辐射源的制作方法
【专利摘要】一种辐射源包括：喷嘴，配置成沿着轨迹朝向等离子体形成位置引导燃料液滴（30）的流；激光器，配置成输出激光辐射，所述激光辐射在等离子体形成位置处被引导到燃料液滴上以在使用中生成用于产生辐射的等离子体；和捕捉装置，配置成捕捉穿过等离子体形成位置的燃料液滴，所述捕捉装置包括：容器（40），被配置成容纳流体（42）；驱动器（44），被配置成驱动所述流体以使得流体移动；所述捕捉装置被配置成使得燃料液滴入射到移动的流体上。
【专利说明】辐射源
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2011年8月12日申请的美国临时申请61/522，928的权益，并且通过引用将其全部内容并入到本文中。
【技术领域】
[0003]本发明涉及辐射源，该辐射源适合于与光刻设备一起使用或形成光刻设备的一部分。
【背景技术】
[0004]光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上，通常是衬底的目标部分上的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(IC)的制造中。在这种情况下，可以将可选地称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成在所述IC的单层上待形成的电路图案。可以将该图案转移到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括一部分管芯、一个或多个管芯)上。通常，图案的转移是通过把图案成像到提供到衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上进行的。通常，单独的衬底将包含被连续形成图案的相邻目标部分的网络。
[0005]已广泛地承认光刻术是IC和其它的器件和/或结构制造中的关键步骤之一。然而，随着使用光刻术制造的特征的尺寸不断变小，光刻术成为了使微型的IC或其它器件和/或结构能够被制造的更加关键的因素。
[0006]通过如等式(1)中所示出的分辨率的瑞利准则来给出图案印刷的极限的理论估计:
[0007]
【权利要求】
1.一种福射源，包括: 喷嘴，配置成沿着轨迹朝向等离子体形成位置引导燃料液滴的流； 激光器，配置成输出激光辐射，所述激光辐射在等离子体形成位置处被引导到燃料液滴上以在使用中生成用于产生辐射的等离子体；和 捕捉装置，布置成捕捉穿过等离子体形成位置的燃料液滴，所述捕捉装置包括: 容器，被构造成容纳流体； 驱动器，被构造且布置成驱动所述流体以使得流体移动； 所述捕捉装置被配置成使得在使用中燃料液滴入射到移动的流体上。
2.根据权利要求1所述的辐射源，其中所述捕捉装置还包括一表面，所述驱动器被布置成沿着所述表面、在所述表面上或经过所述表面驱动流体，所述捕捉装置被布置成使得在使用中燃料液滴入射到沿着所述表面、在所述表面上或经过所述表面被驱动的流体上。
3.根据权利要求2所述的辐射源，其中所述被沿着所述表面、在所述表面上或经过所述表面被驱动的流体被相对于液滴的轨迹倾斜。
4.根据权利要求3所述的辐射源，其中所述表面被相对于液滴的轨迹倾斜，所述驱动器被配置成至少帮助向下且沿着所述表面驱动流体，以在所述表面上形成流体的膜，所述捕捉装置被布置成使得在使用中燃料液滴入射到所述流体的膜上。
5.根据权利要求3所述的辐射源，其中所述驱动器被配置成在所述表面上驱动流体以形成流体的波，所述捕捉装置被布置成使得在使用中所述燃料液滴入射到所述流体的波上。
6.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述驱动器包括泵。
7.根据权利要求1所述的辐射源，其中所述容器为具有布置成容纳液滴的开口的大致管状形状。
8.根据权利要求7所述的辐射源，其中所述驱动器是被构造以旋转管状容器的旋转机构。
9.根据权利要求8所述的辐射源，其中所述旋转机构被构造以足够快速地旋转所述管，以确保流体驻留在所述管状容器的内表面上和/或在内表面上经过，所述捕捉装置被布置成使得在使用中所述燃料液滴入射到所述流体上，所述流体驻留在所述管状容器的内表面上和/或经过所述内表面。
10.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述喷嘴被配置成沿着轨迹引导燃料液滴的流，所述轨迹是大致水平的或大致竖直的，或所述喷嘴被配置成沿着具有水平分量的轨迹引导燃料液滴的流或沿着具有竖直的分量的轨迹引导燃料液滴的流。
11.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述流体的材料与形成燃料液滴的材料相同或包括与形成燃料液滴的材料相同的材料，或其中所述流体是燃料的载体。
12.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中所述捕捉装置包括加热器或能够热连接至加热器，所述加热器配置成加热所述流体和/或被捕捉的液滴以将流体和/或被捕获的液滴保持成流体形式。
13.根据前述权利要求中任一项所述的辐射系统，其中所述捕捉装置与喷嘴流体连接，使得被捕捉的液滴能够被引导至喷嘴和通过喷嘴被引导返回。
14.一种光刻设备,包括:照射系统，构造成提供福射束； 图案形成装置，构造成在辐射束的横截面中将图案赋予辐射束； 衬底保持器，构造且布置成保持衬底； 投影系统，构造且布置成将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上；和其中所述光刻设备还包括根据前述权利要求中任一项所述的辐射源或与根据前述权利要求中任一项所述的辐射源相连接。
15.一种捕捉在辐射源中所使用的燃料液滴的方法，所述辐射源包括: 喷嘴，配置成沿着轨迹朝向等离子体形成位置引导燃料液滴的流； 激光器，配置成输出激光辐射，所述激光辐射在等离子体形成位置处被引导到燃料液滴上以在使用中生成用于产生辐射的等离子体；以及所述方法包括: 驱动流体以导致在所述流体中的移动；和 朝向移动的流体引导所述燃`料液滴。
【文档编号】H05G2/00GK103733735SQ201180072807
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2011年12月13日 优先权日:2011年8月12日
【发明者】A·凯姆鹏, E·鲁普斯特拉, C·瓦格纳, H·泰根博世, G·斯温克尔斯 申请人:Asml荷兰有限公司