放电空间。
9.根据权利要求7所述的工程气体分离供给型大气压等离子装置的使用方法，其特征在于首先，通过第三供给管供给等离子发生气体，从供电部向分段射频电极供电； 通过第三供给管供给的等离子发生气体，再通过至少ー个第三喷射管喷在绝缘体侧面，并移至放电空间； 通过放电空间移动的等离子发生气体，因在供电的分段射频电极和接地电极之间，从而放电，发生等离子并稳定后，通过第二供给部供给工程气体； 工程气体通过第四供给管，途经第四喷射管，直接喷向绝缘体下方的放电空间。
全文摘要
本发明涉及一种工程气体分离供给型大气压等离子装置及其使用方法。本发明的工程气体分离供给型大气压等离子装置包括接地并下部开放的外壳；在所述外壳内部与所述外壳隔开配置的分段射频(RF)电极；向所述分段射频电极供电的供电部；配置在所述外壳内部，将所述分段射频电极固定在所述外壳上，并将所述外壳与所述分段射频电极隔开的绝缘体。在所述外壳侧面下部和所述分段射频电极侧面下部形成相互隔开并相对的放电空间，在所述放电空间内，分别供入等离子发生气体和工程气体，所述等离子发生气体和所述工程气体通过不同的通路分别供向所述放电空间。
文档编号H05H1/30GK102802336SQ201110138718
公开日2012年11月28日 申请日期2011年5月26日 优先权日2011年5月26日
发明者朴钟仁 申请人:株式会社 Biemt