一种空心式籽晶杆的制作方法

文档序号:8158226阅读:309来源:国知局
专利名称:一种空心式籽晶杆的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种籽晶杆,尤其涉及一种空心式籽晶杆,主要用于生产籽晶体。
背景技术
籽晶杆是生产单晶的必不可少的设备之一,由于贵重金属的不断涨价,单晶生产中的铱金籽晶所占的生产成本也不可小视,以往的籽晶杆都是通过铱金制成,又由于以往的籽晶杆都是实心的如图I所示,这样一来,不紧在生产过程中对籽晶体的热传导率增大,而且成本比较高。因为在生产籽晶体时对温度要求相当的高,而且在温度均衡方面要求也很高,而以往的那种实心方式的籽晶杆对籽晶体的热传导率较高,虽然籽晶杆在炉内,但与籽晶杆相连的部件却在炉外,又因为以往的籽晶杆是实心的,这样一来,炉外的温度很快就会通过籽晶杆传导至炉内的籽晶体上,导致生产出来的籽晶很难达标。

实用新型内容为了克服上述现有技术的缺陷,本实用新型提供了一种结构简单、使用安全、同时能改变热传导速率,能有效的保护了温场温度的波动。本实用新型所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现一种空心式籽晶杆,包括籽晶杆主体,其特征在于所述的籽晶杆主体的上端设有一与炉外相连的吊架,下端设安装籽晶体的夹槽。所述的夹槽内安插有籽晶体。所述的籽晶杆主体采用铱金材料制成,形状为圆柱体,其内部形成密封真空。本实用新型的有益效果是结构简单、使用安全、同时能改变热传导速率,能有效的保护了温场温度的波动。

图I为本实用新型背景技术中的结构示意图;图2为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。如图2所示,一种空心式籽晶杆,包括籽晶杆主体I,籽晶杆主体I的上端设有一与炉外相连的吊架2,下端设安装籽晶体3的夹槽4。夹槽4内安插有籽晶体3。籽晶杆主体I采用铱金材料制成,形状为圆柱体,其内部形成密封真空。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型 要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.一种空心式籽晶杆,包括籽晶杆主体,其特征在于所述的籽晶杆主体的上端设有一与炉外相连的吊架,下端设安装籽晶体的夹槽。
2.根据权利要求I所述一种空心式籽晶杆,其特征在于所述的夹槽内安插有籽晶体。
3.根据权利要求I所述一种空心式籽晶杆,其特征在于所述的籽晶杆主体采用铱金材料制成,形状为圆柱体,其内部形成密封真空。
专利摘要本实用新型公开了一种空心式籽晶杆,包括籽晶杆主体,其特征在于所述的籽晶杆主体的上端设有一与炉外相连的吊架,下端设安装籽晶体的夹槽;所述的夹槽内安插有籽晶体;所述的籽晶杆主体采用铱金材料制成,形状为圆柱体,其内部形成密封真空。本实用新型具有结构简单、使用安全、同时能改变热传导速率,能有效的保护温场温度的波动的优点。
文档编号C30B35/00GK202509159SQ201220042059
公开日2012年10月31日 申请日期2012年2月6日 优先权日2012年2月6日
发明者万文 申请人:安徽环巢光电科技有限公司
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