专利名称：真空充气燃料炉的制作方法
技术领域：
本实用新型属于晶体材料生产领域，尤其是指一种真空充气燃料炉。
背景技术：
烧结炉主要应用在钢铁行业、冶金行业、电子行业等。是一种在高温下，使陶瓷生坯固体颗粒的相互键联，晶粒长大，空隙和晶界渐趋减少，通过物质的传递，其总体积收缩，密度增加，最后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体的炉具。在对难熔合金如钨、钥及其合金的粉末成型烧结时，普通烧结炉难以生长出符合标准的晶体，成品率低。
发明内容本实用新型提供一种真空充气燃料炉，以解决难熔物质晶体生长成品率低的问题。本实用新型的技术方案是电极与烧料炉内部固定连接，烧料炉与炉架固定连接，高真空管道一端与烧料炉下端固定连接，高真空管道另一端通过扩散泵进口法兰与扩散泵固定连接，扩散泵通过扩散泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道通过罗茨泵进口法兰与罗茨泵固定连接，罗茨泵通过罗茨泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道与牵引电磁铁固定连接，牵引电磁铁通过泵阀连接件与机械泵固定连接，空气阀与高真空管道固定连接，真空蝶阀安装在高真空管道中部，压力真空表与高真空管道固定连接。本实用新型的优点在于结构新颖，使晶体生长在真空系统中进行，保证了晶体的成品率，提高了难熔性物质的结晶质量。
图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
电极17与烧料炉I内部固定连接，烧料炉I与炉架5固定连接，高真空管道6 —端与烧料炉I下端固定连接，高真空管道6另一端通过扩散泵进口法兰10与扩散泵2固定连接，扩散泵2通过扩散泵出口法兰11与低真空管道7固定连接，低真空管道7通过罗茨泵进口法兰12与罗茨泵3固定连接，罗茨泵3通过罗茨泵出口法兰13与低真空管道7固定连接，低真空管道7与牵引电磁铁9固定连接，牵引电磁铁9通过泵阀连接件8与机械泵4固定连接，空气阀14与高真空管道6固定连接，真空蝶阀16安装在高真空管道6中部，压力真空表15与高真空管道6固定连接。
权利要求1. 一种真空充气燃料炉，其特征在于电极与烧料炉内部固定连接，烧料炉与炉架固定连接，高真空管道一端与烧料炉下端固定连接，高真空管道另一端通过扩散泵进口法兰与扩散泵固定连接，扩散泵通过扩散泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道通过罗茨泵进口法兰与罗茨泵固定连接，罗茨泵通过罗茨泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道与牵引电磁铁固定连接，牵引电磁铁通过泵阀连接件与机械泵固定连接，空气阀与高真空管道固定连接，真空蝶阀安装在高真空管道中部，压力真空表与高真空管道固定连接。
专利摘要本实用新型涉及一种真空充气燃料炉，属于晶体材料生产领域。电极与烧料炉内部固定连接，烧料炉与炉架固定连接，高真空管道一端与烧料炉下端固定连接，高真空管道另一端通过扩散泵进口法兰与扩散泵固定连接，扩散泵通过扩散泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道通过罗茨泵进口法兰与罗茨泵固定连接，罗茨泵通过罗茨泵出口法兰与低真空管道固定连接，低真空管道与牵引电磁铁固定连接，牵引电磁铁通过泵阀连接件与机械泵固定连接，空气阀与高真空管道固定连接，真空蝶阀安装在高真空管道中部，压力真空表与高真空管道固定连接。优点在于结构新颖，使晶体生长在真空系统中进行，保证了晶体的成品率，提高了难熔性物质的结晶质量。
文档编号C30B35/00GK202482493SQ20122005032
公开日2012年10月10日 申请日期2012年2月16日 优先权日2012年2月16日
发明者静宇, 静枫 申请人:吉林省赛尔光电技术有限公司