一种光分路器晶圆贴片系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光通信产品领域，尤其涉及到一种光分路器晶圆贴片系统。
【背景技术】
[0002]随着光纤通信技术的发展，光纤到户(FTTH)得到了较大规模的商用并呈现出良好的发展势头，其显著特点是其采用无源光网络链路，提供更大的带宽，节省线路资源，增强线路的可靠性，同时对环境和供电要求降低，在FTTH网络中，光分路器是其中的核心器件，特别适用于无源光网络(EP0N、BP0N、GP0N等)中连接局端和终端设备，实现光功率的分配。
[0003]光分路器芯片是光通信、光传感、三网融合、物联网等技术中的光分路器的核心器件。光分路器芯片由光分路器晶圆与盖板通过UV胶水粘接形成，胶水层的厚度与贴片质量直接影响光分路器芯片的的可靠性。传统的光分路器晶圆与盖板的粘接只能依靠人工手动完成，人工效率低下，贴合精度低，严重影响生产效率和光分路器芯片的可靠性。
[0004]通过专利检索，存在以下已知的现有技术方案:
[0005]专利1:
[0006]申请号:201220269074.1，申请日:2012.06.08，授权公告日:2013.01.09，该实用新型提供了一种晶圆贴片机，包括晶圆存放机构、晶圆转移机构、晶圆贴片机构和晶圆传送机构，所述晶圆存放机构包括一晶圆盒，所述晶圆转移机构包括一金属提篮，所述晶圆贴片机构包括机台、设置在所述机台上的铁圈传送装置、铁圈和贴膜滚轮，在所述金属提篮的上方设置有离子枪。本实用新型的有益效果主要是避免晶圆离开晶圆盒上升瞬间和揭开晶圆正面的保护膜瞬间产生的静电击穿晶圆芯片电路造成晶圆报废的风险发生。
[0007]通过以上的检索发现，以上技术方案不能影响本发明的新颖性和创造性。
【发明内容】
[0008]本发明的目的是针对以上问题，提供一种光分路器晶圆贴片系统，它能大大提高晶圆的贴片效率与质量，保证光分路器芯片的可靠性。
[0009]为实现以上目的，本发明采用的技术方案是:一种光分路器晶圆贴片系统，它包括垂直设置在底座(I)侧边的L型支架(10)，所述底座(I)上面设置有下真空吸座(2);所述下真空吸座(2)上面设置有上真空吸座(3);所述上真空吸座(3)上面中心设置有压板(11);所述L型支架(10)上螺纹连接垂直设置有压杆(8)位于上真空吸座(3)中心;所述压杆(8)顶端设置有旋钮(9)，下端设置有压头(5)顶住压板(11);所述下真空吸座(2)上面设置有晶圆贴合台(27)，所述晶圆贴合台(27)中心设置有圆弧吸气凹槽(22)，所述圆弧吸气凹槽(22)中心设置有吸气孔(23)连通设置在下真空吸座(2)内部的抽气管道(13);所述晶圆贴合台
(27)上以吸气孔(23)为圆心均匀设置有环形导气槽(28)，所述晶圆贴合台(27)上以吸气孔
(23)为中心呈辐射状均匀设置有直条导气槽(21)与圆弧吸气凹槽(22)连通;所述下真空吸座(2)上的环形导气槽(28)与直条导气槽(21)相互连通;所述上真空吸座(3)下面设置有盖板贴合台(20)，所述盖板贴合台(20)中心设置有圆弧吸气凹槽(22)，所述圆弧吸气凹槽(22)中心设置有吸气孔(23)连通设置在上真空吸座(3)内部的抽气管道(13);所述盖板贴合台(20)上以吸气孔(23)为中心呈辐射状均匀设置有直条导气槽(21)与圆弧吸气凹槽
(22)连通;所述抽气管道(13)均通过抽气接头(14)连接真空栗。
[0010]进一步的，所述上真空吸座(3)四角均设置有千分尺(29)，所述千分尺(29)通过高度调节孔(30)支撑在下真空吸座(2)上。
[0011]进一步的，所述盖板贴合台(20)上以吸气孔(23)为中心呈辐射状均匀设置有镂空(19)。
[0012]进一步的，所述下真空吸座(2)上面四角均设置有凸台(24)，所述凸台(24)上设置有定位销(26);所述上真空吸座(3)下面四角均设置有凸台(24)，所述凸台(24)上设置有与定位销(26)配合的定位孔(25)。
[0013]进一步的，所述压头(5)为半球形状，所述压板(11)上面中心设置有与压头(5)相配合的圆弧凹槽(12)。
[0014]进一步的，所述压杆(8)下端设置有两块压块(6);所述压块(6)之间设置有压缩弹簧(7);所述压头(5)设置在下端压块(6)底部中心。
[0015]进一步的，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)侧边均设置有顶起装置(18);所述顶起装置(18)包括顶起旋钮(181)，所述顶起旋钮(181)连接旋转轴(183)，所述旋转轴(183)上设置有固定块(182)，末端设置有顶起块(184);所述顶起块(184)上设置有顶起凸台(185)。
[0016]进一步的，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)侧边均设置有不少于两个的顶起装置(18)。
[0017]进一步的，所述盖板贴合台(20)高于上真空吸座(3)下表面;所述晶圆贴合台(20)高于下真空吸座(2)上表面。
[0018]进一步的，所述上真空吸座(3)上面四周均匀设置有提手杆(4)。
[0019]本发明的有益效果:
[0020]1、本发明可实现光分路器芯片中晶圆与盖板之间胶层厚度的自由调节控制，保证晶圆与盖板的尚精度对接，大大提尚光分路器芯片的稳定可靠性和精度。
[0021]2、本发明中通过上真空吸座吸住盖板，通过下真空吸座吸住晶圆，通过上真空吸座四角的千分尺实现盖板与晶圆厚度的高精度调节，提高光分路器芯片的精度控制。
[0022]3、本发明中上真空吸座底面上设置了圆弧真空吸槽与直条导气槽，能保证盖板的吸住稳定性和水平性；下真空吸座底面上设置有圆弧真空吸槽与直条导气槽和环形导气槽，能保证晶圆的摆放平整性和稳定性，提高晶圆与盖板重叠精度，并能实现晶圆与盖板之间胶水厚度调节。
[0023]4、本发明中上真空吸座上的镂空能保证晶圆与盖板之间的UV胶水可接触足够紫外光照面积，保证UV胶的迅速凝固。
【附图说明】
[0024]图1为本发明侧面示意图。
[0025]图2为本发明主剖视示意图。
[0026]图3为本发明中上真空吸座仰视示意图。
[0027]图4为本发明中上真空吸座俯视示意图。
[0028]图5为本发明中下真空吸座俯视示意图。
[0029]图6为本发明中顶起装置结构示意图。
[0030]图7为本发明中顶起块结构示意图。
[0031]图中所示数字标注表示为:1、底座，2、下真空吸座，3、上真空吸座，4、提手杆，5、压头，6、压块，7、压缩弹簧，8、压杆，9、旋钮，10、L型支架，11、压板，12、凹槽，13、抽气管道，14、抽气接头，15、晶圆，16、玻璃盖板，17、UV胶，18、顶起装置，19、镂空槽，20、盖板贴合台，21、直条导气槽，22、圆弧吸气凹槽，23、吸气孔，24、凸台，25、定位孔，26、定位销，27、晶圆贴合台，28、环形导气槽，29、千分尺，30、高度调节孔，181、顶起旋钮，182、固定块，183、旋转轴，184、顶起块，185、顶起凸台。
【具体实施方式】
[0032]为了使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本发明的保护范围有任何的限制作用。
[0033]如图1-图7所示，本发明的具体结构为:一种光分路器晶圆贴片系统，它包括垂直设置在底座I侧边的L型支架10，所述底座I上面设置有下真空吸座2;所述下真空吸座2上面设置有上真空吸座3;所述上真空吸座3上面中心设置有压板11;所述L型支架10上螺纹连接垂直设置有压杆8位于上真空吸座3中心;所述压杆8顶端设置有旋钮9，下端设置有压头5顶住压板11;所述下真空吸座2上面设置有晶圆贴合台27，所述晶圆贴合台27中心设置有圆弧吸气凹槽22，所述圆弧吸气凹槽22中心设置有吸气孔23连通设置在下真空吸座2内部的抽气管道13;所述晶圆贴合台27上以吸气孔23为圆心均匀设置有环形导气槽28，所述晶圆贴合台27上以吸气孔23为中心呈辐射状均匀设置有直条导气槽21与圆弧吸气凹槽22连通;所述下真空吸座2上的环形导气槽28与直条导气槽21相互连通;所述上真空吸座3下面设置有盖板贴合台20，所述盖板贴合台20中心设置有圆弧吸气凹槽22，所述圆弧吸气凹槽22中心设置有吸气孔23连通设置在上真空吸座3内部的抽气管道13;所述盖板贴合台20上以吸气孔23为中心呈辐射状均匀设置有直条导气槽21与圆弧吸气凹槽22连通;所述抽气管道13均通过抽气接头14与真空栗连接。
[0034]优选的，所述上真空吸座3四角均设置有千分尺29，所述千分尺29通过高度调节孔30支撑在下真空吸座2上。
[0035]优选的，所述盖板贴合台20上以吸气孔23为中心呈辐射状均匀设置有镂空19。
[0036]优选的，所述下真空吸座2上面四角均设置有凸台24，所述凸台24上设置有定位销26;所述上真空吸座3下面四角均设置有凸台24，所述凸台24上设置有与定位销26配合的定位孔25。
[0037]优选的，所述压头5为半球形状，所述压板11上面中心设置有与压头5相配合的圆弧凹槽12。
[0038]优选的，所述压杆8下端设置有两块压块6;所述压块6之间设置有压缩弹簧7;所述压头5设置在下端压块6底部中心。
[0039]优选的，所述下真空吸座2和上真空吸座3侧边均设置有顶起装置18;所述顶起装置18包括顶起旋钮181，所述顶起旋钮181连接旋转轴183，所述旋转轴183上设置有固定块182，末端设置有顶起块184;所述顶起块184上设置有顶起凸台185。
[0040]优选的，所述下真空吸座2和上真空吸座3侧边均设置有不少于两个的顶起装置18。
[0041]优选的，所述盖板贴合台20高于上真空吸座3下表面;所述晶圆贴合台20高于下真空吸座2上表面。
[0042]优选的，所述上真空吸座3上面四周均匀设置有提手杆4。
[0043]本发明具体使用时，按照如下步骤进行:
[0044]步骤一、用镊子将干净的晶圆15放置在晶圆贴合台27上，放好后开启下真空吸座2的真空栗将晶圆15吸住。
[0045 ] 步骤二、在晶圆15中心滴好UV胶17。
[0046]步骤三、用镊子夹住玻璃盖板16，并在玻璃盖板16底面滴上一滴UV胶17。
[0047]步骤四、通过高度调节架将玻璃盖板16放置在晶圆上面，保证重叠度。
[0048]步骤五、盖上上真空吸座2，调整好位置后，开启上真空吸座2的真空栗将玻璃盖板16吸住。
[0049]步骤六、通过上真空吸座2上的千分尺调节玻璃盖板16与晶圆15之间的高度差和水平度，通过压杆8保证晶圆15与玻璃盖板16的贴合紧密度。
[0050]步骤七、利用UV灯通过镂空19对晶圆15和玻璃盖板16进行光照，使得UV胶17固化。
[0051]步骤八、停止真空栗，通过旋转顶起装置18的顶起旋钮181使得顶起凸台185将玻璃盖板16和晶圆15分别脱离上真空吸座和下真空吸座，方便取下。
[0052]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0053]本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合;这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，它包括垂直设置在底座(I)侧边的L型支架(10)，所述底座(I)上面设置有下真空吸座(2);所述下真空吸座(2)上面设置有上真空吸座(3);所述上真空吸座(3)上面中心设置有压板(11);所述L型支架(10)上螺纹连接垂直设置有压杆(8)位于上真空吸座(3)中心;所述压杆(8)顶端设置有旋钮(9)，下端设置有压头(5)顶住压板(11);所述下真空吸座(2)上面设置有晶圆贴合台(27)，所述晶圆贴合台(27)中心设置有圆弧吸气凹槽(22)，所述圆弧吸气凹槽(22)中心设置有吸气孔(23)连通设置在下真空吸座(2)内部的抽气管道(13);所述晶圆贴合台(27)上以吸气孔(23)为圆心均匀设置有环形导气槽(28)，所述晶圆贴合台(27)上以吸气孔(23)为中心呈辐射状均匀设置有直条导气槽(21)与圆弧吸气凹槽(22)连通;所述下真空吸座(2)上的环形导气槽(28)与直条导气槽(21)相互连通;所述上真空吸座(3)下面设置有盖板贴合台(20)，所述盖板贴合台(20)中心设置有圆弧吸气凹槽(22)，所述圆弧吸气凹槽(22)中心设置有吸气孔(23)连通设置在上真空吸座(3)内部的抽气管道(13);所述盖板贴合台(20)上以吸气孔(23)为中心呈辐射状均匀设置有直条导气槽(21)与圆弧吸气凹槽(22)连通;所述抽气管道(13)均通过抽气接头(14)连接真空栗。2.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述上真空吸座(3)四角均设置有千分尺(29)，所述千分尺(29)通过高度调节孔(30)支撑在下真空吸座(2)上。3.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述盖板贴合台(20)上以吸气孔(23)为中心呈辐射状均匀设置有镂空(19)。4.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述下真空吸座(2)上面四角均设置有凸台(24)，所述凸台(24)上设置有定位销(26);所述上真空吸座(3)下面四角均设置有凸台(24)，所述凸台(24)上设置有与定位销(26)配合的定位孔(25)。5.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述压头(5)为半球形状，所述压板(11)上面中心设置有与压头(5)相配合的圆弧凹槽(12)。6.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述压杆(8)下端设置有两块压块(6);所述压块(6)之间设置有压缩弹簧(7);所述压头(5)设置在下端压块(6)底部中心。7.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)侧边均设置有顶起装置(18);所述顶起装置(18)包括顶起旋钮(181)，所述顶起旋钮(181)连接旋转轴(183)，所述旋转轴(183)上设置有固定块(182)，末端设置有顶起块(184);所述顶起块(184)上设置有顶起凸台(185)。8.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述下真空吸座(2)和上真空吸座(3)侧边均设置有不少于两个的顶起装置(18)。9.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述盖板贴合台(20)高于上真空吸座(3)下表面;所述晶圆贴合台(20)高于下真空吸座(2)上表面。10.如权利要求1所述的一种光分路器晶圆贴片系统，其特征在于，所述上真空吸座(3)上面四周均匀设置有提手杆(4)。
【专利摘要】本发明公布了一种光分路器晶圆贴片系统，L型支架上设有压杆；压杆下端设有压头顶住压板；下真空吸座上设有晶圆贴合台，晶圆贴合台中心设有圆弧吸气凹槽，圆弧吸气凹槽中心设有吸气孔连通抽气管道；晶圆贴合台上以吸气孔为圆心均匀设有环形导气槽，晶圆贴合台上以吸气孔为中心呈辐射状设有直条导气槽；下真空吸座上的环形导气槽与直条导气槽相互连通；上真空吸座下面设有盖板贴合台，盖板贴合台中心设有圆弧吸气凹槽，圆弧吸气凹槽中心设有吸气孔连通抽气管道；盖板贴合台上以吸气孔为中心呈辐射状均匀设有直条导气槽与圆弧吸气凹槽连通；抽气管道均连接真空泵。它能大大提高晶圆的贴片效率与质量，保证光分路器芯片的可靠性。
【IPC分类】B32B37/12, B32B37/10, B32B37/00
【公开号】CN105711224
【申请号】CN201610177889
【发明人】陈波, 李顺成, 唐淋, 余朝晃
【申请人】湖南新中合光电科技股份有限公司