专利名称：一种单晶炉用空心水冷轴的制作方法
技术领域：
本实用新型属于机械设备技术领域，涉及一种单晶炉用空心水冷轴。
背景技术：
目前，现有技术在采用高温人工晶体生长时，为了获得理想的生长工艺条件，坩锅在坩埚轴的支撑下不但需要做升降运动、旋转运动，同时又要对坩埚底部的温度进行测量；由于大多数人工晶体生长温度较高，因此，需要对坩埚轴进行水冷却，这样就难以实现坩埚底部的准确温度测量，成为一个影响晶体生长的技术难题。
发明内容本实用新型的目的是提供一种单晶炉用空心水冷轴，解决了现有技术中没有适当的空间设置，不能满足在水冷情况下对坩埚底部温度测量的问题。本实用新型所采用的技术方案是，一种单晶炉用空心水冷轴，包括在轴体中沿轴心线设置有通孔，在轴体的圆壁上开有进水螺旋槽和回水螺旋槽，进水螺旋槽和回水螺旋槽的上端口通过过渡槽连通，进水螺旋槽和回水螺旋槽的外周包裹有外筒；在进水螺旋槽和回水螺旋槽的下端口起始位置分别开有进水孔和出水孔。本实用新型的有益效果是:结构简单，加工制造容易，安全可靠
图1为本实用新型单晶炉用空心水冷轴的结构示意图。图中，1.轴体，2.外筒，3.进水螺旋槽，4.回水螺旋槽，5.过渡槽，6.出水孔，7.进水孔，8.通孔。
具体实施方式
参照图1，本实用新型的单晶炉用空心水冷轴，包括在轴体I中沿轴心线设置有通孔8，在轴体I的圆壁上开有进水螺旋槽3和回水螺旋槽4，进水螺旋槽3和回水螺旋槽4的上端口通过过渡槽5连通，进水螺旋槽3和回水螺旋槽4的外周包裹有外筒2，外筒2与轴体I密封固定连接(焊接在一起)，实现对进水螺旋槽3和回水螺旋槽4的密封；在进水螺旋槽3和回水螺旋槽4的下端口起始位置分别开有进水孔7和出水孔6，进水孔7和出水孔6通向外筒2之外与进出水管路分别联通。本实用新型的创新之处在于轴体I是空心结构，轴体I圆壁上加工有进水螺旋槽3和回水螺旋槽4并在上部通过过渡槽5相连通，冷却水从进水孔7进入，通过进水螺旋槽
3、过渡槽5、回水螺旋槽4然后从出水孔6流出，实现轴体I的冷却；轴体I中间的通孔8提供了安装温度传感器的空间，便于实现对轴体I的温度测量。本实用新型装置的结构简单，加工制造容易，安全可靠，能够满足在水冷情况下实现对坩埚底部温度的测量，可以广泛适用于碳化硅晶体炉、氮化铝晶体炉、宝石炉等各种人工晶体生长设备中。
权利要求1.一种单晶炉用空心水冷轴，其特征在于:包括在轴体(I)中沿轴心线设置有通孔(8 )，在轴体(I)的圆壁上开有进水螺旋槽(3 )和回水螺旋槽(4)，进水螺旋槽(3 )和回水螺旋槽(4 )的上端口通过过渡槽(5 )连通，进水螺旋槽(3 )和回水螺旋槽(4 )的外周包裹有外筒(2);在进水螺旋槽(3)和回水螺旋槽(4)的下端口起始位置分别开有进水孔(7)和出水孔(6 )。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用空心水冷轴，其特征在于:所述的外筒(2)与轴体(I)密封固定连接。
专利摘要本实用新型公开了一种单晶炉用空心水冷轴，包括在轴体中沿轴心线设置有通孔，在轴体的圆壁上开有进水螺旋槽和回水螺旋槽，进水螺旋槽和回水螺旋槽的上端口通过过渡槽连通，进水螺旋槽和回水螺旋槽的外周包裹有外筒；在进水螺旋槽和回水螺旋槽的下端口起始位置分别开有进水孔和出水孔。本实用新型装置的轴体是空心结构，轴体中间的通孔提供了安装温度传感器的空间，结构简单，加工制造容易，安全可靠，能够满足在水冷情况下实现对坩埚底部温度的测量，广泛适用于碳化硅晶体炉、氮化铝晶体炉、宝石炉等各种人工晶体生长设备中。
文档编号C30B35/00GK202925153SQ20122065979
公开日2013年5月8日 申请日期2012年12月4日 优先权日2012年12月4日
发明者李留臣, 冯金生 申请人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司