扩散炉用自动泄压瓶的制作方法

扩散炉用自动泄压瓶的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种扩散炉用自动泄压瓶，特别是一种扩散炉用POCl3自动泄压瓶，它包括顶部带有进气孔（6）和出气孔（7）的瓶体（1），在进气孔（6）上设有进气阀（5），位于进气阀（5）底部的进气管（9）通入瓶体（1）底部；在出气孔（7）上设有出气阀（3）；在瓶体顶部还设有泄压孔（8），泄压孔（8）上设有自动泄压阀（4），且自动泄压阀（4）的出气口与出气阀（3）的出气口相连通。该装置解决了已有的扩散炉用源瓶因压力过高引发爆炸，造成有毒杂质源泄漏的问题。
【专利说明】扩散炉用自动泄压瓶
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种扩散炉用自动泄压瓶。
【背景技术】
[0002]在晶体硅太阳能电池生产过程中的扩散工艺就是在P(N)型硅片衬底上扩散N(P)型杂质形成PN结。POCl3是目前磷扩散用得较多的一种杂质源。它是无色透明液体，具有刺激性气味；在潮湿空气中发烟；很容易发生水解；极易挥发。POCl3具腐蚀性，吸入会有致命的危险，烟雾会严重刺激。
[0003]现有的晶体硅太阳能电池生产过程中扩散炉用POCl3源瓶无任何保护错施，经常因出气口管道堵塞或更换源瓶时未打开出气口手动阀，造成POCI3S英源瓶因压力过大而爆裂漏液。
实用新型内容
[0004]为了解决上述问题，本实用新型提供了一种扩散炉用自动泄压瓶，特别是一种扩散炉用POCl3自动泄压瓶，解决了已有的扩散炉用源瓶已爆裂的问题，减少了安全隐患。
[0005]本实用新型的技术方案是:
[0006]扩散炉用自动泄压瓶，包括顶部带有进气孔和出气孔的瓶体，在进气孔上设有进气阀，位于进气阀底部的进气管通入瓶体底部；在出气孔上设有出气阀；其特征是，在瓶体顶部还设有泄压孔，泄压孔上设有自动泄压阀，且自动泄压阀的出气口与出气阀的出气口相连通。
[0007]所述自动泄压瓶优选是用于装POCl的自动泄压瓶。
[0008]所述进气阀、出气阀和自动泄压阀均优选是由聚四氟乙烯材料制作的阀。该材料耐腐蚀。
[0009]所述自动泄压阀是泄压压力优选为0.0MPa?0.0MPa的泄压阀。自动泄压阀的作用在于当石英源瓶内部压力超过设定压力时，泄压阀自动打开泄压，防止石英源瓶爆裂漏液。
[0010]所述进气孔的孔径优选小于出气孔和泄压孔的孔径。
[0011 ] 所述进气阀与出气阀阀体大小优选不一致，防止安装错误。
[0012]所述进气阀与出气阀优选为手动阀。
[0013]该扩散炉用自动泄压瓶，解决了已有的扩散炉用源瓶因压力过高引发爆炸，造成有毒物质泄漏的问题。当压力过大时，安装于源瓶泄压口的耐腐蚀泄压阀自动打开泄压，防止石英源瓶体爆裂漏液。
【专利附图】

【附图说明】
[0014]图1为扩散炉用自动泄压瓶结构示意图[0015]其中:I是瓶体，2是P0C13，3是出气阀，4是自动泄压阀，5是进气阀，6是进气孔，7是出气孔，8是泄压孔，9是进气管。
【具体实施方式】
[0016]为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合【专利附图】

【附图说明】本实用新型的实施方式，以用于装POCl3的自动泄压源瓶为例:
[0017]POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点。在扩散工艺过程中，有氧气的存在时，POCl3热分解的反应生成P2O5及Cl2。生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子。
[0018]如图1所示，扩散炉用自动泄压瓶，包括顶部带有进气孔6和出气孔7的瓶体I，在进气孔6上设有进气阀5，位于进气阀5底部的进气管9通入瓶体I底部；在出气孔7上设有出气阀3 ;其特征是，在瓶体顶部还设有泄压孔8，泄压孔8上设有自动泄压阀4，且自动泄压阀4的出气口与出气阀3的出气口相连通。
[0019]所述自动泄压瓶优选是用于装POCl3的自动泄压瓶。所述进气阀5、出气阀3和自动泄压阀4均优选是由聚四氟乙烯材料制作的阀。该材料耐腐蚀。所述自动泄压阀4是泄压压力优选为0.05MPa?0.08MPa的泄压阀。自动泄压阀的作用在于当石英源瓶内部压力超过设定压力时，泄压阀自动打开泄压，防止石英源瓶爆裂漏液。所述进气孔6的孔径优选小于出气孔7和泄压孔8的孔径。所述进气阀5与出气阀3阀体大小优选不一致，防止安装错误。所述进气阀5与出气阀3优选为手动阀。
[0020]该装置解决了已有的扩散炉用POCl3源瓶因压力过高引发爆炸，造成POCl3泄漏的问题。在扩散工艺过程中，因各种原因导致用于盛装POCl3的石英源瓶内部压力过高时，安装于源瓶泄压口的耐腐蚀泄压阀自动打开泄压，防止石英源瓶爆裂漏液。
[0021]以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
【权利要求】
1.扩散炉用自动泄压瓶，包括顶部带有进气孔(6)和出气孔(7)的瓶体(1)，在进气孔(6)上设有进气阀(5)，位于进气阀(5)底部的进气管(9)通入瓶体(I)底部；在出气孔(7)上设有出气阀(3 );其特征是，在瓶体顶部还设有泄压孔(8 )，泄压孔(8 )上设有自动泄压阀(4)，且自动泄压阀(4)的出气口与出气阀(3)的出气口相连通。
2.根据权利要求1所述扩散炉用自动泄压瓶，其特征是，所述自动泄压瓶是用于装POCl3的自动泄压瓶。
3.根据权利要求1或2所述扩散炉用自动泄压瓶，其特征是，所述进气阀(5)、出气阀(3)和自动泄压阀(4)均是由聚四氟乙烯材料制作的阀。
4.根据权利要求1或2所述扩散炉用自动泄压瓶，其特征是，所述自动泄压阀(4)是泄压压力为0.05MPa?0.08MPa的泄压阀。
5.根据权利要求1或2所述扩散炉用自动泄压瓶，其特征是，所述进气孔(6)的孔径小于出气孔(7)和泄压孔(8)的孔径。
6.根据权利要求1或2所述扩散炉用自动泄压瓶，其特征是，所述进气阀(5)与出气阀(3)阀体大小不一致。
【文档编号】C30B31/06GK203602754SQ201320747060
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年11月25日 优先权日:2013年11月25日
【发明者】成秋云, 吴得轶 申请人:湖南红太阳光电科技有限公司