用于引发组件的两个片材之间脱粘结的方法和设备与流程

背景技术：

相关申请的交叉参考

本申请根据35u.s.c.§119，要求2015年03月04日提交的美国临时申请系列第62/128396号的优先权，本文以该申请为基础并将其全文通过引用结合于此。

发明领域

本发明涉及用于引发片组件的两块片材之间脱粘结(即，分离)的方法和设备，具体地，涉及用于引发薄片与载体之间的脱粘结的方法和设备。

技术背景

为了在设计用于较厚玻璃(大于或等于约400微米)的现有消费者电子加工中对超薄玻璃(即，厚度小于或等于300微米的玻璃)进行加工，使用载体来支撑超薄玻璃。用临时粘结剂使得载体与超薄玻璃粘结，从而在电子器件结构的加工过程中，超薄玻璃和载体保持相互粘结，但是允许在加工完成使得超薄玻璃与载体相互分离。为了从超薄玻璃剥离载体，在它们之间引发分离。引发分离的一种现有方法是在载体和超薄玻璃之间强制插入薄刀片(例如，剃刀片)。但是，由于刀片的直接作用以及在引发过程期间产生的玻璃碎片的进一步损坏形式，这种引发分离的方法会导致载体和/或超薄玻璃的破损。

技术实现要素：

根据本公开，描述了能够在组件的两个片材(例如，超薄玻璃和载体)之间引发分离而不损坏片材的方法和设备。根据一个方面，通过在一个片材的边缘施加提升作用力来引发分离，其中，提升作用力在垂直于片材的主表面且远离组件的方向具有分量。

在以下的详细描述中给出了本发明的附加特征和优点，其中的部分特征和优点对本领域的技术人员而言由所述内容而容易理解，或按文字描述和附图实施各个方面而被认识。应理解，前面的一般性描述和以下的详细描述都只是各个方面的示例，用来提供理解要求保护的本发明的性质和特性的总体评述或框架。

所含附图用于进一步理解本发明的原理，附图被结合在本说明书中并构成说明书的一部分。附图图示说明了一个或多个实施方式，并与说明书一起用来说明例如本发明的原理和操作。

附图说明

图1是片组件的侧视示意图。

图1a是根据一个实施方式的片材的侧视示意图。

图1b是根据另一个实施方式的片材的侧视示意图。

图2是根据一个实施方式的啮合元件的平面示意图，其中，片组件显示为剖面图。

图2a是根据另一个实施方式的啮合元件的平面示意图，其中，片组件显示为剖面图。

图2b是根据另一个实施方式的啮合元件的平面示意图。

图3是根据图2的啮合元件在引发脱粘结过程中的侧视示意图。

图4是在引发了脱粘结之后的啮合元件和片组件的平面示意图。

具体实施方式

在以下的详述中，为了说明而非限制，给出了说明具体细节的示例性实施方式，以提供对本发明的各个原理的充分理解。但是，对于本领域普通技术人员显而易见的是，在从本说明书获益后，可以以不同于本文详述的其它实施方式实施本发明。此外，可能省略了对于众所周知的器件、方法和材料的描述，以免混淆本发明的各个原理的描述。最后，在任何适用的情况下，相同的附图标记表示相同的元件。

本文中，范围可以表示为从“约”一个具体值和/或到“约”另一个具体值的范围。当表示这样一个范围的时候，另一个实施方式包括从一个特定值和/或到另一个特定值。类似地，当使用前缀“约”表示数值为近似值时，应理解，具体数值形成另一个实施方式。还应理解的是，每个范围的端点值在与另一个端点值有关和与另一个端点值无关时，都是有意义的。

本文所用的方向术语，例如上、下、左、右、前、后、顶、底，仅仅是参照绘制的附图而言，并不用来表示绝对的取向。

除非另有表述，否则都不旨在将本文所述的任意方法理解为需要使其步骤以具体顺序进行。因此，当方法权利要求实际上没有陈述为其步骤遵循一定的顺序或者其没有在权利要求书或说明书中以任意其他方式具体表示步骤限于具体的顺序，都不旨在暗示该任意特定顺序。这样同样适用于任何可能的未明确表述的解释依据，包括：关于设置步骤或操作流程的逻辑；由语法结构或标点获得的一般含义；说明书所述的实施方式的数量或种类。

如本文中所用，单数形式的“一个”、“一种”和“该”包括复数指代形式，除非文中另有明确说明。因此，例如，提到的“一种组件”包括具有两种或更多种这类组件的方面，除非文本中有另外的明确表示。

为了在设计用于加工较厚片材的现有设备中加工薄片(即，厚度小于或等于300微米的那些，例如，300、275、250、225、200、175、150、125、100、75、50、20、或10微米)，薄片与载体临时粘结，以形成厚度适用于特定加工设备的片组件。薄片可以是硅酸盐玻璃薄片，例如，在其上构建电子器件，其中，电子器件受益于硅酸盐玻璃(出于简化目的，在本文中使用术语“玻璃片”来表示硅酸盐玻璃片)的高温加工能力和密封性。用临时粘结剂将薄片与载体粘结，所述临时粘结剂能够允许在完成加工之后薄片与载体相互分离。对片组件进行加工，例如，在薄片上制造电子器件组件，然后从载体去除薄片。为了从载体去除薄片，当薄片是玻璃片时，引发局部脱粘结是有利的，即，引发局部脱粘结的面积小于片材粘结其上进行加工的整个面积。一旦引发了脱粘结，可以采用例如机械杠杆或者其他装置器从载体剥离薄玻璃片。相比于尝试在没有引发脱粘结的情况下从载体剥离薄玻璃片，通过在薄玻璃片与载体粘结的一部分面积上引发脱粘结，降低了薄玻璃片发生破裂的风险。也就是说，引发脱粘结的作用力大于开始剥离之后维持薄片与载体剥离的作用力。因此，如果尝试在一个动作中引发脱粘结和剥离，则用于进行引发的较高作用力也会用于维持剥离，这会增加薄片或载体破裂或者任意其他方式发生破损的风险。另一方面，在两个分开的动作中首先引发脱粘结然后剥离时，可以在所需的较高作用力进行脱粘结引发，以及以较低作用力进行剥离，从而降低了薄片或载体破裂或者任意其他方式发生破损的风险。此外，通过在一个片材的边缘上施加提升作用力来引发片材分离，其中，提升作用力在垂直于片材的主表面且远离组件的方向具有分量，以及通过啮合表面施加提升作用力，这没有对片材造成破损或者在其上留下残留物。因此，组件的两个片材(例如超薄玻璃和载体)可以在没有使得片材发生破损的情况下被分开，从而载体可以在另一工艺中再次使用，以及构造在超薄玻璃上的电子器件没有受到损害，对于器件制造商得到较高的产率。

通常来说，引发片组件的脱粘结(分离)的方法包括：使得片组件与啮合元件相互相对移动。片组件包括第一片材和第二片材，第一片材具有第一主表面、与第一主表面相对的第二主表面以及布置在第一主表面和第二主表面之间且毗连了第一主表面和第二主表面的边缘。第二片材与第二主表面以可去除的方式粘结。啮合元件具有啮合表面，其与边缘接触，从而向边缘施加第一作用力，第一作用力包括处于垂直于第一主表面的第一方向中的作用力分量。同时，通过第二作用力保持第二片材，所述第二作用力具有处于与第一方向相反的第二方向的作用力分量，从而施加第一和第二作用力导致至少一部分的第一片材和第二片材的相应部分的初始脱粘结(分离)，所述第二片材与第一片材粘结。

用于引发片组件的脱粘结(分离)的设备包括：具有柔性啮合表面的啮合元件以及用于保持片组件的平坦支撑表面。在一个实施方式中，相对于啮合元件布置平坦支撑表面，从而使得平坦支撑表面所处的平面与啮合表面以线段相交。通过这种布置，片组件(或者啮合元件)可以以简单方式移动，从而片材中合适的那个的边缘与用于引发片材的脱粘结(分离)的啮合表面接触。也就是说，采用上文所述的相对于啮合元件的支撑布置，啮合元件和片组件可以相互以简单的线性或平面运动方式移动；固定了一个自由度，从而有助于片组件与啮合元件之间的对准。在其他实施方式中，可以调节啮合元件、啮合表面和片组件的相对位置(包括三个尺度上的)，从而使得啮合表面与片组件(特别是组件中的合适的一个片材的边缘)以所需方式相互接触。

如图1所示，片组件2的一个实施方式包括第一片材10，其与第二片材20临时粘结或者与其以可去除的方式粘结。本领域已知第一片材10与第二片材20的许多不同方式的临时粘结，出于本公开的概念，这些方式的使用没有特别的限制，例如，可以使用如下这些：第一和第二片材10、20之间的硅酮材料，参见ep2025650；第一和第二片材10、20中的一个或两个上的表面改性层，参见us2014-0170378；临时粘结的表面的处理，参见kr2013044774；或者本领域已知的各种其他材料和粘结剂。根据其他实施方式，在片组件中可以包括不止两块片材。例如，片组件可以包括：堆叠在一起并且临时粘结到一个载体上的多片薄片；或者第一薄片与第一载体临时粘结、第二薄片与第二载体临时粘结的堆叠，其中，第一和第二薄片相互永久粘结作为电子器件的部件。在后一种情况下，两块薄片可以已经在它们各自的载体上分开加工，从而形成例如用于lcd显示器的tft背板或滤色器。然后将两块薄片绕其周界相互永久粘结，以形成lcd面板。在完成了lcd面板之后，从其去除两块载体。在所有的上述情况中，本文所述的脱粘结引发可以被用于促进从一块片材剥离另一块片材。

第一片材10具有第一主表面11、与第一主表面11相反且大致平行的第二主表面12、边缘14和厚度16。第一边缘14布置在第一主表面11与第二主表面12之间，并且毗连了这两者。绕着第一片材10的整个周界存在第一边缘14。如图1所示，第一边缘14与第一主表面11和第二主表面12相符(squarewith)，但不一定是这种情况。或者，第一边缘14可以是切成圆弧状的、或者圆角化的(不对称或者对称)，如图1a所示；或者斜切(不对称或者对称)，如图1b所示。第一片材可以是薄玻璃片或者载体。当第一片材是载体时，其厚度会是大于或等于200微米。当第一片材是薄玻璃片时，其厚度会是小于或等于300微米。第一片材10可以由任意合适材料制造，包括玻璃，例如，硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃或者铝硼硅酸盐玻璃，玻璃陶瓷、硅、钠钙硅酸盐玻璃。第一片材可以是不含碱性玻璃或者含碱性玻璃。此外，第一片材10可以是插入物，其具有延伸进入其厚度或者通过其厚度的多个孔。此外，第一片材10可以具有任何合适尺寸，例如，第一代(300x400mm)、第二代(360x465mm)、第三代、第四代、第五代(1100x1300mm)、第六代、第七代、第八代(2200x2500mm)、或第十代。

第二片材20具有第三主表面23、与第三主表面23相反且大致平行的第四主表面24、第二边缘22和厚度26。第二边缘22布置在第三主表面23与第四主表面24之间，并且毗连了这两者。绕着第二片材20的整个周界存在第二边缘22。在第一边缘的一部分或者沿着整个第一边缘，第二边缘22可以是与第一边缘14一致的(即，相当或者对准)。在后一种情况下，第一片材10和第二片材20会是相同尺寸。或者，第一片材10可以比第二片材20大，或者比第二片材20小。因此，在一些情况下，第一边缘22可以相对于第一边缘14发生偏移。如图1所示，偏移3处于方向5，但是作为替代，偏移3的方向可以是相反方向7。绕着片组件2的整个周界，偏移3可以是相同的，但是不一定是这种情况。为了提供载体(例如，第一片材10)的重复使用，薄片(例如，第二薄片20)的偏移应该防止材料载体上不会被容易地去除的沉积，例如，偏移3可以是在方向5上≤3mm。如果偏移过大，则来自电子器件加工的材料会沉积到载体上，并且可能阻碍载体的重复使用。如图1所示，第二边缘22与第三主表面23和第四主表面24相符(squarewith)，但不一定是这种情况。或者，第二边缘22可以是切成圆弧状的、或者圆角化的(不对称或者对称)，如图1a所示；或者斜切(不对称或者对称)，如图1b所示。第二片材可以是薄玻璃片或者载体。当第二片材是载体时，其厚度会是大于或等于200微米。当第二片材是薄玻璃片时，其厚度会是小于或等于300微米。厚度26可以与厚度16相同、或者比它大或者比它小。第二片材可以由任意合适材料制造，包括玻璃，例如，硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃或者铝硼硅酸盐玻璃，玻璃陶瓷、硅、钠钙硅酸盐玻璃。第二片材可以是不含碱性玻璃或者含碱性玻璃。此外，第二片材20可以是插入物，其具有延伸进入其厚度或者通过其厚度的多个孔。当第二片材20是薄片时，其可以是单片薄片，或者可以是制造例如消费者电子器件(例如显示器)的较大片材堆叠的部件。当片材堆叠的部件的情况时，堆叠中的另一块片材也可以与载体临时粘结，所述载体待从所述片材去除。

图2显示用于引发第一和第二片材10、20之间的脱粘结或分离的设备100。如所示，设备包括啮合元件30和支撑40。

在图2中，啮合元件30显示为圆形轮，其包括芯体31、啮合表面32和(芯体31的)直径36。此外，啮合元件30安装成绕着轴34转动。芯体31可以由任何合适的刚性材料制造，其没有特别的限制，例如是金属或塑料。

啮合表面32由有助于以合适的摩擦量来啮合第一片材和第二片材10、20中的一个的边缘的材料制得，从而产生足够大的作用力来引发脱粘结。由于片材的厚度约为小于1mm，用于建立起适合引发脱粘结的摩擦量的小面积使得对于合适材料的选择是重要的。此外，啮合表面32的材料可以提供与片材10、20中的一个的边缘的接触，其具有以下任意一种或多种特性：使得破损最小化或者没有留下破损；留下尽可能少的颗粒或者没有留下颗粒；在其上留下尽可能少的残留物或者没有留下残留物，这其中的每一种都有助于片材10、20在其他工艺中的重复使用。因此，啮合表面32由柔性材料制造，例如，橡胶，例如丁基橡胶、尼龙或者氨基甲酸酯。例如，绕着小轴的简单丁基橡胶o环会是合适的。材料的硬度计值(durometer)可以约为50-90，例如约为70。如果材料的硬度计值太低且偏移3是小的话，则啮合表面32倾向于同时与第一片材10和第二片材20接触，从而片材10、20没有相互分离。尝试硬度计值小于50的材料以及≤1mm的偏移3，但是以us2014-0170378的方式没有成功分离第一和第二片材，第一和第二片材之间的粘结能为400-800mj/m²。如果材料的硬度计值太高，则难以在啮合表面与边缘之间产生足够的摩擦，并且因此难以产生足够的法向作用力分量以引发片材的脱粘结。可以在调节了作用力的情况下使用除了上文所述之外的硬度计值，使得片组件2压靠住啮合表面32，还有一起调节直径36。在其他方面中，对材料进行选择，使得在片材上留下尽可能少的颗粒量或者不留下颗粒量；在该情况下，选择非脆性材料，例如，可以使用丁基橡胶、尼龙或者氨基甲酸酯。在其他方面中，对材料进行选择，使得在片材上留下尽可能少的残留物或者不留下残留物；在该情况下，可以使用丁基橡胶、尼龙或者氨基甲酸酯。作为具有芯体31和分开的啮合表面32的替代方式，啮合元件30可以由全部相同的材料制造作为整体件，其中，材料是适合与片材10、20中的一个啮合的那种，如上文所述。可以绕着啮合元件30的整个周界提供啮合表面32，如图2所示。根据其他方面，啮合表面32可以布置在分开的区段中，所述分开的区段绕着啮合元件30的周界不连续地布置，例如如图2a所示。根据其他方面，啮合表面32可以布置在一个或多个分开的区段32a、32b中，跨过啮合元件30的宽度(其中，啮合元件30的宽度沿着平行于图2中的虚线44的线测量，并且位于啮合元件30上)，例如，如图2b所示；在该情况下，区段可以是绕着周界连续的(区段32a)或者绕着周界不连续的(区段32b)。虽然在跨过啮合元件30的宽度的任意特定线上仅显示一个区段32a，但是可以布置任意合适数量的区段32a。

啮合元件30的直径36是芯体31的直径，并且其基于待分离的片材10、20的厚度进行选择。当片材10、20约为100-500微米时，直径36可以是例如1/4英寸至1/2英寸(6.3-12.7mm，例如约10mm)。然后，啮合表面32从芯体的外表面开始延伸，其中，在一些例子中，延伸量可以约为1.1-2.4mm(约为3/64-3/32英寸)。通常来说，优选较小的直径36，因为这提供了良好的第一片材10的边缘14的可及性，并且提供了内置的作用力限制机制，如下文关于引发脱粘结的方法所述。

啮合元件30与马达37相连，其使得啮合元件30与啮合表面32一起以箭头33的方向转动。控制器38与马达37相连，以控制啮合元件的转动。控制器38可以是中央处理单元、可编程逻辑控制器或者其他合适的装置，会在下文关于操作啮合元件32以引发第一和第二片材10、20之间的分离的方式中描述它们的操作。

参见图2，支撑40包括平坦支撑表面42，用于支撑片组件2，从而片组件2可以出现在啮合元件30处，以引发第一和第二片材10、20的脱粘结。支撑40相对于啮合元件30布置，使得平坦支撑表面42所处的平面与啮合元件30在线段44中相交(图2的虚线)。通过这种布置，片组件2(或者啮合元件30)可以以简单方式移动，从而片材10、20中合适的那个的边缘与用于引发片材10、20的分离的啮合表面32接触，如下文所述。也就是说，采用上文所述的相对于啮合元件30的支撑40的布置，啮合元件30和片组件2可以相互以简单的线性或平面运动方式移动；固定了一个自由度，从而有助于片组件2与啮合元件30之间的对准。例如，如图2所示，片组件2可以以方向7进行简单的线性运动，朝向啮合元件30并与其接触。根据某些例子，啮合元件30的轴34可以安装在固定位置，以及片组件2移动到被支撑40上的(未示出的)停止器所限定的位置，从而停止器使得片组件相对于啮合表面32具有合适的位置。根据其他例子，支撑40和/或转轴34或者啮合元件30可以是在三个尺度上可移动的，从而有助于待与啮合元件啮合的片材边缘进行合适对准，例如，使得第一主表面11相对于转轴34处于合适的偏移71。可以通过控制器38控制支撑和/或转轴的移动。支撑40可以是压力台/真空台，例如，其中，支撑40提供流体压力使得片组件2浮起来，移动成与啮合元件30对准，然后提供真空用于将片组件2保持在该对准的位置。

参见图3和4，现在将描述引发片组件2的分离(即，引发第一片材10与第二片材20之间的脱粘结)的方法。

通过支撑40的平坦支撑表面42，例如，经由来自平坦支撑表面42的流体来支撑片组件2。以这种方式，片组件2可以容易地从图3的左侧以方向7朝向啮合表面32移动，并且与其接触或者接近接触。当片组件相对于啮合表面32处于合适的位置时，则可以将支撑元件切换至真空模式，以相对于平坦支撑表面42保持片组件2。

从图3可以看出，啮合元件30可以是圆形轮，以及在第一方向61上，转轴34偏移第一主表面11距离71并且在第一方向上偏移平坦支撑表面42距离72，其中，距离72大于或等于希望引发脱粘结的片组件2的厚度，其中，片组件2的厚度是第一片材10的厚度16与第二片材20的厚度26以及其间的任何粘结材料的厚度总和。在粘结材料具有可忽略不计的厚度的情况下(如us2014-0170378的粘结材料)，当计算片组件2的厚度进而计算偏移距离72的量时，其厚度可以忽略不计。可以调节距离72以符合希望进行引发脱粘结的片组件2的预期厚度，并且该距离不仅会取决于片组件2的厚度，还取决于啮合表面32与转轴34之间的距离(在该情况下，啮合元件30的直径36)。更具体来说，待提起的片材的边缘(如图3所示，第一片材10的边缘14)应该布置在相对于转轴34的横向距离(方向7)为小于直径36。因此，啮合表面32仅接触第一片材10的边缘14，从而可以相对于第二片材20提起第一片材10。根据一些例子，对于第二片材约为100微米且第一片材约为400微米的情况，第一片材10可以提起约1-3mm，这通常和表面11与转轴34之间的距离是相同的，即偏移距离71。

然后，为了引发脱粘结，通过马达37旋转啮合元件30，从而以方向33转动。合适的转速可以约为1-20转每分钟(rpm)。对于该范围的较低速度，较容易产生啮合片材边缘所需的摩擦量，并且产生合适量的法向作用力分量。此外，对于该范围的较低速度，较容易控制脱粘结引发，从而没有使得片组件的片材发生破裂。例如，对于约为1/4至1/2英寸(6.3-12.7mm，例如约10mm)的直径36，约为1-20rpm的转速和丁基橡胶啮合表面32以及约为500微米的厚度16，利用出现在啮合表面的片组件的一角，啮合元件30可以产生约1磅作用力(4.5牛)，这是以us2014-0170378的方式使得第一和第二片材分离的充分的脱粘结引发作用力，其在第一与第二片材之间具有50-800mj/m²的粘结能(例如，300-800mj/m²)。也就是说，由于啮合元件的转动，其转轴34以上文所述的方式偏移，啮合表面32由于其柔性特性，被压靠住边缘14，并在其与边缘14之间产生摩擦力。随着啮合元件30持续转动，啮合表面32与边缘14摩擦啮合，这建立起了第一作用力51(与啮合元件30成切线)，所述第一作用力51具有处于基本垂直于第一主表面11的第一方向61的分量51a。如所示，作用力51不需要垂直于第一主表面11；仅作用力51的分量51a可以基本垂直于第一主表面，只要该分量51a具有足够的大小建立起使得第一片材10与第二片材20分开的作用力即可。事实上，垂直于分量51a的作用力分量辅助建立起了啮合表面32与边缘14之间的合适的摩擦。但是，如果垂直于分量51a的作用力分量变得太大的话，这可能不合乎希望地导致第一片材10滑动抵靠住第二片材20和/或导致第一片材10的破损。

如上文所述，支撑40通过真空使得片组件2与平坦支撑表面42固定，这建立起了第二作用力52，其具有以第二方向62作用在片组件2上的分量，所述第二方向62与第一方向61相反(如图3所示，基本垂直于第四主表面24)。虽然显示作用力52基本垂直于第四主表面24，但是不一定是这种情况；仅作用力52的分量可以基本垂直于第一主表面，只要该分量具有足够的大小建立起使得第一片材10与第二片材20分开的作用力即可。由于作用力51和52具有以相反方向起作用的分量并且它们作用在片组件分开的片材10、20上，作用力51和52会在至少一部分的第一和第二片材10、20之间引发脱粘结或分离。图4显示片组件2，其中，一部分的第一片材10已经与第二片材20的相应部分在区域4上脱粘结，所述区域4小于第一片材10与第二片材20发生粘结的整个区域。也就是说，第一和第二片材10、20在区域6上保持粘结。但是，在区域4引发了脱粘结之后，可以通过小于引发作用力的剥离作用力使得片材10、20相互在余下的区域6上剥离，这可以通过例如机械杠杆或者装置器与用于啮合和拉拽片材的合适装置(例如，吸盘或者其他抽吸装置)一起进行。可以剥离片材10、20，从而它们之后相互完全分离。

在偏移71、72和直径36进行了适当选择的情况下，一旦提起片材10，作用力51(和法向分量51a)减少，因为片材10朝向轮的顶部(即，啮合元件30)移动。或者，可以使用控制器38来减小、或停止啮合表面32的移动，从而降低在引发了脱粘结之后的第一片材10上的作用力。例如，在感应到马达37上的负荷下降之后，控制器38可以发信号来停止啮合表面32的移动。在任一情况下，在引发了脱粘结之后降低第一片材10上的作用力，这降低了引发与第二片材20的脱粘结之后第一片材10发生破裂或者任意其他方式破损的可能性。

应当强调，本发明上述实施方式、特别是任意“优选的”实施方式，仅仅是可能实现的例子，仅用来清楚理解本发明的各个原理。可以对本发明的上文所述的实施方式进行许多改变和改进，而不明显背离本发明的精神和各个原理。所有这些改变和改进旨在包括在本文和本发明的范围内，并且受到如下附权利要求书的保护。

例如，虽然显示啮合表面在片组件的角8处接触边缘，但是不一定是这种情况。相反地，啮合表面可以在距离角最高至约一英寸(25.4mm，例如约1/4英寸(6.3mm))的距离9处接触边缘。距离9会取决于第一片材10与第二片材20之间的粘结能，并且应该保持在一定范围内，使得区域4会从接触点到达第一片材10与第二片材20之间的粘结区域的角8处。此外，在围绕片组件的周界的一个位置引发之后，片组件与啮合元件可以相对于彼此移动，从而在一个或多个额外点(例如，围绕片组件的周界的任意余下角的约1英寸(25.4mm)内)提供引发。如果啮合表面与边缘的接触点太过远离片组件的角，则片材不会分离或者被啮合表面啮合的片材会破裂或者任意其他方式发生破损。在围绕片组件2的周界提供了一个或多个区域4之后，可以使得片材相互剥离从而它们完全分离。

作为其他例子，虽然片组件的角8显示为直角，即，第一主表面11显示为矩形，但不一定是这种情况。相反地，片组件的角可以在第一片材10和第二片材20中的一个或多个上具有斜切，从而主表面11、23可以是多边形。此外，当第一和第二片材10、20都具有斜切时，斜切不一定是相同构造，即，主表面11、23不一定是相同的多边形形状。

作为其他例子，虽然显示了圆形轮，但是不一定是这种情况。相反地，例如，啮合元件可以是凸轮片形式的非圆形轮(out-of-roundwheel)，可以是两个轮之间的带式驱动，可以是绕着轴转动的杠杆，或者可以是指状物。上文所述的位移转速(例如，直径36约为6.3-12.7mm，从直径延伸的啮合表面32约为1.1-2.4mm，以及约为1-20rpm的转速)，带的线性当量速度会是约为0.5-18.3mm/s。在任何情况下，啮合元件的一个重要方面在于，其具有如下啮合表面，该啮合表面布置成作用于待从片组件去除的片材的边缘上，从而不损坏该片材。通过作用在片材的边缘上，啮合表面较不容易造成片材主表面的损坏，从而去除的片材可以再次用于另一组件中。也就是说，啮合表面避免造成去除的片材的主表面的破损，该破损可能导致去除的片材的强度下降，和/或造成去除的片材与另一片材的粘结能力的下降，和/或造成当在与去除的片材粘结的另一片材上进行形成消费者电子器件的工艺之间的对准操作时，看穿去除的片材的能力的下降。

又例如，虽然如上文所述，在相对于啮合元件30放置了片组件2之后开始转动啮合元件30，但是不一定是这种情况。相反地，可以使得啮合元件30转动，并且可以保持转动，将片组件2以方向7朝向啮合表面32移动并与其接触。

应理解，在本说明书和附图中揭示的各种特征可以以任意和所有的组合使用。作为非限制性的例子，可以按以下的方面中所述，将各种特征相互组合：

根据第一个方面，提供了一种引发片组件分离的方法，所述方法包括：

a.使片组件和啮合元件相对于彼此移动，所述片组件包括第一片材和第二片材，所述第一片材包括第一主表面、与所述第一主表面相对的第二主表面以及布置在所述第一主表面和第二主表面之间并且与它们毗连的边缘，所述第二片材与所述第二主表面以可去除的方式粘结，所述啮合元件包括啮合表面；

b.使所述边缘与所述啮合表面接触；

c.利用所述啮合表面，向所述边缘施加第一作用力，所述第一作用力包括处于第一方向的作用力分量，所述第一方向垂直于第一主表面；以及

d.向所述第二片材施加第二作用力，所述第二作用力具有处于与所述第一方向相反的第二方向的作用力分量，从而施加第一和第二作用力导致至少一部分的第一片材和第二片材的相应部分的初始分离，所述第二片材与第一片材粘结。

根据第二个方面，提供了方面1的方法，其还包括在至少一部分的第一片材与第二片材的相应部分分离之后，减少所述第一作用力。

根据第三个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述啮合表面是由以下至少一种材料制造的：柔性材料、丁基橡胶、尼龙或者氨基甲酸酯。

根据第四个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述啮合表面由硬度计值为50-90的材料制造。

根据第五个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述啮合表面由非脆性材料制造，其不在所述第一片材上留下残留物或颗粒。

根据第六个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，施加第一作用力包括使所述啮合元件转动。

根据第七个方面，提供了方面6的方法，其还包括转动所述啮合元件，从而在接触所述边缘之前，所述啮合表面相对于所述边缘以0.5-18.3mm/s的速度移动。

根据第八个方面，提供了方面6或方面7的方法，其还包括在引发了至少一部分的第一片材与第二片材的相应部分分离之后，减缓所述啮合元件的转动。

根据第九个方面，提供了方面6-8中任一项的方法，其中，所述啮合元件的转轴以所述第一方向偏离所述第一主表面。

根据第十个方面，提供了方面6-9中任一项的方法，其中，所述啮合元件是轮。

根据第十一个方面，提供了方面10的方法，其中，所述轮的直径为6.3-12.7mm，以及该方法还包括以1-20转每分钟的速度转动所述啮合元件。

根据第十二个方面，提供了方面10或方面11的方法，其中，绕着所述轮的整个周界连续布置所述啮合表面。

根据第十三个方面，提供了方面10或方面11的方法，其还包括绕着所述轮的周界不连续布置的多个啮合表面。

根据第十四个方面，提供了方面10-13中任一项的方法，其还包括跨过所述轮的宽度上不连续布置的多个啮合表面。

根据第十五个方面，提供了前述任一个方面的方法，其还包括使得所述边缘与所述啮合表面在所述片组件的角的25.4mm内接触。

根据第十六个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第一片材比所述第二片材厚。

根据第十七个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第一片材比所述第二片材薄。

根据第十八个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第一片材的厚度≥200微米。

根据第十九个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第二片材的厚度≤300微米。

根据第二十个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述片组件的厚度≤3mm。

根据第二十一个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第一片材是硅酸盐玻璃。

根据第二十二个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第二片材是硅酸盐玻璃。

根据第二十三个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第一主表面与第二主表面相互平行。

根据第二十四个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第二片材包括第三主表面、与所述第三主表面相对的第四主表面以及布置在所述第一主表面和第二主表面之间并与它们毗连的第二边缘，以及其中，所述第二边缘与所述第一边缘是一致的。

根据第二十五个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述第二片材包括第三主表面、与所述第三主表面相对的第四主表面以及布置在所述第一主表面和第二主表面之间并与它们毗连的第二边缘，以及其中，所述第二边缘以远离所述啮合表面的方向偏移所述第一边缘。

根据第二十六个方面，提供了方面26的方法，其中，边缘偏移≤3mm。

根据第二十七个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述边缘圆角化。

根据第二十八个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述边缘是斜切的。

根据第二十九个方面，提供了前述任一个方面的方法，其中，所述边缘与所述第一和/或第二主表面相符。

根据第三十个方面，提供了一种引发片组件分离的设备，所述设备包括：

e.啮合元件，其包括柔性啮合表面；以及

f.平坦支撑表面，其用于装纳片组件，所述平坦支撑表面相对于所述啮合元件布置，从而使得所述平坦支撑表面所处的平面与所述啮合表面以线段相交。

根据第三十一个方面，提供了方面30的设备，其还包括转轴，所述啮合表面绕着所述转轴移动。

根据第三十二个方面，提供了方面30或方面31的设备，其还包括与所述啮合元件相连的马达，从而引起所述啮合表面的移动。

根据第三十三个方面，提供了方面32的设备，其还包括与所述马达相连的控制器，所述控制器配置成在收到马达上的负荷下降的信号之后，导致马达减速。

根据第三十四个方面，提供了方面31-33中任一项的设备，其中，所述转轴相对于所述平坦支撑表面所处的平面偏移，偏移的距离等于或大于待引发脱粘结的片组件的厚度。

根据第三十五个方面，提供了根据方面34的设备，其中，所述偏移小于6mm。

根据第三十六个方面，提供了方面32-35中任一项的设备，其中，所述啮合元件是轮，以及所述马达与所述轮相连从而引起所述轮的转动。

根据第三十七个方面，提供了方面36的设备，其中，绕着所述轮的整个周界连续布置所述啮合表面。

根据第三十八个方面，提供了方面36或方面37的设备，其还包括绕着所述轮的周界不连续布置的多个啮合表面。

根据第三十九个方面，提供了方面36-38中任一项的设备，其还包括跨过所述轮的宽度不连续布置的多个啮合表面。

根据第四十个方面，提供了方面36-39中任一项的设备，其中，所述轮的直径约为6.3-12.7mm。

根据第四十一个方面，提供了方面30-40中任一项的设备，其中，所述柔性啮合表面由丁基橡胶、尼龙或氨基甲酸酯制造。

根据第四十二个方面，提供了方面30-41中任一项的设备，其中，所述柔性啮合表面的硬度计值是50-90。

根据第四十三个方面，提供了方面30-42中任一项的设备，其中，所述柔性啮合表面不是脆性的。