专利名称：发热体支撑脚的脚垫的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶炉，具体地说是涉及一种单晶炉的发热体，特别是涉及一种发热体支撑脚的脚垫。
背景技术：
单晶炉是半导体及太阳能光伏产业普遍应用的主要设备，其最高使用温度高达1600°C以上。目前，往往采用电阻加热方式，其发热体普遍采用高纯特种石墨或碳/碳复合材料制备。发热体通常都设有四个连接脚，在发热体圆周方向均匀分布，相对的两个脚组成一对，均具有支撑和/或导电功能。安装时，只需其中的一对脚与炉内的石墨电极联接作工作脚，此石墨电极与炉外的铜电极相连，将铜电极流来的电流传给发热体，使发热体发热，为硅料熔化和晶体生长提供热量；另一对作支撑脚，支撑在包括定位支座、定位绝缘体的脚垫上，以防止发热体长期在高温下工作时发生蠕变。 由于定位支座采用石墨材料制作，而石墨材料的导热性好，保温性能差，发热体产生的热量会从此处传到炉外，造成能源浪费，增加生产成本。此外，支撑脚、定位支座、定位绝缘体是一个个叠放在一起的，其高度的调整较为麻烦，安装时，水平位置的找准工作也较难。碳/碳复合材料是一种将碳纤维制成的网胎与网胎、或碳布与碳布、或网胎与碳布复合，再经过增密、碳化和石墨化处理而成的碳/碳复合材料，具有高比强度、高比模量、耐高温、耐烧蚀、热膨胀系数小、耐急冷急热而不变形不开裂且兼具保温性等优良性能，特别适应于高温领域，现已成为或将逐步成为航空航天、冶金、新能源等领域的重要基础材料之一，是石墨制品和闻温用钢的理想替代品。
发明内容本实用新型的目的是提供一种保温性能好，安装、调节方便的发热体支撑脚的脚垫。本实用新型是采用如下技术方案实现其发明目的的，一种发热体支撑脚的脚垫，它包括轴向开设有定位销孔的支撑脚、由定位销孔定位的定位支座、定位绝缘体，所述的定位支座由碳/碳复合材料加工制成。本实用新型为了便于调节高度，所述的定位支座包括由定位销孔定位的支撑杆、设于定位绝缘体上方的支撑盘，支撑杆一端设有螺杆，支撑杆通过螺杆与支撑盘螺纹连接并通过并紧螺母紧固在支撑盘上。本实用新型为了安装平稳，所述的定位绝缘体为筒状的绝缘筒，支撑盘与绝缘筒之间以台阶结构连接。本实用新型为了便于安装，所述的绝缘筒的筒壁上设有平行于其中心线的槽，槽宽大于螺杆的直径。本实用新型为了安全节能，所述的绝缘筒采用陶瓷材料制成。[0011]由于采用上述技术方案，本实用新型较好的实现了发明目的，其保温性能较好，热量损耗少，节约了能源，降低了生产成本，且强度高，高度易于调节，安装使用方便。
图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。由图I可知，一种发热体支撑脚的脚垫，它包括轴向开设有定位销孔2的支撑脚I、由定位销孔2定位的定位支座、定位绝缘体,所述的定位支座由碳/碳复合材料加工制成，碳/碳复合材料采用传统工艺制备，其表观密度为I. Og/ cm 3 I. 5g/ cm 3。本实用新型为了便于调节高度，所述的定位支座包括由定位销孔2定位的支撑杆3、设于定位绝缘体上方的支撑盘4，支撑杆3 —端设有螺杆7，支撑杆3通过螺杆7与支撑盘4螺纹连接并通过并紧螺母6紧固在支撑盘4上。本实用新型为了安装平稳，所述的定位绝缘体为筒状的绝缘筒5，支撑盘4与绝缘筒5之间以台阶结构连接。本实用新型为了便于安装，所述的绝缘筒5的筒壁上设有平行于其中心线的槽，槽宽大于螺杆7的直径。本实用新型为了安全节能，所述的绝缘筒5采用陶瓷材料制成。本实用新型安装时，先将并紧螺母6旋入支撑杆3的螺杆7上，再将支撑杆3的螺杆7旋入支撑盘4的螺孔内；然后将支撑杆3的另一端的圆头对中并插入发热体支撑脚I的定位销孔2中，支撑杆3圆头旁的台阶平面与发热体支撑脚I的底平面贴紧后，将绝缘筒5筒壁上的槽对准支撑杆3的螺杆7 —端，并移动绝缘筒5，使绝缘筒5位于支撑盘4的下方，旋转支撑杆3使其高度合适后，最后拧紧并紧螺母6。
权利要求1.一种发热体支撑脚的脚垫，它包括轴向开设有定位销孔(2)的支撑脚(I)、由定位销孔(2)定位的定位支座、定位绝缘体,其特征是所述的定位支座由碳/碳复合材料加工制成。
2.根据权利要求I所述的发热体支撑脚的脚垫，其特征是所述的定位支座包括由定位销孔(2)定位的支撑杆(3)、设于定位绝缘体上方的支撑盘(4)，支撑杆(3) —端设有螺杆(7)，支撑杆(3)通过螺杆(7)与支撑盘(4)螺纹连接并通过并紧螺母(6)紧固在支撑盘(4)上。
3.根据权利要求I或2所述的发热体支撑脚的脚垫，其特征是所述的定位绝缘体为筒状的绝缘筒(5)，支撑盘(4)与绝缘筒(5)之间以台阶结构连接。
4.根据权利要求3所述的发热体支撑脚的脚垫，其特征是所述的绝缘筒(5)的筒壁上设有平行于其中心线的槽，槽宽大于螺杆(7)的直径。
5.根据权利要求3所述的发热体支撑脚的脚垫，其特征是所述的绝缘筒(5)采用陶瓷材料制成。
6.根据权利要求4所述的发热体支撑脚的脚垫，其特征是所述的绝缘筒(5)采用陶瓷材料制成。
专利摘要本实用新型公开了一种保温性能好，安装、调节方便的发热体支撑脚的脚垫，它包括轴向开设有定位销孔(2)的支撑脚(1)、由定位销孔(2)定位的定位支座、定位绝缘体，其特征是所述的定位支座由碳/碳复合材料加工制成，本实用新型保温性能较好，热量损耗少，节约了能源，降低了生产成本，且强度高，高度易于调节，安装使用方便。
文档编号C30B35/00GK202543398SQ20122014213
公开日2012年11月21日 申请日期2012年4月6日 优先权日2012年4月6日
发明者廖寄乔, 李军, 王跃军, 邰卫平, 龚玉良 申请人:湖南金博复合材料科技有限公司