多晶铸锭晶体冷却工艺的制作方法

文档序号:8092808阅读:241来源:国知局
多晶铸锭晶体冷却工艺的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种多晶铸锭晶体冷却工艺,晶锭出炉体后的炉体外冷却中,采用保温笼罩罩住晶锭,从而降低晶锭在炉体外的冷却速度。本发明能够降低晶锭在炉体外的冷却速度,随之降低出现晶锭内部的热应力与隐裂缺陷现象的几率,最终降低切片环节中隐裂片的比例。
【专利说明】多晶铸锭晶体冷却工艺
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种多晶铸锭晶体冷却工艺,多晶铸锭【技术领域】。
【背景技术】
[0002]目前,晶锭出炉后,在车间环境中自然冷却,不做任何保温措施,晶锭在炉体外的冷却速度过快,经常出现晶锭内部的热应力与隐裂缺陷的现象。

【发明内容】

[0003]本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种多晶铸锭晶体冷却工艺,它能够降低晶锭在炉体外的冷却速度,随之降低出现晶锭内部的热应力与隐裂缺陷现象的几率,最终降低切片环节中隐裂片的比例。
[0004]为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是:一种多晶铸锭晶体冷却工艺,晶锭出炉体后的炉体外冷却中,采用保温笼罩罩住晶锭,从而降低晶锭在炉体外的冷却速度。
[0005]进一步为了降低晶锭在炉体中的运行周期而提高晶锭的产出,在晶锭出炉体前,提高晶锭的出炉温度,从而降低晶锭在炉体中的冷却时间。
[0006]进一步限定了最优的出炉温度使得晶锭的产出最多,所述的晶锭的出炉温度为400。C。
[0007]更进一步提供了一种保温笼罩的结构,所述的保温笼罩由框架和石墨保温层组成,石墨保温层设置在框架的内侧壁上。
[0008]采用了上述技术方案后,晶锭出炉体后的炉体外冷却中,使用设计的保温笼罩住晶锭,显著地降低晶锭在炉体外的冷却速度,随之降低出现晶锭内部的热应力与隐裂的现象的几率,最终降低切片环节中隐裂片的比例,可以使得硅片隐裂片比例下降0.2~0.3%;同时可以提高晶锭出炉温度,降低晶锭在炉体中的冷却时间,进而降低晶锭在炉体中的运行周期而提高晶锭产出,当晶锭的出炉温度为400°C的时候,可以使得在炉体中的周期降低
1.2小时,最终晶锭的产出提升1.5%。
【具体实施方式】
[0009]为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例,对本发明作进一步详细的说明。
[0010]一种多晶铸锭晶体冷却工艺,晶锭出炉体后的炉体外冷却中,采用保温笼罩罩住晶锭,从而降低晶锭在炉体外的冷却速度。
[0011]为了降低晶锭在炉体中的运行周期而提高晶锭的产出,在晶锭出炉体前,提高晶锭的出炉温度,从而降低晶锭在炉体中的冷却时间。
[0012]为了使得晶锭的产出最多,所述的晶锭的出炉温度优选为400°C,从原来的350°C提高到400°C。
[0013]所述的保温笼罩由框架和石墨保温层组成,石墨保温层设置在框架的内侧壁上。[0014]本发明的工作原理如下:
晶锭出炉体后的炉体外冷却中,使用设计的保温笼罩住晶锭,显著地降低晶锭在炉体外的冷却速度,随之降低出现晶锭内部的热应力与隐裂的现象的几率,最终降低切片环节中隐裂片的比例,可以使得硅片隐裂片比例下降0.2~0.3% ;同时可以提高晶锭出炉温度,降低晶锭在炉体中的冷却时间,进而降低晶锭在炉体中的运行周期而提高晶锭产出,当晶锭的出炉温度为400°C的时候,可以使得在炉体中的周期降低1.2小时,最终晶锭的产出提升1.5%。
[0015]以上所述的具体实施例,对本发明解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理 解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种多晶铸锭晶体冷却工艺,其特征在于:晶锭出炉体后的炉体外冷却中,采用保温笼罩罩住晶锭,从而降低晶锭在炉体外的冷却速度。
2.根据权利要求1所述的多晶铸锭晶体冷却工艺,其特征在于:在晶锭出炉体前,提高晶锭的出炉温度,从而降低晶锭在炉体中的冷却时间。
3.根据权利要求2所述的多晶铸锭晶体冷却工艺,其特征在于:所述的晶锭的出炉温度为400°C。
4.根据权利要求1或2或3所述的多晶铸锭晶体冷却工艺,其特征在于:所述的保温笼罩由框架和石墨保温层组成,石墨保温层设置在框架的内侧壁上。
【文档编号】C30B29/06GK103924296SQ201410175059
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年4月29日 优先权日:2014年4月29日
【发明者】周基江 申请人:常州天合光能有限公司
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