能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器的制作方法

文档序号:8055046阅读:388来源:国知局
专利名称:能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器的制作方法
技术领域
本实用新型属于多晶硅加工设备技术领域,涉及一种多晶硅设备硅芯炉中一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器。
背景技术
随着太阳能行业的蓬勃发展,多晶硅市场得以迅猛发展,国内外有实力的商业巨头纷纷投入巨资介入多晶硅行业,发展规模越来越大,硅芯炉是多晶硅生产链条上的一个重要环节,需求也越来越大,因此,研发更新型、性能更为卓越的硅芯设备具有重要意义。随着多晶硅生产规模的扩大,硅芯炉数量很大,需要投入大量的人力、物力及能源消耗,占用面积越来越大,而能源消耗也已成为多晶硅生产厂家的考量指标之一,因此,从提高设备效率,节能降耗,节约成本方面考虑,很有必要研发产能更优的硅芯制备设备。
发明内容本实用新型的目的是提供一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,该加热器实现一次同时拉制七根硅芯,显著提高了工作效率,节能降耗。本实用新型所采用的技术方案是,一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器, 包括聚流板、连接座和铜管;聚流板内沿其圆周缠绕有铜管,铜管的进口端、出口端分别与连接座连接;聚流板的轴心设有化料孔,聚流板上沿化料孔圆周外侧均勻设置有七个拉制孔,每个拉制孔内圆壁靠近化料孔的一边开有凹槽形的小切孔;相邻两个拉制孔之间设置有一分流槽,每个分流槽背向化料孔的外端头各设置有一个小孔;七个分流槽与化料孔彼此相通连接;其中一个分流槽的外端头与聚流板的边缘之间设置有斜切口,该分流槽通过斜切口与聚流板的边缘接通。上述聚流板上还设置有接地板。上述铜管、聚流板、连接座和接地板四部分通过银焊或铜焊焊接为一体。其中,连接座由两块独立的半圆板组成,两块半圆板之间设置有间隙;每个半圆板上各设置有一个接口及一个安装孔,铜管的进口端与出口端分别与两块半圆板的接口连接。另外,斜切口及与斜切口连通的分流槽朝向连接座的两个半圆板之间的间隙。其特征进一步在于,聚流板上部沿轴心设置为凹形的大锥面,聚流板下部沿轴心设置有两级台阶面。上述的化料孔的上端口为倒角状。 上述每个拉制孔上端口为倒角状。 本实用新型的有益效果是,一次可同时拉制七根硅芯,可大大提高硅芯设备的生产效率,降低了单根硅芯的能耗,减少了用户人力,物力的投入,从而降低了多晶硅生产过程的成本。
图1是本实用新型高频感应加热器的结构示意图;图2是图1的A向视图;图3是本实用新型高频感应加热器工作中某个瞬间电流分布以及磁力线分布示意图。图中,1.连接座,2.铜管,3.聚流板,4.接地板,5.化料孔,6.拉制孔,7.小切孔, 8.分流槽,9.小孔,10.斜切口,11.大锥面,12.台阶面。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。如图1和图2所示,本实用新型提供一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器, 由聚流板3、连接座1、铜管2和接地板4四部分焊接而成,这四部分在专用工装下,通过银焊或铜焊焊接成一体。聚流板3上部沿轴心设置为凹形的大锥面11,聚流板3下部沿轴心设置有两级台阶面12 ;聚流板3上还设置有接地板4 ;聚流板3内沿其圆周缠绕有铜管2, 铜管2的进口端、出口端与连接座1连接,连接座1由两块独立的半圆板组成,两块半圆板之间设置有间隙;每个半圆板上各设置有一个接口和一个安装孔,铜管2的进口端和出口端分别与两个半圆板上的接口连接;聚流板3的轴心开有化料孔5,化料孔5的上端口为倒角状,聚流板3上沿化料孔5圆周外侧均勻设置有七个拉制孔6,每个拉制孔6上端口为倒角状,每个拉制孔6内圆壁靠近化料孔5的一边开有凹槽形的小切孔7,相邻两个拉制孔6 之间设置有一分流槽8,共有七个分流槽8,每个分流槽8背向化料孔5的外端头各设置有一个小孔9,七个分流槽8与化料孔5彼此相通连接;聚流板3上正对连接座1两个半圆板之间间隙的一个分流槽8通过斜切口 10与聚流板3的圆周边缘接通,相当于从化料孔5中间贯通到聚流板3的圆周边缘两极间。聚流板3是加热多晶硅原料棒用,连接座1、铜管2、聚流板3以及接地板4通过银焊或铜焊焊接成一体。铜管2的作用是通入循环的冷却水,对聚流板3进行冷却;孔接地板 4为高频感应加热器接地用。如图3所示,本实用新型装置的工作原理是当交变的高频电流分别通过高频感应加热器的两极即连接座1之一进入铜管2,通过铜管2导通聚流板3,于是在聚流板3上形成如图3所示的某瞬间电流分布,交变电流产生交变磁场,交变磁场产生热,形成热场, 从而使得放置在高频感应加热器下方的多晶硅原料棒被加热熔化,核心部分就是要使得孔及槽间参数匹配合适,使得所有拉制孔6下产生的七个独立的熔区是一致的,从而保证拉制出的七根硅芯直径的一致性。图3中,A所指的是电流分布,B所指的是磁力线分布。根据该新型高频感应加热器结构不同,使得加热器上各部分电流按照要求分布, 形成回路,高频电流产生交变磁场,交变磁场产生热,从而使得放置在高频感应加热器下的多晶硅原料棒被加热熔化。该七芯高频感应加热器,中间一个孔为化料用孔,周围七个为拉制硅芯用孔,多晶硅原料棒熔化后在此七孔下形成各自小熔区,七个独立小熔区就可以同时拉制七根硅芯。本实用新型实现了一次同时拉制七根硅芯,同等时间内硅芯炉的产能大幅提高;同等规模的多晶硅生产产能大幅提升,硅芯炉数量大大减少,提高了生产效率,节省人力、 物力及能源,降低了多晶硅生产成本。
权利要求1.一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于包括聚流板(3)、连接座 (1)和铜管(2);聚流板(3)内沿其圆周缠绕有铜管(2),铜管(2)的进口端、出口端分别与连接座(1)连接;聚流板(3)的轴心设有化料孔(5),聚流板(3)上沿化料孔(5)圆周外侧均勻设置有七个拉制孔(6),每个拉制孔(6)内圆壁靠近化料孔(5)的一边开有凹槽形的小切孔(7);相邻两个拉制孔(6)之间设置有一分流槽(8),每个分流槽(8)背向化料孔(5)的外端头各设置有一个小孔(9);七个分流槽(8)与化料孔(5)彼此相通连接;其中一个分流槽 (8)的外端头与聚流板(3)的边缘之间设置有斜切口(10),该分流槽(8)通过斜切口(10) 与聚流板(3)的边缘接通。
2.根据权利要求1所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于所述聚流板(3)上还设置有接地板(4)。
3.根据权利要求2所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于所述铜管(2)、聚流板(3)、连接座(1)和接地板(4)四部分通过银焊或铜焊焊接为一体。
4.根据权利要求1所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于所述连接座(1)由两块独立的半圆板组成,两块半圆板之间设置有间隙;每个半圆板上各设置有一个接口及一个安装孔,铜管(2)的进口端与出口端分别与两块半圆板的接口连接。
5.根据权利要求4所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于所述斜切口( 10)及与斜切口( 10)连通的分流槽(8)朝向连接座(1)的两个半圆板之间的间隙。
6.根据权利要求1所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于所述聚流板(3)上部沿轴心设置为凹形的大锥面(11),聚流板(3)下部沿轴心设置有两级台阶面(12)。
7.根据权利要求1所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于所述的化料孔(5)的上端口为倒角状。
8.根据权利要求1所述的能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,其特征在于所述每个拉制孔(6)上端口为倒角状。
专利摘要本实用新型公开了一种能同时拉制七根硅芯的高频感应加热器,由聚流板、连接座、铜管和接地板焊接而成;聚流板内沿其圆周缠绕有铜管,铜管的进口端、出口端分别与连接座连接;聚流板的轴心设有化料孔,聚流板上沿化料孔圆周外侧均匀设置有七个拉制孔,每个拉制孔内圆壁靠近化料孔的一边开有凹槽形的小切孔;相邻两个拉制孔之间设置有一分流槽,每个分流槽背向化料孔的外端头各设置有一个小孔;七个分流槽与化料孔彼此相通连接;其中一个分流槽的端头与聚流板的边缘之间设置有斜切口,该分流槽通过斜切口与聚流板的边缘接通。本实用新型一次可同时拉制七根硅芯,明显提高设备效率,节省人力、物力及能源。
文档编号C30B29/06GK201962411SQ20112004275
公开日2011年9月7日 申请日期2011年2月21日 优先权日2011年2月21日
发明者原洛渭, 吴斌, 宋艳玲, 王一强, 王建春, 程涛, 董淑梅 申请人:西安理工晶体科技有限公司
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