一种激活多晶硅制绒药液的方法
【专利摘要】本发明公开了一种激活多晶硅制绒药液的方法，向新配置的制绒药液或停机再生产的药液中加入晶体硅粉或者碎硅片（破损的硅片），使得制绒药液快速的产生大量的活性物质，增加药液的活性，使得药液前期的硅片绒面形貌正常，减少不良品的产生。
【专利说明】一种激活多晶硅制绒药液的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种激活多晶硅制绒药液的方法，属于多晶硅太阳能电池领域。
【背景技术】 [0002]目前，制绒是制备具有减少反射功能的硅表面的方法，将晶体硅硅片表面织构化，利用表面的陷光作用促进太阳光的吸收，提高多晶太阳能电池的转换效率。多晶硅太阳能电池的制作过程中一般都采用酸腐蚀(HF+HN03)的方式制绒，然而HF和HN03的腐蚀体系在新配置时或放置一段时间的药液(产线交换班别中间需要停止生产)，由于药液中缺少中间产物(活性物质亚硝酸、氟硅酸等)，腐蚀硅片的速率很慢，使得前期生产的硅片绒面形貌异常(腐蚀坑洞偏小)，导致产生不良品(PECVD镀膜后显现外观不良)。
【发明内容】
[0003]本发明的目的提供一种激活多晶硅制绒药液的方法，向新配置的制绒药液或停机再生产的药液中加入晶体硅粉或者碎硅片(破损的硅片)，使得制绒药液快速的产生大量的活性物质，增加药液的活性，使得药液前期的硅片绒面形貌正常，减少不良品的产生。
[0004]一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置0_4h的制绒药液中加入晶体硅粉或者碎硅片，混合均匀，即得。
[0005]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入150-170L纯水、再加入50-60L的49%HF、再加入 240-260L 的 70%HN03。
[0006]其中晶体硅粉的纯度≥99.99%，每480L制绒药液的加入量为50_100g，和制绒药液混合5-10min。
[0007]其中碎硅片为晶体硅太阳能电池中生产过程中前三道(制绒工序、扩散工序、刻蚀工序)产生的破损硅片，每480L制绒药液的加入量为50-100g，和制绒药液混合10-20min。
[0008]本发明的优点:本发明通过快速激活新配置的制绒药液及放置一段时间的制绒药液，使得药液前期生产的硅片绒面形貌正常，减少不良品的产生。
【具体实施方式】
[0009]实施例1:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置Oh的制绒药液中加入晶体硅粉，混合均匀，即得。
[0010]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入150L纯水、再加入50L的49%HF、再加入 240L 的 70%HN03。
[0011]其中晶体硅粉的纯度≥99.99%，每480L制绒药液的加入量为50g，和制绒药液混合 5min。
[0012]实施例2:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置lh的制绒药液中加入晶体硅粉，混合均匀，即得。
[0013]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入155L纯水、再加入52L的49%HF、再加入 245L 的 70%HN03。
[0014]其中晶体硅粉的纯度≥99.99%，每480L制绒药液的加入量为60g，和制绒药液混合 6min。
[0015]实施例3:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置2h的制绒药液中加入晶体硅粉或者碎硅片，混合均匀，即得。
[0016]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入160L纯水、再加入54L的49%HF、再加入 250L 的 70%HN03。
[0017]其中晶体硅粉的纯度≥99.99%，每480L制绒药液的加入量为70g，和制绒药液混合 7min。
[0018]实施例4:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置3h的制绒药液中加入晶体硅粉或者碎硅片，混合均匀，即得。
[0019]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入165L纯水、再加入57L的49%HF、再加入 255L 的 70%HN03。
[0020]其中晶体硅粉的纯度≥99.99%，每480L制绒药液的加入量为80g，和制绒药液混合 8min。
[0021]实施例5:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置4h的制绒药液中加入晶体硅粉或者碎硅片，混合均匀，即得。
[0022]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入170L纯水、再加入60L的49%HF、再加入 260L 的 70%HN03。
[0023]其中晶体硅粉的纯度≥99.99%，每480L制绒药液的加入量为100g，和制绒药液混合 IOmin0
[0024]实施例6:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置Oh的制绒药液中加入碎硅片，混合均匀，即得。
[0025]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入150L纯水、再加入50L的49%HF、再加入 240L 的 70%HN03。
[0026]其中碎硅片为晶体硅太阳能电池中生产过程中前三道(制绒工序、扩散工序、刻蚀工序)产生的破损硅片，每480L制绒药液的加入量为50g，和制绒药液混合lOmin。
[0027]实施例7:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置Ih的制绒药液中加入碎硅片，混合均匀，即得。
[0028]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入158L纯水、再加入53L的49%HF、再加入 246L 的 70%HN03。
[0029]其中碎硅片为晶体硅太阳能电池中生产过程中前三道(制绒工序、扩散工序、刻蚀工序)产生的破损硅片，每480L制绒药液的加入量为58g，和制绒药液混合12min。
[0030]实施例8:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置2h的制绒药液中加入碎硅片，混合均匀，即得。
[0031]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入162L纯水、再加入55L的49%HF、再加入 252L 的 70%HN03。
[0032]其中碎硅片为晶体硅太阳能电池中生产过程中前三道(制绒工序、扩散工序、刻蚀工序)产生的破损硅片，每480L制绒药液的加入量为65g，和制绒药液混合15min。
[0033]实施例9:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置3h的制绒药液中加入碎硅片，混合均匀，即得。
[0034]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入166L纯水、再加入57L的49%HF、再加入 258L 的 70%HN03。
[0035]其中碎硅片为晶体硅太阳能电池中生产过程中前三道(制绒工序、扩散工序、刻蚀工序)产生的破损硅片，每480L制绒药液的加入量为75g，和制绒药液混合18min。
[0036]实施例10:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置4h的制绒药液中加入碎硅片，混合均匀，即得。
[0037]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入170L纯水、再加入60L的49%HF、再加入 260L 的 70%HN03。
[0038]其中碎硅片为晶体硅太阳能电池中生产过程中前三道(制绒工序、扩散工序、刻蚀工序)产生的破损硅片，每480L制绒药液的加入量为100g，和制绒药液混合20min。
[0039]实施例11:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置2h的制绒药液中加入晶体硅粉，混合均匀，即得。
[0040]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入160L纯水、再加入56L的49%HF、再加入 248L 的 70%HN03。
[0041]其中晶体硅粉的纯度≥99.99%，每480L制绒药液的加入量为40g，和制绒药液混合 12min。
[0042]实施例12:
一种激活多晶硅制绒药液的方法，向放置3h的制绒药液中加入碎硅片，混合均匀，即得。
[0043]其中制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入163L纯水、再加入58L的49%HF、再加入 258L 的 70%HN03。
[0044]其中碎硅片为晶体硅太阳能电池中生产过程中前三道(制绒工序、扩散工序、刻蚀工序)产生的破损硅片，每480L制绒药液的加入量为110g，和制绒药液混合23min。
[0045]各个实施例制备的硅片生产过程中不良品比例如下表所示:
【权利要求】
1.一种激活多晶硅制绒药液的方法，其特征为:向放置0-4h的制绒药液中加入晶体硅粉或者碎硅片，混合均匀，即得。
2.如权利要求1所述的一种激活多晶硅制绒药液的方法，其特征为:制绒药液的制备方法为:向槽体中先加入150-170L纯水、再加入50-60L的49%HF、再加入240-260L的70%HN03o
3.如权利要求1所述的一种激活多晶硅制绒药液的方法，其特征为:晶体硅粉的纯度≥99.99%，每480L制绒药液的加入量为50_100g，和制绒药液混合5_10min。
4.如权利要求1所述的一种激活多晶硅制绒药液的方法，其特征为:碎硅片在每480L制绒药液的加入量为50-100g，和制绒药液混合10-20min。
【文档编号】C30B33/10GK103643304SQ201310694057
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年12月18日 优先权日:2013年12月18日
【发明者】柳杉, 黄治国, 王鹏, 梅超, 殷建安, 包兵兵 申请人:上饶光电高科技有限公司