一种新型晶圆撕膜机的制作方法

本实用新型属于撕膜机技术领域，具体涉及一种新型晶圆撕膜机。

背景技术：

硅是由石英砂所精练出来的，晶圆便是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的不同尺寸的晶圆，如8英寸晶圆、12英寸晶圆等，在使用晶圆制造集成电路前，需要把晶圆表面的膜撕开，晶圆撕膜方式分为人工撕膜、半自动撕膜机、全自动撕膜机。

现有的撕膜机控制盖在使用时容易发生摩擦产生噪音，长时间使用会减少控制盖的使用寿命，且在控制盖关闭时控制盖下表面边缘与撕膜机表面直接碰撞，容易发生碰撞响声长时间碰撞容易变形，导致撕膜机主体损坏降低使用寿命的问题，为此我们提出一种新型晶圆撕膜机。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种新型晶圆撕膜机，以解决上述背景技术中提出现有的撕膜机控制盖在使用时容易发生摩擦产生噪音，长时间使用会减少控制盖的使用寿命，且在控制盖关闭时控制盖下表面边缘与撕膜机表面直接碰撞，容易发生碰撞响声长时间碰撞容易变形，导致撕膜机主体损坏降低使用寿命的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型晶圆撕膜机，包括工作平台、显示屏、撕膜机主体、辅助壳以及撕膜机主体下表面设置的支撑机构，所述撕膜机主体的上表面设置有防护机构，所述防护机构包括限位槽、凹槽、控制盖、轴承、把手、弹性垫片和限位柱，所述工作平台安装设置在撕膜机主体的上表面中间位置处，所述显示屏安装固定于撕膜机主体的侧面，所述辅助壳安装固定于撕膜机主体的上侧，所述限位槽对称开设在撕膜机主体的上表面且位于工作平台的两侧，所述凹槽开设在撕膜机主体的上表面边缘位置处且与控制盖的位置相对应，所述弹性垫片安装放置在凹槽的内部，所述轴承对称安装固定在控制盖的两侧，所述控制盖通过轴承与撕膜机主体的上表面连接且控制盖的下表面边缘位置与凹槽卡合，所述把手安装固定在控制盖的侧面中间位置处，所述限位柱对称安装固定在控制盖的下表面并放置在限位槽的内部，所述控制盖的上表面设置有控制机构。

优选的，所述控制机构包括第一磁体、第一固定槽、第二磁体、第二固定槽和连接杆，所述第一固定槽对称开设在控制盖的上表面两端，所述第一磁体固定放置在第一固定槽的内部并与第二磁体相互吸引，所述第二磁体固定放置在第二固定槽的内部，所述第二固定槽开设在连接杆的侧面，所述连接杆对称安装在辅助壳的侧面且与第一固定槽的位置相对应。

优选的，所述支撑机构包括支撑腿、防震垫、活动槽和防滑垫，所述支撑腿安装固定在撕膜机主体的下表面四角位置处并放置在活动槽的内部，所述活动槽开设在撕膜机主体的下表面四角位置处，所述防震垫放置在活动槽的内部并与支撑腿的顶端连接，所述防滑垫套设在支撑腿的底端表面。

优选的，所述连接杆的一端与辅助壳侧面连接固定另一端设置有第二磁体，所述连接杆通过第二磁体与第一磁体相互吸引和控制盖侧面连接固定。

优选的，所述凹槽的内部放置有弹性垫片，所述弹性垫片的外表面与凹槽的内表面贴合，所述弹性垫片的内表面放置有控制盖下表面边缘壳体，所述限位柱的一端与限位槽卡合另一端与控制盖的下表面连接固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）该实用新型设置有防护机构，控制盖的边缘与凹槽内部的弹性垫片贴合，防止控制盖在关闭时与撕膜机主体碰撞，防止撕膜机主体损伤并增加撕膜机主体的使用寿命，提高撕膜机主体的工作效率，控制盖两侧轴承可防止控制盖在活动时产生异响，并防止控制盖摩擦损伤，增加控制盖的耐用性。

（2）控制盖侧面设置的第一磁体与连接杆一端的第二磁体相吸引固定，方便控制盖固定不需用户控制着，减少用户的劳动量，同时方便控制盖关闭，提高用户工作效率，支撑腿顶端连接有防震垫，防止撕膜机主体运输过程中碰撞损坏，同时防止撕膜机主体在工作时晃动产生异响，增加撕膜机的降噪功能和使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的撕膜机主体局部剖面结构示意图；

图3为本实用新型的控制盖局部侧视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的撕膜机主体侧视结构示意图；

图5为本实用新型的撕膜机主体局部侧视剖面结构示意图；

图中：1、工作平台；2、显示屏；3、限位槽；4、撕膜机主体；5、凹槽；6、控制盖；7、轴承；8、辅助壳；9、把手；10、弹性垫片；11、限位柱；12、第一磁体；13、第一固定槽；14、第二磁体；15、第二固定槽；16、连接杆；17、支撑腿；18、防震垫；19、活动槽；20、防滑垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种新型晶圆撕膜机，包括工作平台1、显示屏2、撕膜机主体4、辅助壳8以及撕膜机主体4下表面设置的支撑机构，撕膜机主体4的上表面设置有防护机构，防护机构包括限位槽3、凹槽5、控制盖6、轴承7、把手9、弹性垫片10和限位柱11，工作平台1安装设置在撕膜机主体4的上表面中间位置处，显示屏2安装固定于撕膜机主体4的侧面，辅助壳8安装固定于撕膜机主体4的上侧，辅助壳8与撕膜机主体4通过螺栓固定连接，限位槽3对称开设在撕膜机主体4的上表面且位于工作平台1的两侧，凹槽5开设在撕膜机主体4的上表面边缘位置处且与控制盖6的位置相对应，弹性垫片10安装放置在凹槽5的内部，轴承7对称安装固定在控制盖6的两侧，控制盖6通过轴承7与撕膜机主体4的上表面连接且控制盖6的下表面边缘位置与凹槽5卡合，把手9安装固定在控制盖6的侧面中间位置处，限位柱11对称安装固定在控制盖6的下表面并放置在限位槽3的内部，限位柱11的顶端与控制盖6的下表面通过螺栓固定连接，控制盖6的上表面设置有控制机构。

为了方便控制盖6与辅助壳8连接，本实施例中，优选的，控制机构包括第一磁体12、第一固定槽13、第二磁体14、第二固定槽15和连接杆16，第一固定槽13对称开设在控制盖6的上表面两端，第一磁体12固定放置在第一固定槽13的内部并与第二磁体14相互吸引，第二磁体14固定放置在第二固定槽15的内部，第二固定槽15开设在连接杆16的侧面，连接杆16对称安装在辅助壳8的侧面且与第一固定槽13的位置相对应，连接杆16一端与辅助壳8侧面通过螺栓固定连接。

为了增加撕膜机主体4防震效果，防止撕膜机主体4碰撞损坏，本实施例中，优选的，支撑机构包括支撑腿17、防震垫18、活动槽19和防滑垫20，支撑腿17安装固定在撕膜机主体4的下表面四角位置处并放置在活动槽19的内部，活动槽19开设在撕膜机主体4的下表面四角位置处，防震垫18放置在活动槽19的内部并与支撑腿17的顶端连接，防滑垫20套设在支撑腿17的底端表面。

为了方便第一磁体12与第二磁体14相互吸引，本实施例中，优选的，连接杆16的一端与辅助壳8侧面连接固定另一端设置有第二磁体14，连接杆16通过第二磁体14与第一磁体12相互吸引和控制盖6侧面连接固定。

为了防护撕膜机主体4表面被损坏，本实施例中，优选的，凹槽5的内部放置有弹性垫片10，弹性垫片10的外表面与凹槽5的内表面贴合，弹性垫片10的内表面放置有控制盖6下表面边缘壳体，限位柱11的一端与限位槽3卡合另一端与控制盖6的下表面连接固定。

实施例2

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种新型晶圆撕膜机，包括工作平台1、显示屏2、撕膜机主体4、辅助壳8以及撕膜机主体4下表面设置的支撑机构，撕膜机主体4的上表面设置有防护机构，防护机构包括限位槽3、凹槽5、控制盖6、轴承7、把手9、弹性垫片10和限位柱11，工作平台1安装设置在撕膜机主体4的上表面中间位置处，显示屏2安装固定于撕膜机主体4的侧面，辅助壳8安装固定于撕膜机主体4的上侧，辅助壳8与撕膜机主体4通过焊接固定连接，限位槽3对称开设在撕膜机主体4的上表面且位于工作平台1的两侧，凹槽5开设在撕膜机主体4的上表面边缘位置处且与控制盖6的位置相对应，弹性垫片10安装放置在凹槽5的内部，轴承7对称安装固定在控制盖6的两侧，控制盖6通过轴承7与撕膜机主体4的上表面连接且控制盖6的下表面边缘位置与凹槽5卡合，把手9安装固定在控制盖6的侧面中间位置处，限位柱11对称安装固定在控制盖6的下表面并放置在限位槽3的内部，限位柱11的顶端与控制盖6的下表面通过焊接固定连接，控制盖6的上表面设置有控制机构。

为了方便控制盖6与辅助壳8连接，本实施例中，优选的，控制机构包括第一磁体12、第一固定槽13、第二磁体14、第二固定槽15和连接杆16，第一固定槽13对称开设在控制盖6的上表面两端，第一磁体12固定放置在第一固定槽13的内部并与第二磁体14相互吸引，第二磁体14固定放置在第二固定槽15的内部，第二固定槽15开设在连接杆16的侧面，连接杆16对称安装在辅助壳8的侧面且与第一固定槽13的位置相对应，连接杆16一端与辅助壳8侧面通过焊接固定连接。

为了增加撕膜机主体4防震效果，防止撕膜机主体4碰撞损坏，本实施例中，优选的，支撑机构包括支撑腿17、防震垫18、活动槽19和防滑垫20，支撑腿17安装固定在撕膜机主体4的下表面四角位置处并放置在活动槽19的内部，活动槽19开设在撕膜机主体4的下表面四角位置处，防震垫18放置在活动槽19的内部并与支撑腿17的顶端连接，防滑垫20套设在支撑腿17的底端表面。

为了方便第一磁体12与第二磁体14相互吸引，本实施例中，优选的，连接杆16的一端与辅助壳8侧面连接固定另一端设置有第二磁体14，连接杆16通过第二磁体14与第一磁体12相互吸引和控制盖6侧面连接固定。

为了防护撕膜机主体4表面被损坏，本实施例中，优选的，凹槽5的内部放置有弹性垫片10，弹性垫片10的外表面与凹槽5的内表面贴合，弹性垫片10的内表面放置有控制盖6下表面边缘壳体，限位柱11的一端与限位槽3卡合另一端与控制盖6的下表面连接固定。

本实用新型的工作原理及使用流程：该实用新型在使用时，先对撕膜机主体4进行电连接，然后通过把手9控制控制盖6活动，使控制盖6侧面第一固定槽13内部的第一磁体12与连接杆16一端的第二磁体14分离，让控制盖6通过轴承7在撕膜机主体4表面转动，随后把控制盖6边缘与凹槽5内部的弹性垫片10卡合连接，同时使控制盖6下表面的限位柱11与限位槽3卡合固定，完成撕膜时再打开控制盖6，使控制盖6侧面的第一磁体12与第二磁体14想吸引固定；用户在运输撕膜机主体4时，通过支撑腿17顶端连接的防震垫18增加撕膜机主体4的防震能力，通过支撑腿17底端的防滑垫20防止撕膜机主体4在地面滑动。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。