专利名称：一种单晶炉用电极的密封装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶炉用电极的密封装置。
背景技术：
目前，在单晶炉中的电极连接在炉底盘与加热器上，在加热器下端面与炉底盘上端面之间的电极上，依次套设有陶瓷垫圈、四氟垫圈(硬质材料)、氟胶垫圈(软质材料)、 四氟垫圈、氟胶垫圈五层密封保护圈，但由于电极长时间发热，易使密封保护圈老化，发生开裂，产生漏气现象，造成炉内多晶料氧化，导致成晶率下降。
发明内容本实用新型的目的是提供能提高密封效果的一种单晶炉用电极的密封装置。本实用新型采取的技术方案是一种单晶炉用电极的密封装置，在加热器下端面与炉底盘上端面之间的电极上设有内部密封保护圈组，其特征在于在炉底盘下端面的电极上设有硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈，且硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，凹槽内分别设有软质材料密封保护圈。所述的硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，其中与炉底盘下端面相接触的一面的凹槽位于硬质材料密封保护圈的本体之中，另一面的凹槽位于硬质材料密封保护圈的内壁处。采用本实用新型，因硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈位于炉底盘下端面，不易受热老化，可以提高单晶炉的密封效果，防止硅料氧化，达到提高成品率的目的。
图1是本实用新型的示意图。图中序号表示电极1、加热器2、内部密封保护圈组3、炉底盘4、硬质材料密封保护圈5、正面凹槽6、反面凹槽7、正面软质材料密封保护圈8和反面软质材料密封保护圈。
具体实施方式
下面对本实用新型作进一步说明。参照图1，该单晶炉用电极的密封装置，在加热器2的下端面与炉底盘4的上端面之间的电极1上套设有内部密封保护圈组3，内部密封保护圈组3从上到下依次排列有陶瓷垫圈、四氟垫圈(硬质材料)、氟胶垫圈(软质材料)、四氟垫圈、氟胶垫圈五层；在炉底盘4 的下端面的电极1上设有硬质材料密封保护圈5，硬质材料密封保护圈5可以选用四氟、胶木、环氧树酯等耐高温耐氧化的硬质材料制作，硬质材料密封保护圈5的二面上分别开有正面凹槽6和反面凹槽7，正面凹槽6位于硬质材料密封保护圈5的本体之中，反面凹槽7 位于硬质材料密封保护圈的内壁处；在正面凹槽6内设有正面用软质材料密封保护圈8，在反面凹槽7内设有反面用软质材料密封保护圈9，正面用软质材料密封保护圈8和反面用软质材料密封保护圈9均可采用氟胶等耐高温耐氧化的软质材料制作。 由于硬质材料密封保护圈5以及正面用软质材料密封保护圈8和反面用软质材料密封保护圈9设在炉底盘4的下端面，不易受热老化，即使内部密封保护圈组3中的密封圈老化开裂，也不会发生漏气现象，因此可以提高单晶炉的密封效果，防止硅料氧化，达到提高成品率的目的。
权利要求1.一种单晶炉用电极的密封装置，在加热器下端面与炉底盘上端面之间的电极上设有内部密封保护圈组，其特征在于在炉底盘下端面的电极上设有硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈，且硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，凹槽内分别设有软质材料密封保护圈。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用电极的密封装置，其特征在于硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，其中与炉底盘下端面相接触的一面的凹槽位于硬质材料密封保护圈的本体之中，另一面的凹槽位于硬质材料密封保护圈的内壁处。
专利摘要本实用新型涉及一种单晶炉用电极的密封装置，在加热器下端面与炉底盘上端面之间的电极上设有内部密封保护圈组，在炉底盘下端面的电极上设有硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈，且硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，凹槽内分别设有软质材料密封保护圈。采用本实用新型，因硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈位于炉底盘下端面，不易受热老化，可以提高单晶炉的密封效果，防止硅料氧化，达到提高成品率的目的。
文档编号C30B35/00GK202214453SQ20112025367
公开日2012年5月9日 申请日期2011年7月15日 优先权日2011年7月15日
发明者徐建军, 钱荣林 申请人:浙江荣马电子科技有限公司