机械手用框架和机械手的制作方法与工艺

本发明涉及具有碳纤维强化塑料层的机械手用框架和机械手。

背景技术：
以往，公知有例如专利文献1所述的机械手。专利文献1所述的机械手安装在用于输送对象物的工业用机器人的手臂前端，其中，具有用于支承对象物的支承部（叉子）和用于保持固定该支承部的支架部（框架）。而且，该机械手的叉子具有互相层叠的第1碳纤维强化塑料层和第2碳纤维强化塑料层、以及配置在这些碳纤维强化塑料层之间具有刚性低于构成这些碳纤维强化塑料层的基体树脂的柔软性树脂层。专利文献1：日本特开2009－160685号公报如上所述，在专利文献1所述的机械手的叉子中，通过采用碳纤维强化塑料层来确保刚性，并且通过在碳纤维强化塑料层之间配置柔软性树脂层来谋求提高振动衰减特性。像上述这样，在工业用机器人的机械手中，为了可靠地保持输送的对象物，期望确保刚性并提高振动衰减特性。

技术实现要素：
本发明即是鉴于这样的情况而做成的，其课题在于提供能够提高振动衰减特性的机械手用框架和机械手。本发明人基于为了解决上述课题而反复深入研究的结果，发现在用于输送对象物的机械手中，通过提高用于保持可载置对象物的多个叉子的框架的振动衰减特性，能够提高机械手整体的振动衰减特性。本发明即是基于这样的见解而做成的。即，本发明的机械手用框架应用于用于输送对象物的机械手，该机械手用框架呈长条管状，用于保持可载置对象物的多个叉子，其特征在于，具有：第1碳纤维强化塑料层，其形成为长条管状；第2碳纤维强化塑料层，其形成为长条管状，以从第1碳纤维强化塑料层的一端延伸到另一端的方式配置在第1碳纤维强化塑料层的内侧；以及第1减振层，其配置在第1碳纤维强化塑料层与第2碳纤维强化塑料层之间，第1减振层由刚性低于构成第1碳纤维强化塑料层和第2碳纤维强化塑料层的基体树脂的刚性的粘弹性材料构成。在该机械手用框架中，在第1碳纤维强化塑料层与第2碳纤维强化塑料层之间配置有由刚性低于构成碳纤维强化塑料层的基体树脂的刚性的粘弹性材料构成的第1减振层，因此，能够提高振动衰减特性。因而，只要将该机械手用框架应用于机械手，就能够提高该机械手整体的振动衰减特性。在本发明的机械手用框架中，可以使第1碳纤维强化塑料层中的、接合于第1减振层的层的碳纤维的取向方向与第2碳纤维强化塑料层中的、接合于第1减振层的层的碳纤维的取向方向相对于该机械手用框架的长度方向对称。只要像上述这样，将减振层配置在碳纤维的取向方向相对于该机械手用框架的长度方向互相对称的碳纤维强化塑料层之间，则能够较佳地使该机械手用框架的沿着长度方向的扭转振动衰减。在本发明的机械手用框架中，可以使粘弹性材料的储能模量为0.1MPa以上2500MPa以下。只要像上述这样，使构成减振层的粘弹性材料的储能模量为2500MPa以下，就能够得到充分的振动衰减特性，使构成减振层的粘弹性材料的储能模量为0.1MPa以上，刚性就不会降低很多。在本发明的机械手用框架中，可以使第1减振层隔着预先粘贴于第1减振层的树脂膜接合于第1碳纤维强化塑料层和第2碳纤维强化塑料层，树脂膜由与构成第1碳纤维强化塑料层和第2碳纤维强化塑料层的基体树脂相同的材料构成。在这种情况下，能够将各碳纤维强化塑料层和减振层牢固地接合起来。在此，本发明的机械手用于输送对象物，其特征在于，具有：上述机械手用框架；以及多个叉子，其呈长条管状，被保持在机械手用框架上，可载置对象物，多个叉子分别具有形成为长条管状且互相层叠的第3碳纤维强化塑料层和第4碳纤维强化塑料层。该机械手具有上述机械手用框架。因而，采用该机械手，能够提高振动衰减特性。在本发明的机械手中，可以使多个叉子分别具有配置在第3碳纤维强化塑料层与第4碳纤维强化塑料层之间的第2减振层，第2减振层由刚性低于构成第3碳纤维强化塑料层和第4碳纤维强化塑料层的基体树脂的刚性的粘弹性材料构成。在这种情况下，通过在框架和叉子这两者中都设置减振层，能够进一步提高机械手整体的振动衰减特性。采用本发明，能够提供能够提高振动衰减特性的机械手用框架和机械手。附图说明图1是表示本发明的机械手的第1实施方式的结构的立体图。图2是图1所示的区域AR1的放大图。图3是沿着图2的III－III线的叉子的剖视图。图4是沿着图2的IV－IV线的框架的剖视图。图5是表示图1所示的框架的制造方法的一例的剖视图。图6是表示本发明的机械手的第2实施方式中的框架的局部剖视图。图7是用于说明实施例和比较例的机械手的振动衰减特性的评价方法的示意图。图8是表示比较例1的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图。图9是表示实施例1的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图。图10是表示实施例2的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图。图11是表示实施例3的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图。图12是表示实施例4的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图。附图标记说明1、机械手；10、叉子；11、CFRP层（第3碳纤维强化塑料层）；12、CFRP层（第4碳纤维强化塑料层）；13、减振层（第2减振层）；20、框架（机械手用框架）；21、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层）；22、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层、第2碳纤维强化塑料层）；23、CFRP层（第2碳纤维强化塑料层）；24、25、减振层（第1减振层）；50、框架（机械手用框架）；51、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层）；52、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层、第2碳纤维强化塑料层）；53、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层、第2碳纤维强化塑料层）；54、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层、第2碳纤维强化塑料层）；55、CFRP层（第2碳纤维强化塑料层）；56、57、58、59、减振层（第1减振层）；OB、对象物。具体实施方式下面，参照附图详细说明本发明的机械手用框架和机械手的一实施方式。另外，在以下的附图中，对相同或者相当的元件标注相同的附图标记，省略重复的说明。另外，以下附图中的尺寸比例有时与实际的尺寸比例不同。第1实施方式图1是表示本发明的机械手的第1实施方式的结构的立体图。图1所示的机械手1例如应用于用于输送预定的对象物OB的工业用机器人。对象物OB例如是2.5m×2.2m左右大小的LCD（液晶显示器）基板等。机械手1具有可载置该对象物OB的多根（在此是4根）叉子10及用于保持各叉子10的框架（机械手用框架）20。叉子10和框架20呈长条的矩形管状。图2是图1所示的区域AR1的放大图。如图2所示，叉子10在将其一端部10a从框架20的开口20h插入到框架20的内部的状态下，隔着SUS板等金属板PL固定于框架20。另外，在机械手1中，能够根据对象物OB的尺寸适当地变更叉子10的根数。另外，能够根据该叉子10的根数适当地变更框架20的尺寸。图3是沿着图2的III－III线的叉子的示意性的剖视图。特别是，图3的（b）是图3的（a）所示的区域AR2的放大图。如图3所示，叉子10具有碳纤维强化塑料（以下称作“CFRP：CarbonFiberReinforcedPlastics”）层（第3碳纤维强化塑料层）11及CFRP层（第4碳纤维强化塑料层）12。CFRP层11、12呈长条的矩形管状，它们互相层叠。CFRP层11和CFRP层12通过层叠多个碳纤维预浸料而构成。另外，叉子10具有减振层（第2减振层）13。减振层13配置在CFRP层11与CFRP层12之间。特别是，减振层13在叉子10的上壁部10a和下壁部10b中配置在CFRP层11与CFRP层12之间，其并不配置于叉子10的侧壁部10c、10d。减振层13呈长条的矩形管状，从CFRP层11、12的一端延伸到另一端。减振层13由刚性低于构成CFRP层11、12的基体树脂的刚性的粘弹性材料构成。对于构成减振层13的粘弹性材料，将在后述进行说明。另外，4根叉子10各自成为彼此同样的结构。作为构成CFRP层11和CFRP层12的碳纤维预浸料，例如可以采用日本吉坤日矿日石能源（株式会社）制碳纤维预浸料（平织预浸料）FMP61－2026A（CF：日本东丽（株式会社）制PAN系230GPaCF（商品名称：トレカT300），基体树脂：130℃固化环氧树脂，CF单位面积重量（AFW）：198g／m2，树脂含有率：40.0重量%，预浸料厚度（MPT）：0.237mm）、日本吉坤日矿日石能源（株式会社）制碳纤维预浸料（单向预浸料）E8026C－25N（CF：日本石墨纤维（株式会社）制沥青系高弹性780GPaCF（商品名称：グラノックXN－80），基体树脂：130℃固化环氧树脂，CF单位面积重量（AFW）：250g／m2，树脂含有率：31.4重量%，预浸料厚度（MPT）：0.209mm）、以及日本吉坤日矿日石能源（株式会社）制碳纤维预浸料（单向预浸料）B24N35C125（CF：日本三菱人造纤维（株式会社）制PAN系230GPaCF（商品名称：パイロフィルTR30S），基体树脂：130℃固化环氧树脂，CF单位面积重量（AFW）：125g／m2，树脂含有率：35.0重量%，预浸料厚度（MPT）：0.126mm）等。图4是沿着图2的IV－IV线的框架的示意性的剖视图。特别是，图4的（b）是图4的（a）所示的区域AR3的放大图。如图4所示，框架20具有CFRP层（第1碳纤维强化塑料层）21、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层、第2碳纤维强化塑料层）22及CFRP层（第2碳纤维强化塑料层）23。CFRP层21形成为长条的矩形管状。CFRP层22形成为长条的矩形管状，以从CFRP层21的一端延伸到另一端的方式配置在CFRP层21的内侧。CFRP层23形成为长条的矩形管状，以从CFRP层22的一端延伸到另一端的方式配置在CFRP层22的内侧。CFRP层21～23通过层叠多个碳纤维预浸料而构成。另外，框架20具有减振层（第1减振层）24、25。减振层24配置在CFRP层21与CFRP层22之间。减振层24呈长条的矩形管状，从CFRP层21、22的一端延伸到另一端。减振层25配置在CFRP层22与CFRP层23之间。减振层25呈长条的矩形管状，从CFRP层22、23的一端延伸到另一端。减振层24、25由刚性低于构成CFRP层21～23的基体树脂的刚性的粘弹性材料构成。对于构成减振层24、25的粘弹性材料，将在后述进行说明。CFRP层21包含接合于减振层24的接合层21a。CFRP层22包含接合于减振层24的接合层22a和接合于减振层25的接合层22b。CFRP层23包含接合于减振层25的接合层23b。如图2所示，接合层21a、22b的碳纤维的取向方向D1与接合层22a、23b的碳纤维的取向方向D2在框架20的预定的面内（例如上表面20s）相对于框架20的长度方向Dx互相对称（例如在上表面20s内，取向方向D1与长度方向Dx成45°（－45°）角，取向方向D2与长度方向Dx成－45°（45°）角）。作为构成CFRP层21～23的碳纤维预浸料，除了上述FMP61－2026A和B24N35C125之外，例如还可以采用日本吉坤日矿日石能源（株式会社）制碳纤维预浸料（单向预浸料）B24N33C269（CF：日本三菱人造纤维（株式会社）制PAN系230GPaCF（商品名称：パイロフィルTR30S），基体树脂：130℃固化环氧树脂，CF单位面积重量：269g／m2，树脂含有率：33.4重量%，预浸料厚度（MPT）：0.263mm）、以及日本吉坤日矿日石能源（株式会社）制碳纤维预浸料（单向预浸料）E6026E－26K（CF：日本石墨纤维（株式会社）制沥青系高弹性600GPaCF（商品名称：グラノックXN－60），基体树脂：130℃固化环氧树脂，CF单位面积重量（AFW）：260g／m2，树脂含有率：27.5重量%）等。优选构成上述减振层13和减振层24、25的粘弹性材料在25℃下的储能模量为0.1MPa以上2500MPa以下的范围，更优选为0.1MPa以上250MPa以下的范围，进一步优选为0.1MPa以上100MPa以下的范围。只要构成上述减振层13和减振层24、25的粘弹性材料的储能模量为2500MPa以下，就能够得到充分的振动衰减特性，只要其储能模量为0.1MPa以上，叉子10和框架20的刚性就不会降低很多，而能够满足作为工业用部件所要求的性能。另外，构成减振层13的粘弹性材料是通过对碳纤维预浸料进行热固化来制作叉子10的，构成减振层24、25的粘弹性材料是通过对碳纤维预浸料进行热固化来制作框架20的，因此，优选构成减振层13的粘弹性材料相对于制作叉子10时产生的热量稳定，构成减振层24、25的粘弹性材料相对于制作框架20时产生的热量稳定。此外，还优选构成减振层13的粘弹性材料与叉子10的各CFRP层的粘接性优良，构成减振层24、25的粘弹性材料与框架20的各CFRP层的粘接性优良。从以上的方面考虑，构成减振层13和减振层24、25的粘弹性材料例如可以通过添加苯乙烯－丁二烯橡胶（SBR）、氯丁二烯橡胶（CR）、丁基橡胶（IIR）、丁腈橡胶（NBR）及乙烯丙烯橡胶（EPM，EPDM）等橡胶，以及聚酯树脂、乙烯基酯树脂、聚氨酯树脂及作为具有柔软链的聚合物的橡胶或弹性体等，做成降低了弹性模量的环氧树脂等比CFRP柔软的材料。通过将上述的碳纤维预浸料等卷绕于长方体状的芯材而层叠起来，之后对其进行热固化，能够制作上述这样的框架20。特别是，如图5的（a）所示，在将一个碳纤维预浸料30以在芯材40的预定部分P1处搭接的方式卷绕于芯材40的情况下，只要如图5的（b）所示，通过将另一个碳纤维预浸料31以在芯材40的另一个预定部分P2处搭接的方式卷绕于芯材40等，而使碳纤维预浸料的搭接位置互不重叠，就能够避免框架20的厚度产生偏差。另外，如图5的（c）所示，在将一个碳纤维预浸料32以在芯材40的预定部分P3处对接的方式卷绕于芯材40的情况下，只要如图5的（d）所示，通过将另一个碳纤维预浸料33以在芯材40的另一个预定部分P4处对接的方式卷绕于芯材40等，而使碳纤维预浸料的对接位置互相错开，就能够避免框架20的强度产生偏差。像以上说明的那样，采用本实施方式的机械手1，在叉子10中，在CFRP层11与CFRP层12之间配置有减振层13，因此，能够提高振动衰减特性。特别是，采用本实施方式的机械手1，在框架20中，在CFRP层21与CFRP层22之间也配置有减振层24，在CFRP层22与CFRP层23之间也配置有减振层25，因此，能够进一步提高振动衰减特性。另外，在框架20中，使接合层21a的碳纤维的取向方向与接合层22a的碳纤维的取向方向相对于框架20的长度方向对称。另外，使接合层22b的碳纤维的取向方向与接合层23b的碳纤维的取向方向相对于框架20的长度方向对称。因此，采用该机械手1，能够较佳地使沿着框架20的长度方向的扭转振动衰减。第2实施方式本发明的机械手的第2实施方式在具有图6所示的框架（机械手用框架）50来代替框架20这一点上与第1实施方式的机械手1不同。本实施方式的框架50的减振层的层数与框架20的减振层的层数不同，即，第1实施方式的框架20具有两层减振层，相对于此，第2实施方式的框架50具有4层减振层。详细说明框架50的构造。框架50具有CFRP层（第1碳纤维强化塑料层）51、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层、第2碳纤维强化塑料层）52、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层、第2碳纤维强化塑料层）53、CFRP层（第1碳纤维强化塑料层、第2碳纤维强化塑料层）54及CFRP层（第2碳纤维强化塑料层）55。CFRP层51形成为长条的矩形管状。CFRP层52形成为长条的矩形管状，以从CFRP层51的一端延伸到另一端的方式配置在CFRP层51的内侧。CFRP层53形成为长条的矩形管状，以从CFRP层52的一端延伸到另一端的方式配置在CFRP层52的内侧。CFRP层54形成为长条的矩形管状，以从CFRP层53的一端延伸到另一端的方式配置在CFRP层53的内侧。CFRP层55形成为长条的矩形管状，以从CFRP层54的一端延伸到另一端的方式配置在CFRP层54的内侧。CFRP层51～55与CFRP层21～23同样地通过层叠多个碳纤维预浸料而构成。另外，框架50具有减振层（第1减振层）56～59。减振层56配置在CFRP层51与CFRP层52之间。减振层56呈长条的矩形管状，从CFRP层51、52的一端延伸到另一端。减振层57配置在CFRP层52与CFRP层53之间。减振层57呈长条的矩形管状，从CFRP层52、53的一端延伸到另一端。减振层58配置在CFRP层53与CFRP层54之间。减振层58呈长条的矩形管状，从CFRP层53、54的一端延伸到另一端。减振层59配置在CFRP层54与CFRP层55之间。减振层59呈长条的矩形管状，从CFRP层54、55的一端延伸到另一端。减振层56～59可以由与减振层24、25同样的材料构成。即，减振层56～59可以由刚性低于构成CFRP层51～55的基体树脂的刚性的粘弹性材料构成。CFRP层51包含接合于减振层56的接合层51a。CFRP层52包含接合于减振层56的接合层52a和接合于减振层57的接合层52b。CFRP层53包含接合于减振层57的接合层53b和接合于减振层58的接合层53c。CFRP层54包含接合于减振层58的接合层54c和接合于减振层59的接合层54d。CFRP层55包含接合于减振层59的接合层55d。作为构成CFRP层51～55的碳纤维预浸料，可以采用与构成上述CFRP层21～23的碳纤维预浸料同样的碳纤维预浸料。其中，像上述接合层21a、22b的碳纤维的取向方向与接合层22a、23b的碳纤维的取向方向那样，接合层51a、52b、53c、54d的碳纤维的取向方向与接合层52a、53b、54c、55d的碳纤维的取向方向在框架50的预定的面内相对于框架50的长度方向互相对称。在以上说明的第2实施方式的机械手中，鉴于与第1实施方式的机械手1同样的理由，也能够提高振动衰减特性。特别是，采用第2实施方式的机械手，通过增加框架的减振层的数量，能够进一步提高振动衰减特性。以上的实施方式说明了本发明的机械手用框架和机械手的一实施方式。因而，本发明的机械手用框架和机械手并不限定于上述的实施方式。本发明的机械手用框架和机械手能够在不变更权利要求书所记载的各权利要求的主要内容的范围内任意地对上述实施方式进行变形。例如，上述各减振层（减振层13、24、25、56～59）也可以隔着预先粘贴于各减振层的树脂膜接合于各CFRP层（CFRP层11、12、21～23、51～55）。在这种情况下，只要由与构成各CFRP层的基体树脂相同的材料构成各树脂膜，就能够将各减振层和各CFRP层牢固地接合起来。另外，考虑到期望的框架20、50的刚性与振动衰减特性的平衡，框架20、50中的减振层的层数例如可以在1层～10层这样的范围内任意地变更。并且，叉子10并不一定具有减振层13。实施例接着，说明本发明的机械手的实施例。在本实施例中，如下所示，准备了实施例1～4、比较例1的各机械手，并对其振动衰减特性进行了评价。比较例1的机械手在叉子和框架不具有减振层这一点上与第1实施方式的机械手1不同。也就是说，比较例1的机械手具有4个如下述表1所示仅层叠多个碳纤维预浸料而构成的叉子，以及如下述表2所示仅层叠多个碳纤维预浸料而构成的框架。另外，在以下的表中，“角度”表示碳纤维相对于叉子、框架的长度方向的取向角度（取向方向）。例如“角度”为“0°／90°”是表示在该碳纤维预浸料中，将相对于叉子、框架的长度方向以0°的角度取向的碳纤维和相对于叉子、框架的长度方向以90°的角度取向的碳纤维平织起来的情况。表1表2实施例1的机械手在叉子不具有减振层这一点上与第1实施方式的机械手1不同（换言之，在实施例1的机械手中，仅框架具有减振层）。也就是说，实施例1的机械手具有4个如上述表1所示仅层叠多个碳纤维预浸料而构成的叉子，以及如下述表3所示层叠多个碳纤维预浸料和两层减振片（减振层）而构成的框架。另外，在此，作为减振片，采用SBR片（日本アスク工业株式会社制（商品名称：アスナーシート，厚度：0.15mm））。表3实施例2的机械手具有与第1实施方式的机械手1同样的结构（换言之，在实施例2的机械手中，叉子和框架均具有减振层）。也就是说，实施例2的机械手具有4个由如下述表4所示层叠多个碳纤维预浸料和减振片而得到的上下壁部和如上述表1所示仅层叠多个碳纤维预浸料而得到的一对侧壁部构成的叉子，以及如上述表3所示层叠多个碳纤维预浸料和两层减振片而构成的框架。表4实施例3的机械手在叉子不具有减振层这一点上与第2实施方式的机械手不同（换言之，在实施例3的机械手中，仅框架具有减振层）。即，实施例3的机械手具有4个如上述表1所示仅层叠多个碳纤维预浸料而构成的叉子，以及如下述表5所示层叠多个碳纤维预浸料和4层减振片而构成的框架。表5实施例4的机械手具有与第2实施方式的机械手1同样的结构（换言之，在实施例4的机械手中，叉子和框架均具有减振层）。也就是说，实施例4的机械手具有4个由如上述表4所示层叠多个碳纤维预浸料和减振片而得到的上下壁部和如上述表1所示仅层叠多个碳纤维预浸料而得到的一对侧壁部构成的叉子，以及如上述表5所示层叠多个碳纤维预浸料和4层减振片而构成的框架。另外，在实施例1～4的机械手的框架中，夹着减振片地接合于减振片的一对碳纤维预浸料例如以碳纤维的取向角度分别为45°和－45°的方式相对于框架的长度方向对称。另外，在以上的比较例1和实施例1～4中，按照各表所示的顺序（数字的降序）将碳纤维预浸料等卷绕于长方体状的芯材而层叠起来，并从碳纤维预浸料的外侧卷绕PP或PET等热收缩带，或者从碳纤维预浸料的外侧压入铝、铁等金属制的外模，在该状态下，通过将其放入到真空袋中，一边将碳纤维预浸料等固定，一边对其进行热固化，之后拔出芯材，从而得到厚度约5mm左右的矩形管状的框架。对于通过像以上那样准备好的比较例1和实施例1～4的各机械手，就其振动衰减特性进行了评价。这里的振动衰减特性的评价方法如下。即，如图7所示，首先，预先在中央两个叉子10上悬吊2.7kgf的重物60，通过切断其悬吊线61，对各机械手施加振动。在该状态下，利用激光位移计对各机械手的框架20两端的挠曲进行了测量。图8是表示比较例1的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图，图9是表示实施例1的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图，图10是表示实施例2的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图，图11是表示实施例3的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图，图12是表示实施例4的机械手的振动衰减特性的评价结果的坐标图。对图8所示的评价结果和图9所示的评价结果进行比较可知，与比较例1的机械手相比，实施例1的机械手的叉子前端的挠曲更迅速地衰减下去。即，采用在框架中设有两层减振片的实施例1的机械手，与在叉子和框架中未设置减振片的比较例1的机械手相比，提高了振动衰减特性。另外，对图9所示的评价结果和图10所示的评价结果进行比较可知，与实施例1的机械手相比，实施例2的机械手的叉子前端的挠曲更迅速地衰减下去。即，采用除了在框架中设有两层减振片之外还在叉子中设有减振片的实施例2的机械手，与仅在框架中设有两层减振片的实施例1的机械手相比，进一步提高了振动衰减特性。另外，对图8所示的评价结果和图11所示的评价结果进行比较可知，与比较例1的机械手相比，实施例3的机械手的叉子前端的挠曲更迅速地衰减下去。即，采用在框架中设有4层减振片的实施例3的机械手，与在叉子和框架中未设置减振片的比较例1的机械手相比，提高了振动衰减特性。特别是，对图9所示的评价结果和图11所示的评价结果进行比较可知，与实施例1的机械手相比，在实施例3的机械手中，提高了振动衰减特性。也就是说，通过使减振片从两层变成4层，进一步提高了振动衰减特性。并且，对图11所示的评价结果和图12所示的评价结果进行比较可知，与实施例3的机械手相比，实施例4的机械手的叉子前端的挠曲更迅速地衰减下去。即，采用除了在框架中设有4层减振片之外还在叉子中设有减振片的实施例4的机械手，与仅在框架中设有4层减振片的实施例3的机械手相比，进一步提高了振动衰减特性。鉴于以上的评价结果可知，在机械手中，通过在框架中设置减振层，能够改善振动衰减特性。另一方面可知，通过将框架的减振层从两层增加到4层，能够进一步改善振动衰减特性。