一种硅片退火的石英杯乘具的制作方法

文档序号:8085727阅读:226来源:国知局
一种硅片退火的石英杯乘具的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种硅片退火的石英杯乘具,所述石英杯乘具包括并排放置的四条长度相等的直角刚,所述的直角刚通过铁片焊接的方式固定在一起,直角刚的长度大于石英杯的长度,四条所述的直角刚在底面的边处于同一平面上,最外边两条直角刚的直角方向向内,里面的两条直角刚的直角方向都指向左侧,所述左侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度,所述右侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度。本实用新型可以一次对两个石英杯进行承载,不会轻易滑落和烫伤,解决石英杯取出不方便,耗时耗力的问题。
【专利说明】一种硅片退火的石英杯乘具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种单晶硅片加工领域,特别指一种硅片退火的石英杯乘具。
【背景技术】
[0002]现有单晶硅片一般使用石英杯盛装后进行退火,在退火后,在取出时由于单晶硅片和石英杯的温度过高,取出时容易烫到。石英杯横截面为半圆形易发生掉落,而造成石英杯和单晶硅片的损坏,同时每次取石英杯时只能取一个,耗时耗力。

【发明内容】

[0003]本实用新型要解决的技术问题,在于提供一种硅片退火的石英杯乘具,解决石英杯取出不方便,耗时耗力的问题。
[0004]本实用新型是这样实现的:
[0005]一种硅片退火的石英杯乘具,所述石英杯乘具包括并排放置的四条长度相等的直角刚,所述的直角刚通过铁片焊接的方式固定在一起,直角刚的长度大于石英杯的长度,四条所述的直角刚在底面的边处于同一平面上,最外边两条直角刚的直角方向向内,里面的两条直角刚的直角方向都指向左侧,所述左侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度,所述右侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度。
[0006]进一步地,所述石英杯乘具的前端具有通孔。
[0007]进一步地,所述石英杯乘具的后端上面设置有垂直于直角刚的阻挡件。
[0008]本实用新型的优点在于:可以方便地取出石英杯,避免烫伤。
【专利附图】

【附图说明】
[0009]下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]如图1所示,一种硅片退火的石英杯乘具,所述石英杯乘具包括并排放置的四条长度相等的直角刚1,直角刚I通过铁片焊接的方式固定在一起,直角刚I的长度大于石英杯的长度,四条直角刚I在底面的边处于同一平面上,最外边两条直角刚I的直角方向向内,里面的两条直角刚I的直角方向都指向左侧,左侧相邻直角刚I的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度,右侧相邻直角刚I的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度。由于左侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度,则石英杯可以正好地放置在左侧两个直角刚之间,同样道理,石英杯也可以正好地放置在右侧两个直角刚之间,本实用新型可一下承载两个石英杯。由于中间(即里面而非最外边)的两条直角刚的直角方向都指向一侧,则这两条直角刚垂直于底面的边具有一定间距,从而使得放置的两个石英杯不会互相拥挤、触碰。使用本实用新型时,可一次承载两个石英杯,并且不易滑落。而且直角刚退热快,不易烫伤。直角刚长度设置大于石英杯长度15cm-25cm为宜,可方便双手握持,又不至于过多占用地方。
[0012]为了方便本石英杯乘具从退火炉中拿出,本石英杯乘具的前端具有通孔2。当要从退火炉中取出本石英杯乘具,只需哪个铁钩勾住这个通孔即可,而后往外拉即可。通孔2的直径优选为IOmm或13mm,方便钢钻加工。
[0013]为了避免石英杯在本本石英杯乘具上滑动,石英杯乘具的后端上面设置有垂直于直角刚的阻挡件3。阻挡件3可以采用直角刚。
[0014]以上所述实施方式,只是本实用新型的较佳实施方式,并非来限制本实用新型实施范围,故凡依本实用新型申请专利范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰,均应包括本实用新型专利申请范围内。
【权利要求】
1.一种硅片退火的石英杯乘具,其特征在于:所述石英杯乘具包括并排放置的四条长度相等的直角刚,所述的直角刚通过铁片焊接的方式固定在一起,直角刚的长度大于石英杯的长度,四条所述的直角刚在底面的边处于同一平面上,最外边两条直角刚的直角方向向内,里面的两条直角刚的直角方向都指向左侧,所述左侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度,所述右侧相邻直角刚的垂直于底面的边的间距小于石英杯的宽度。
2.根据权利要求1所述的一种硅片退火的石英杯乘具,其特征在于:所述石英杯乘具的前端具有通孔。
3.根据权利要求1所述的一种硅片退火的石英杯乘具,其特征在于:所述石英杯乘具的后端上面设置有垂直于直角刚的阻挡件。
【文档编号】C30B33/02GK203653762SQ201320723215
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2013年11月13日 优先权日:2013年11月13日
【发明者】陈吉祥, 李竞宇, 张建国 申请人:龙岩市华德光电有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1