专利名称：一种扩散炉的tc盲堵的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体设备技术领域，更具体地说，涉及一种扩散炉的TC盲堵。
背景技术：
扩散炉是集成电路生产过程中重要工艺设备之一，它的主要作用是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。扩散炉炉管局部的结构如图I所示，包括炉管I、TC套管(温度控制器套管，图中未示出)和尾气管(图中未示出)，其中，炉管I上设置有工艺气体口 11、TC套管安装口 12和尾气管安装口 13 ;TC套管和尾气管分别通过TC套管安装口 12和尾气管安装口 13伸入炉管I内部，为了增强尾气管与炉管以及TC套管与炉管之间的密封性能，TC套管安装口 12 和尾气管安装口 13末端设置有凸半球接头10，而尾气管和TC套管设置有与之相配合的凹半球接头。TC套管中放置有用于监控炉管内部温度的管内热电偶(Paddle热电偶)。同时，炉管、TC套管和尾气管均为石英材质。扩散炉在工作时，炉管内部的温度很高，在高温和重力的作用下，伸入炉管内部的TC套管和尾气管会发生不同程度的变形，变形严重时，TC套管和尾气管会与炉管内壁发生接触。由于目前多数公司使用液态硼作为生产单晶N型组件时的硼源，在大批量生产过程中，炉管内部会生成硼硅玻璃，而硼硅玻璃对石英有腐蚀性，会使尾气管、TC套管和炉管之间发生粘连。当尾气管或TC套管与炉管发生粘连后，如果强行从炉管内部拔出尾气管或TC套管，会造成炉管破碎。也就是说，在现有的扩散炉中，如果尾气管或TC套管与炉管发生粘连，则只能更换炉管，这加大了扩散炉的维护成本。由以上所述，如何解决因尾气管、TC套管与炉管发生粘连就必须整体更换炉管，而导致维护成本加大的问题，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供一种扩散炉的TC盲堵，在保证现有扩散炉正常工作的前提下，解决因尾气管、TC套管与炉管发生粘连就必须整体更换炉管，而导致维护成本加大的问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种扩散炉的TC盲堵，用于太阳能电池扩散炉，包括接头部，接头部为与太阳能电池扩散炉的凸半球接头相配合的凹半球接头；和盲管部，盲管部为一端与接头部相连通且另一端密闭的直管，盲管部的内径不小于太阳能电池扩散炉的尾气管的外径，盲管部还设置有与外界相连通的测压管。优选地，上述的测压管设置在盲管部的侧壁上。本实用新型提供了一种扩散炉的TC盲堵，用于太阳能电池扩散炉中，该TC盲堵包括接头部和盲管部，其中，接头部为凹半球接头，能够与太阳能电池扩散炉上的凸半球接头相配合；盲管部为一端与接头部相连通，而另一端密闭的直管，盲管部的内径不小于太阳能电池扩散炉的尾气管的外径，同时，盲管部还设置有与外界相连通的测压管。在使用本实用新型所提供的TC盲堵时，利用TC盲堵替代TC套管，安装在炉管的TC套管安装口上。由于TC盲堵不需要伸入炉管的内部，这就避免了在高温条件下变形而与炉管发生粘连的现象，也就解决了需要更换炉管而造成的扩散炉维护成本加大的问题；同时，当尾气管与炉管发生粘连而无法使用时，可以将尾气管在接头附近折断，将TC盲堵安装至原尾气管安装口处，折断处残留的尾气管伸入TC盲堵的盲管部，而在原TC套管安装口处安装新的尾气管，可以看出，此时将炉管的寿命得到了延长，也就降低了因尾气管与炉管发生粘连导致需要更换炉管而造成的扩散炉维护成本加大的问题。由以上所述，通过使用本实用新型所提供的TC盲堵，解决了因TC套管或尾气管与炉管发生粘连导致需要更换炉管而造成的扩散炉维护成本加大的问题。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为现有技术中太阳能电池扩散炉炉管的结构示意图；图2为本实用新型实施例所提供的TC盲堵的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型实施例公开了一种扩散炉的TC盲堵，在保证现有扩散炉正常工作的前提下，解决因尾气管、TC套管与炉管发生粘连就必须整体更换炉管，而导致维护成本加大的问题。如图2所示，本实用新型实施例所提供的TC盲堵包括接头部21和盲管部22。接头部21为凹半球接头，并能够与太阳能扩散炉的凸半球接头相配合，以形成更好的密封效果；盲管部22为一端与接头部相连通，而另一端密闭的直管，且盲管部的内径不小于太阳能电池扩散炉的尾气管的外径，盲管部还设置有与外界相连通的测压管221。在使用本实用新型实施例所提供的TC盲堵时，利用TC盲堵替代原有的TC套管，安装于太阳能电池扩散炉的TC套管安装口。在太阳能电池扩散炉中设置TC套管有两重作用，一是利用TC套管分支上的压差计来检测炉管内部压力，二是通过设置在TC套管中的管内热电偶监控炉管内部的温度。下面从这两方面来分别说明本实用新型实施例所提供的TC盲堵能够替代原有的TC套管。首先，在TC盲堵上，设置有用于连接压差计的测压管，能够实现原TC套管测量炉管内部压力的功能。同时，本领域技术人员可以理解的是，太阳能电池扩散炉中一般同时具有管内温控和管外温控(Paddle温控和Spike温控)两套设备，其中，管内温控是通过设置在TC套管内的管内热电偶控制炉管内的温度，而管外温控是通过设置在炉管加热丝处的热电偶控制炉壁的温度。在管内温控与管外温控两种模式之间，存在着一定的代数关系，也就是说可以利用其中一种温控模式测得的温度去计算另一温控模式的待测温度。因此，可以在扩散炉校温时，安装TC套管以实现利用管内温控设备校对管外温控设备，使二者测得的温度能够一一对应，然后在实际生产过程中，取出TC套管，利用管外热电偶来检测温度，进而保证工艺要求，实现了在安装TC盲堵时监控炉管内部的温度的目的。通过使用TC盲堵，可以在太阳能电池扩散炉运行时不将TC套管插入炉管中，这就避免了在TC套管在高温炉管内变形后与炉管内壁发生粘连的问题，从而保护了炉管，降低了太阳能电池扩散炉的维护成本。同时，在尾气管与炉管发生粘连而无法使用时，可以将TC盲堵安装至原尾气管末端，由于尾气管与炉管内部联通，仍然可以实现检测内部压力的作用。而在原来TC套管安装口处安装新的尾气管，可以看出，此时将炉管的寿命得到了延长，也就降低了因尾气管与炉管发生粘连导致需要更换炉管而造成的扩散炉维护成本加大的问题。 由以上所述，通过使用本实用新型所提供的TC盲堵，解决了因TC套管或尾气管与炉管发生粘连导致需要更换炉管而造成的扩散炉维护成本加大的问题。优选地，在上述实施例所提供的TC盲堵中，测压管设置在盲管部的侧壁上。通过将测压管设置在盲管部的侧壁上，使得炉管内的气体在流入测压管时，其运动方向发生了 90度的变化，这就降低了气体的流动速度，避免了在炉管内压力发生突然变化时，气流冲击与测压管相连的压差表，起到保护设备的目的。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种扩散炉的TC盲堵，用于太阳能电池扩散炉，其特征在于，所述TC盲堵包括 接头部(21)，所述接头部为与所述太阳能电池扩散炉的凸半球接头相配合的凹半球接头；和 盲管部(22)，所述盲管部为一端与所述接头部相连通且另一端密闭的直管，所述盲管部的内径不小于所述太阳能电池扩散炉的尾气管的外径，所述盲管部还设置有与外界相连通的测压管(221)。
2.根据权利要求I所述的TC盲堵，其特征在于，所述测压管(221)设置在所述盲管部(22)的侧壁上。
专利摘要本实用新型公开了一种扩散炉的TC盲堵，用于太阳能电池扩散炉中，该TC盲堵包括接头部和盲管部，其中，接头部为凹半球接头，能够与太阳能电池扩散炉上的凸半球接头相配合；盲管部为一端与接头部相连通，而另一端密闭的直管，盲管部的内径不小于太阳能电池扩散炉的尾气管的外径，同时，盲管部还设置有与外界相连通的测压管。在使用本实用新型所提供的TC盲堵时，将TC盲堵安装于炉管的TC套管安装口处，用于替代TC套管。通过使用本实用新型所提供的TC盲堵，解决了因TC套管或尾气管与炉管发生粘连导致需要更换炉管而造成的扩散炉维护成本加大的问题。
文档编号C30B31/16GK202558974SQ201220182378
公开日2012年11月28日 申请日期2012年4月26日 优先权日2012年4月26日
发明者张波宁, 胡亚男, 曹锦鹏, 张红妹 申请人:英利能源(中国)有限公司