磷扩散炉炉管炉帽的制作方法

文档序号:8181491阅读:331来源:国知局
专利名称:磷扩散炉炉管炉帽的制作方法
技术领域
本发明涉及半导体分立器件和太阳能电池片的制造领域。
背景技术
磷扩散是半导体分立器件、集成电路芯片和太阳能电池片制作PN结所必须的一道工艺,目前这道工艺所采用的技术是热扩散技术。半导体分立器件主要用于制造二极管、三极管、功率器件、IGBT及晶闸管等,该系列产品在国内有上百亿的销售额,产能非常庞大。另一方面作为太阳能电池片的用途,硅片运用也非常广泛,全球70%以上的太阳能电池片是使用硅片作为电池片的。2011年已经实现25GW的产能,多晶用量达到18万吨是半导体用量的6倍,因此太阳能的产量比半导体产量更大。国内能够生产太阳能电池硅片厂家约120多家,而能够生产半导体分立器件扩散片的厂家也达到几十家。用于磷扩散的扩散炉每个厂家基本有几十台到上百台,市场需求量很大。目前市场上技术成熟的磷扩散技术主要有三种:1、采用液态三氯氧磷源扩散;2、采用喷涂磷酸水溶液后链式扩散;3、采用磷源纸夹层后链式扩散。这三种磷扩散的方法以液态磷源扩散的方法具有生产效率较高,得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点,因此运用范围最广,生产厂家普遍采用该方法进行大批量生产。磷扩散方法的结构图如

图1所示,磷扩散的化学反应方程式如下:
权利要求
1.磷扩散炉炉管炉帽,包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体,其特征在于:所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴,所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环,所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间。
2.根据权利要求1所述的磷扩散炉炉管炉帽,其特征在于:所述帽体底部外壁焊接有一石英把手。
3.根据权利要求2所述的磷扩散炉炉管炉帽,其特征在于:所述开口延嘴长度控制在3-5cm,开口延嘴内径控制在0.5-lcm。
4.根据权利要求3所述的磷扩散炉炉管炉帽,其特征在于:所述卡环厚度等于帽体底部壁厚。`
全文摘要
本发明公开了一种磷扩散炉炉管炉帽,包括底部封闭的圆筒形石英材质帽体,所述帽体底部设有一向外凸出的开口延嘴,所述帽体底部内壁焊接有一石英卡环,所述开口延嘴设置在卡环底面与帽体底壁之间。所述帽体底部外壁焊接有一石英把手。本发明的炉帽套接在炉管开口上,炉帽采用石英材质,热稳定性高,石英炉帽底部侧面的开口延嘴正对抽风管进风口用于释放磷扩散炉的炉管排出的三氯氧磷气体,帽体底部内壁焊接有一石英卡环,卡环距底部刚好留有开口延嘴的宽度,炉管口部顶接在卡环上不至于堵住开口延嘴,在炉帽底部焊接石英的把手方便了操作。
文档编号C30B31/16GK103103614SQ20131001827
公开日2013年5月15日 申请日期2013年1月17日 优先权日2013年1月17日
发明者陈功 申请人:陈功
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