专利名称：一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置。
背景技术：
扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一。它的主要用途是对半导体进行掺杂，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。扩散炉的炉口如处于敞开状态，会使得腔内具有毒性的气体容易泄漏到外界环境中，也将导致炉内热量向外扩散，增加扩散炉的热量损失，从而导致额外增加扩散炉的加热功率,并且扩散热量会对室内环境产生热辐射。由于连续式扩散炉在工作过程中，送舟桨要不断地进出炉管，机械炉门就需频繁地开合，这样就会对炉管内温度场和流场造成严重干扰，影响均匀性。而且送舟桨停留在炉管中的时间远长于其完全在炉管外的时间，这样就导致一般的机械炉门处于闭合的时间很短，几乎起不到密封隔离作用，使大量反应气体和热量流失。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的是提供一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置。采用多层空气帘进行密封，隔离炉管内外界环境，使送舟桨即便停留在炉管中也能起到很好的密封效果，由于不存在机械炉门的不断开合，也不会对炉内气体和温度产生干扰。为了达到上述 目的，本发明采用以下技术方案:
一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置，包括气帘管，风箱，气帘形成导向壁和出风口 ；所述气帘管固定在所述风箱的顶部，气帘管上固定有进风口，所述气帘形成导向壁成漏斗形，所述出风口连接于气帘形成导向壁的下部。所述的气帘管下部开有0.2mm长的条缝形出风口。所述气帘管的个数至少为2个。所述气帘管上进风口的个数至少为2个。与现有技术相比，本发明具有如下突出的实质性特点和显著的进步:
本发明采用多层气帘进行密封，隔离炉管内外界环境，即使送舟桨停留在炉管中也能起到很好的密封效果，由于不存在机械炉门的不断开合，也不会对炉内气体和温度产生干扰，保证炉内反应气体的纯净度。气帘管设有0.2mm长的条缝形出风口，出风口设有漏斗状导向壁，可以缩小气帘出风口的宽度，达到气帘更强劲和扩散炉使用更节能的效果，并提高温控精度，使炉内温度均匀，保证气场均匀分布，从而极大提高扩散的质量。
图1是用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置示意图。图2是用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置气帘管局部放大图。
图3是用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置剖视图。图4是用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置气帘管的条缝形出风口示意图。图5是用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置气帘管示意图。
图6是用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置气帘管剖视图。
具体实施例方式参见图1-图6，一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置，固定于扩散炉5的出入口端，包括气帘管1，风箱2，气帘形成导向壁3和出风口 4;所述气帘管I固定在所述风箱2的顶部，气帘管I上固定有进风口 6，所述气帘形成导向壁3成漏斗形，所述出风口 4连接于气帘形成导向壁3的下部。所述的气帘管I下部开有0.2mm长的条缝形出风口 7。所述气帘管I的个数至少为2个。所述气帘管I上进风口 6的个数至少为2个。鼓风机鼓出的风通过进风口 6进入，由气帘管I中的0.2mm长条缝出风口 7射入风箱2，同时在出风口 4加载负压，在气帘形成导向壁3下形成多层气帘，将炉管与外界环境隔离密封。
权利要求
1.一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置，其特征在于，包括气帘管(1)，风箱(2)，气帘形成导向壁(3)和出风口(4);所述气帘管(I)固定在所述风箱(2)的顶部，气帘管(I)上固定有进风口(6)，所述气帘形成导向壁(3)成漏斗形，所述出风口(4)连接于气帘形成导向壁(3)的下部。
2.根据权利要求1所述的用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置，其特征在于，所述的气帘管(I)下部开有0.2mm长的条缝形出风口(7)。
3.根据权利要求1所述的用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置，其特征在于，所述气帘管(I)的个数至少为2个。
4.根据权利要求1所述的用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置，其特征在于，所述气帘管(I)上进风口 (6)的个数至少为2个。
全文摘要
本发明涉及一种用于连续式扩散炉的多层气帘隔离装置，包括气帘管，风箱，气帘形成导向壁和出风口；所述气帘管固定在所述风箱的顶部，气帘管上固定有进风口，所述气帘形成导向壁成漏斗形，所述出风口连接于气帘形成导向壁的下部。采用本装置可以形成多层气帘隔离屏，从而将连续通过式扩散炉管与外界常温常压环境隔离，防止炉管内具有毒性的气体外泄到车间环境影响操作工人身体健康。隔离屏将炉管内的热量外泄降至最小，使得炉管内持续保持高温。本发明实现节能环保的同时提高温控精度，使炉内温度、气场分布均匀，从而极大提高扩散的质量。
文档编号C30B31/16GK103147131SQ201310070088
公开日2013年6月12日 申请日期2013年3月6日 优先权日2013年3月6日
发明者陆利新, 张生才, 李桂琴, 陈荣莲 申请人:上海大学