一种多晶炉测晶装置制造方法

文档序号:8102835阅读:257来源:国知局
一种多晶炉测晶装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种多晶炉测晶装置,包括大法兰、安装板、电机、减速机和直线单元以及安装在直线单元上并通过电机驱动的提升座,提升座上设有石英管,石英管的开口端穿出大法兰,石英管内设有石墨棒,提升座上设有磁铁和与磁铁相连接的限位开关,磁铁贴近石英管侧壁上,所述的磁铁带动石墨棒在石英管内上下移动。所述的一种多晶炉测晶装置,采用此种设计的测晶装置,能够自动测量晶体位置,记录下每次测量的位置供工艺人员参考调整相关参数,可以很方便的测量出晶体的位置,节省了大量的人力,而且石墨棒可以反复使用,也节省了大量的资源。
【专利说明】—种多晶炉测晶装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶硅铸锭炉提炼装置领域,尤其是一种多晶炉测晶装置。
【背景技术】
[0002]随着光伏产业的发展,多晶硅铸锭炉由于自身的自动化优势,目前已经成为整个光伏产业链中的关键设备,相关的工艺都已经相当的成熟。但是在其全自动的长晶过程中,始终有一点没有能够完善的解决,那就是测量固定晶体位置的装置。
[0003]目前市面上的多晶硅铸锭炉测量晶体位置的办法都是人工用石英棒探测固定的位置,然后记录下相应的位置,通过每小时一次的测量就可以得出晶体的生长速度,最后微调相应参数就可以完成对设备的调试。这种方法虽然比较麻烦,在操作过程中稍不注意就会导致石英棒断裂或者沾在硅晶体中拔不出来,出现事故,因此对于操作工有比较高的要求;但是这种调节只是在前期设备安装或者更换热场的时候才会有,频率很低,所以对于一般生产厂家而言并不在乎这种麻烦。
[0004]随着光伏技术的进步,目如很多生广厂家开始闻效多晶,这种多晶的转换效率将比普通多晶高出0.3%-0.4%,生产这种多晶将会大大提升的企业的竞争力,因此这种技术将会很快取代原来的生产普通多晶的技术成为市场主流。这种技术是使用硅片铺在坩埚底部,然后在融化过程中通过测量在最底部的硅片还没有全部融化时但又所剩很少时就开始转到长晶过程。但是这种技术因为一些特殊原因的限制,并不能很好的做到传承性,需要经常调整参数,这样一来以前那种不在乎的问题就变得比较严重了。

【发明内容】

[0005]本实用新型要解决的技术问题是:为了克服上述中存在的问题,提供了一种多晶炉测晶装置,其设计结构合理并且能够实现自动测量晶体位置的目的。
[0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种多晶炉测晶装置,包括用于安装在测量部位上的大法兰、设在大法兰上的安装板、设在安装板端部的电机、连接在电机输出轴上的减速机和连接在减速机输出端上的直线单元以及安装在直线单元上并通过电机驱动的提升座,所述的提升座上设有石英管,石英管的开口端穿出大法兰,石英管内设有石墨棒,提升座上设有磁铁和与磁铁相连接的限位开关,磁铁贴近石英管侧壁上,所述的磁铁带动石墨棒在石英管内上下移动。
[0007]为了能够实现两者之间的密封,所述的石英管与直线单元连接处设有密封装置。
[0008]本实用新型的有益效果是:所述的一种多晶炉测晶装置,采用此种设计的测晶装置,能够自动测量晶体位置,记录下每次测量的位置供工艺人员参考调整相关参数,可以很方便的测量出晶体的位置,节省了大量的人力,而且石墨棒可以反复使用,也节省了大量的资源。
【专利附图】

【附图说明】[0009]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0010]图1是本实用新型所述的一种多晶炉测晶装置的整体结构示意图。
[0011]附图中标记分述如下:1、大法兰,2、安装板,3、电机,4、减速机,5、直线单元,6、提升座,7、石英管,8、限位开关,9、石墨棒,10、磁铁,11、密封装置。
【具体实施方式】
[0012]现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
[0013]如图1所示的一种多晶炉测晶装置,包括用于安装在测量部位上的大法兰1、设在大法兰I上的安装板2、设在安装板2端部的电机3、连接在电机3输出轴上的减速机4和连接在减速机4输出端上的直线单元5以及安装在直线单元5上并通过电机3驱动的提升座6,石英管7与直线单元5连接处设有密封装置11,提升座6上垂直设有石英管7,石英管7的开口端穿出大法兰1,石英管7内轴向设有石墨棒9,提升座6上设有磁铁10和与磁铁10相连接的限位开关8,磁铁10贴近石英管7侧壁上,磁铁10带动石墨棒9在石英管7内上下移动,限位开关8控制磁铁10的运动。
[0014]本实用新型的一种多晶炉测晶装置,自动测晶装置通过直线单元5来实现机构的升降,当安装在直线单元5上的提升座下降时,放置在提升座6上的磁铁10会在重力的作用下带着石墨棒9向下运动,直到石墨棒9碰到固体,而此时磁铁10就会停下来与提升座6分离,提升座6继续向下运动,则此时限位开关8就会提示两者已经分离,然后电机3反转带动提升座6与磁铁10向上运动,石墨棒9与硅液分离,编码器自动记录此时的位置,当测量的晶体达到要求的高度时,工艺人员就可以操作程序跳到下一步长晶程序,通过这种装置,可以很方便的测量出晶体的位置,节省了大量的人力,而且石墨棒9可以反复使用,也节省了大量的资源。
[0015]以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
【权利要求】
1.一种多晶炉测晶装置,其特征是:包括用于安装在测量部位上的大法兰(I)、设在大法兰(I)上的安装板(2 )、设在安装板(2 )端部的电机(3 )、连接在电机(3 )输出轴上的减速机(4)和连接在减速机(4)输出端上的直线单元(5)以及安装在直线单元(5)上并通过电机(3)驱动的提升座(6),所述的提升座(6)上设有石英管(7),石英管(7)的开口端穿出大法兰(I),石英管(7 )内设有石墨棒(9 ),提升座(6 )上设有磁铁(10 )和与磁铁(10 )相连接的限位开关(8 ),磁铁(10 )贴近石英管(7 )侧壁上,所述的磁铁(10 )带动石墨棒(9 )在石英管(7)内上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种多晶炉测晶装置,其特征是:所述的石英管(7)与直线单元(5 )连接处设有密封装置(11)。
【文档编号】C30B35/00GK203728966SQ201420104952
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年3月7日 优先权日:2014年3月7日
【发明者】史俊杰 申请人:江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
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