专利名称：超声波清洗用的超声波振子的振动方法
技术领域：
本发明涉及在清洗液中利用超声波清洗工件(包括去毛刺等)所用的超声波振子的振动方法。
通常在超声波清洗过程中，将具有压电元件的固有振动频率的周期信号(电压信号)加在装有压电元件的超声波振子上，从而在清洗液中发射超声波。由于该超声波的发射，在清洗液中产生气穴，利用气穴的冲击力，对浸渍在清洗液中的工件进行清洗或去毛刺。
可是，通常所知，在这种超声波清洗中，清洗液中产生的气穴在与发射的超声频率，或者说与超声波振子的压电元件的固有振动频率(共振频率)相对应的深度处才能发现。也就是说，从盛清洗液的清洗槽的底部向液面发射超声波时，在距离液面为1/4波长深度处显著地发生气穴，另外，通常所知，气穴明显地分散在从该深度开始向底部每隔半波长的深度处。
另一方面，为了对浸渍在清洗液中的工件进行均匀的清洗或去毛刺，希望能使气穴在清洗液中均匀地发生而不呈分散状态。为此，由上述可知，最好采用高频率的超声波。但是，通常所知，超声波的频率越高，超声波在清洗液中的衰减大，结果使气蚀效果下降。因此，为了有效地对工件进行清洗或去毛刺，最好采用低频率的超声波。因此，气蚀的发生状态及其作用效果随超声波的频率而变化，所以最好根据清洗目的或所希望的清洗程度来选择所使用的超声波的频率。例如，要求强清洗力时，应使用低频超声波。另外，工作脆弱时，为了防止气蚀对工件产生损伤，应使用高频超声波。
然而，采用单一的固有振动频率的超声波振子利用其固有振动频率产生振动的技术，在各种情况下都不能满足上述所希望的条件。因此，为了解决这种不妥善的问题，以往是采用下述的已知技术。
该技术是使用具有若干个其固有振动频率互不相同的压电元件的超声波振子，每隔适当的时间，将具有各固有振动娄相同的频率的信号顺次加在各压电元件上，同时反复地进行这一过程。因此这种技术是由单一的振子在清洗液中发射频率各不相同的超声波。
这样做的结果，在清洗液中各个比较接近的深度处产生气穴，该气穴的分布比较均匀，同时以频率低的超声波为主，能获得有效的气蚀作用效果。另外，如果适当地设定各种频率的超声波的发射时间等就可以与各种清洗目的相适应。
但是，在这种超声波振子中装有若干个固有振动频率与不相同的压电元件，因此存在制造困难、价格高等不合适的问题。另外由于振动时发热，各压电元件的固有振动频率各自发生变动，因此造成气穴分布不稳定。因此难以利用气穴进行均匀的清洗或去除毛刺。
因此，本发明的目的是解决这种不合适的问题，提供一种使用具有单一的固有振动频率的超声波振子，能很容易地在清洗液中的各个地方产生均匀的气穴的超声波振子的振动方法。另一目的是提供一种能获得与工件的种类或清洗目的相适应的气穴分布适当的超声波振子的振动方法。
本发明者等人根据各种研究结果发现，即使是使用具有单一固有振动频率的超声波振子，不用说以具有其固有振动频率，就连以具有该固有振动频率的整数倍的频率的信号作为驱动信号，使该超声波振子振动时，也能十分有效地清洗液中产生气穴。更详细地说，就是按适当的时间连续变换成具有超声波振子的固有振动频率的互不相同的整数倍的频率的若干种信号，并将该信号输送给超声波振子。这样一来，该超声波振子就会发射各种频率的超声波，因此，对应于各种频率的超声波在清洗液中产生的气穴混合分布，从而在该清洗液中能获得均匀的气穴。而且还发现，特别是当输送给超声波振子的各信号的频率为该超声波振子的固有振动频率的奇数倍时，能在清洗液中有效地获得均匀的气穴。
因此，为了达到上述目的，本发明的超声波振子的振动方法，也就是使在清洗液中发射超声波的具有单一的固有振动频率的超声波振子振动的方法的特征为该方法包括三个过程，即产生具有上述超声波振子的固有振动频率的各不相同的整数倍的若干种振荡信号的第一过程，通过按规定的时间连续转换并输出该若干种振荡信号，生成该若干种振荡信号按时间序列混合存在的复合信号的第二过程；以及以该复合信号作为上述超声波振子的驱动信号使该超声波振子振动的第三过程。
如果采用上述的本发明，上述超声波振子对应于作为其驱动用信号的上述复合信号中按时间序列包括若干种振动信号的频率，在连续的规定时间按时间序列发射若干种频率的超声波，因此，对应于各种频率的超声波，在清洗液中产生的气穴的分布相复合，在该清洗液中就能获得均匀的气穴。
这时，在每一规定时间连续地输出产生上述复合信号用的上述各种振荡信号即可，或者在规定的时间内只输出一种频率的振荡信号后，经过适当的中止时间后，再发射下一种振荡信号也可以。无论在哪一种情况下，都会由超声波振子转换发射具有各种振荡信号的频率的超声波。
另外，输出上述各种振荡信号的规定时间最好是以各种振动信号的一个周期为单位的时间。这样，超声波振子便在上述规定时间内平稳地发射与各种振动信号对应的频率的超声波。
另外，在输出各种振荡信号的规定时间内，最好变更各种振动信号。这样就能根据清洗目的或工件的种类等获得适当的气穴分布。
另外，驱动超声波振子使其振动时，最好通过向上述超声波振子输送具有与上述复合信号相同频率的矩形波信号，使该超声波振子振动。这样通过利用矩形波信号驱动超声波振子，将驱动能量有效地输送给该超声波振子，该超声波振子便稳定地振动。产生这种超声波振子的驱动信号用的电路结构采用数字电路等可使结构简单。
最好使上述各种振荡信号的频率为上述超声波振子的固有振动频率的奇数倍。这样可使清洗液中的气穴分布更加均匀。
一般来说，将其频率为固有振动频率的整数倍的信号输送给超声波振子时，该信号的频率越高，该超声波振子等中越容易通过大电流。因此，当上述第三过程中包括使上述复合信号放大的过程，以及将放大了的上述复合信号输送给上述超声波振子，使该超声波振子振动的过程时，最好控制该复合信号的放大倍数，上述振荡信号的频率越高，越要降低其放大倍数。这样可以防止流过超声波振子或向它输送信号的放大器等的电流过大，从而可避免损坏该超声波振子等。
连续输出上述各种振荡信号、生成上述复合信号，将其放大后，输送给超声波振子时，将与各种振动信号的频率对应的上述复合信号放大到规定的电平，且变换各种振荡信号的频率时，由于输送给超声波振子的信号的频率急剧变化，使该超声波振子的振动受到干扰，往往产生噪声。因此，在变换上述复合信号中包含的上述振荡信号的频率时，如果复合信号的放大倍数下降，最好逐渐地将其增加到所规定的放大倍数。这样一来，在变换各种振荡信号的频率时，就能使输送给超声波振子的信号电平从低电平逐渐地增加，从而能平稳地获得与各种振荡信号的频率对应的超声波振子的振动。
另外，在第一过程中形成各种振荡信号的方法是(例如)通过产生大致为超声波振子的固有振动频率的整数倍的单一频率的基准信号，然后将该信号分频而产生上述各种信号。这时，如果始终使基准信号的频率保持一定，则由于发热等原因，当超声波振子的固有振动频率变化时，流过超声波振子的电流就会发生变化，从而容易造成该超声波振子的输出不稳定。因此最好根据流过超声波振子的电流电平调整该基准信号的频率，以便使该基准信号的频率与上述超声波振子的固有振动频率的整数倍一致。通过这样处理后，输送给超声波振子的复合信号中包括各种振动信号的频率便与超声波振子的实际固有振动频率的整数倍一致，从而可在各振荡信号频率的情况下使该超声波振子的输出稳定。
图1是应用本发明之一例的超声波振动装置的结构框图。
图2(a)是说明图1中的超声波振动装置的工作原理的曲线图。
图2(b)是说明图1中的超声波振动装置的工作的曲线图。
图2(c)是说明图1中的超声波振动装置的工作曲线图。
图2(d)是说明图1中的超声波振动装置的工作曲线图。
图3(a)是说明图1中的超声波振动装置的工作曲线图。
图3(b)是说明图1中的超声波振动装置的工作曲线图。
图3(c)是说明图1中的超声波振动装置的工作曲线图。
图4(a)是说明图1中的超声波振动装置的工作曲线图。
图4(b)是说明图1中的超声波振动装置的工曲线图。
图5(a)是表示用规定的频率驱动图1中的超声波振动装置的超声波振子时铝箔受蚀状态平面图。
图5(b)是表示用规定的频率驱动图1中的超声波振动装置的超声波振子时铝箔受蚀状态平面图。
图6是表示输送给超声波振子的信号的另一例的曲线图。
现参照图1至图4说明本发明的一个实施例。图1是本实施例中的超声波振子的振动装置的结构框图，图2至图4是说明该振动装置的工作曲线图。
图1中1是具有单一固有振动频率(在本实施例中为25KHz)的超声波振子，2是使振子1振动的超声波振荡电路。振子1是(例如)具有单一压电元件(图中未示出)的兰杰文(Langeuin)型振子，它被固定安装在清洗槽3的底部，其振动面1a面对盛在清洗槽3中的清洗液4。
超声波振荡电路2是构成本实施例装置的主要部分，它包括产生高频(例如数百KHz)的基准信号(矩形波信号)的基准信号振荡电路5；对该基准信号振荡电路5产生的基准信号进行分频的若干个(在本实施例中为3个)分频电路6、7、8；按时间序列反复转换并输出这些分频电路6、7、8的输出信号的转换电路9；将该转换电路9的输出信号放大后输送给振子1的放大电路10；根据转换电路9的输出信号的频率调整放大电路10的增益的输出控制电路11；以及根据放大电路10的输出电流(通过振子1的电流)对基准信号振荡电路5的振荡频率进行微调的频率调整电路12。
各分频电路6、7、8用来根据振荡电路5的基准信号产生频率为振子1的固有振动频率的、互不相同的整数倍的频率f1、f1、f3的振荡信号a、b、c(参见图2)。例如分频电路6将振荡电路5的基准信号分出与振子1的固有振动频率相同的频率(f1=25HKz)，产生如图2所示的矩形波振动信号a，分频电路7、8分别将振荡电路5的基准信号按照振子1的固有振动频率的3倍及5倍的频率(f2=75KHz，f3=125HKz)进行分频，产生如图2(b)、(c)所示的矩形波振动信号b、c。由电路6、7、8产生的振荡信号a、b、c互为同步信号。
转换电路9按照预先设定的时间依次连续输出由各分频电路6、7、8产生的振荡信号a、b、c。通过反复进行这种输出，生成如图2(d)所示的驱动振子1用的复合信号d。更详细地说，转换电路9首先从振动信号a的上升时刻开始，在规定时间t1内只输出该振荡信号a。然后，在规定时间t2内，继信号a之后只转换成并输出振荡信号b。然后在规定时间t3内，继信号b之后只变换成并输出振荡信号c，以后通过连续反复进行这种转换，生成复合信号d。从而由转换电路9产生的复合信号d在一个周期(t1+t2+t3)内成为将振荡信号a、b、c按规定时间t1、t2、t3连续排列的时间序列信号。作为各振荡信号a、b、c的输出时间的规定时间t1、t2、t3是以这些振荡信号a、b、c的一个周期为单位的时间，所以在各振荡信号a、b、c的转换时刻，这些信号a、b、c的上升是一致的。
在本实施例中，作为各振荡信号a、b、c的输出时间的规定时间t1、t2、t3可通过规定的操作进行适当的变更。也就是说，转换电路9备有设定振荡信号a、b、c的规定时间t1，t2、t3用的可变电阻13、14、15(参见图1)，通过图中未示出的操作旋钮调节这些可变电阻13、14、15的电位器，可以任意设定规定时间t1，t2、t3。这时也可将各规定时间t1，t2、t3设定为“0”。当设定为“0”是，与其对应的振荡信号a、b、c便不从转换电路9输出。
另外，在本实施例中，规定时间t1，t2、t3至多设定为1秒、0.5秒、0.25秒，最多为数秒的短时间。
下面说明这种超声波振动装置的工作原理。
如上所述，从转换电路9输出的复合信号d经过放大电路10放大后输送给振子1。这时复合信号d是在其一个周期内将频率不同的振荡信号a、b、c按规定时间t1、t2、t3(以下简称输出时间t1、t2、t3)连续排列成的时间序列信号。因此振子1按照振荡信号a、b、c的频率顺次振动，并且按照复合信号的频率反复进行这种振动。这时，如上所述，使振荡信号a、b、c的频率为振子1的固有振动频率的整数倍，并且生成按照以各信号的一个周期为单位的输出时间t1、t2、t3连续的时间序列排列的周期信号，振子1便按照各振荡信号a、b、c的频率平稳振动。因此，如图3(a)-(c)所示，在清洗液4中以较短的周期按顺序反复反射频率不同的超声波e、f、g。
图3(a)-(c)中所示是将各振荡信号a、b、c的频率f1、f2、f3分别设定为例如25KHz、75KHz、125HKz时对应于各振荡信号a、b、c的超声波e、f、g的说明图。这些超声波e、f、g的频率与对应的振荡信号a、b、c的频率相同。而且图中λ1、λ2、λ3，在图3(a)-(c)中用虚线表示的深度处明显出现气穴。
这时，与各振荡信号a、b、c相对应的超声波e、f、g，由于波长λ1、λ2、λ3各不相同，所以产生气穴的深度也不相同。另外，由于将输出时间t1、t2、t3设定得比较短，所以与超声波e、f、g相对应的气穴以较短的时间间隔反复产生。因此从较输出时间t1、t2、t3长许多的时间的角度来看，将这些气穴加在一起，就等于在清洗液4中各种深度处都产生了气穴，结果是在清洗液4中产生的气穴分布比较均匀。因此将工件(图中未示)浸渍在清洗液4中时，气穴作用在工件表面的各处，能提高工件的清洗效果。另外，假定在清洗液4中较长时间是发射同一频率的超声波，则会有气泡附着在浸渍在该清洗液4中的工件的表面上，这些气泡往往会妨碍对工件的清洗。然而，如本实施例所述，通过周期性地转换超声波的频率，就可以防止出现气泡原封不动地附着在工件表面上的状态。因此能提高工件的清洗效果。
在本实施例中的超声波振动装置中，通过适当改变发射频率不同的超声波e、f、g用的各振荡信号a、b、c的输出时间t1、t2、t3，所以，能够适应于各种性质的工件或清洗目的。
在一般情况下，超声波频率越低，气蚀作用的效果越大，因此清洗比较脆弱的工件时，为了避免气蚀对工件造成损伤，最好使用高频超声波。因此，在使用本实施例中的装置清洗这种脆弱的工件时，例如，使频率最低的振荡信号a的输出时间t1非常短，或者使其为“0”，就能在清洗时避免对工件造成损伤。
如上所述，超声波频率越低，获得的气蚀作用的效果越大，因此，例如，在对要求强清洗效果的工件进行清洗时，例如，通过设定频率最低的超振信号a及频率较低的超振信号b的输出时间t1、t2较长，就能对这种工件进行有效的清洗。
在本实施例的装置中，用来驱动振子1的各个振动信号a、b、c及由它们复合而成的周期信号d为矩形波信号，因此能使振子1对于各种振荡信号a、b、c进行平稳的振动响应。因此，振子1能根据各种振荡信号a、b、c稳定振动。另外，由于使用矩形波信号，所以还能使振动装置的电路结构简单。
在本实施例中的装置中，输出控制电路11(参见图1)根据从转换电路9依次输出的振荡信号a、b、c的频率，按下述方式调整放大电路10的增益(放大倍数)。即在一般情况下，输入振子1的信号的频率越高，流过振子1或放大电路10的电流越大。如果流过的电流过大，会损坏振子1或放大电路10。因此在本实施例中，从转换电路9输出的振荡信号a、b、c的频率越高，放大电路10的增益越小。因此，能以避免过大电流流过振子1或放大电路10，从而能防止对它们造成损坏。
当上述输出控制电路11转换输入放大电路10的振荡信号a、b、c时，如果放大电路10的增益下降到大致为“0”后，便逐渐增加放大电路10的增益，直至达到与各振荡信号a、b、c的频率相对应的电平的放大倍数为止。也就是说，如果从转换振荡信号a、b、c时开始，放大电路10的增益立即达到与其频率相对应的规定电平时，输送给振子1的信号的频率要有急剧的变化，因此会干扰该振子1的振动而产生噪声。因此，如上所述，转换振荡信号a、b、c时，如果放大电路1的增益下降，转换后输送给振子1的信号电平就会从低电平逐渐增加，该振子1便以转换后的振荡信号a、b、c的频率开始作平稳振动。
在本实施例的装置中，频率调整电路12(参见图1)根据从放大电路10流过振子1的电流大小，对基准信号振荡电路5振荡频率(基准信号频率)进行微调。即通常振子1振动时，由于发热等原因，其固有振动频率会有一些变化，因此如果始终维持振荡信号a、b、c的频率一定，则流过振子1的电流就会变化，容易造成该振子1的输出不稳定。因此在本实施例中，对基准信号振荡电路5的振荡频率进行微调，以便使流过振子1的电流维持在最合适的电平。因此调节振荡信号a、b、c的频率，使其与振子1的实际固有振动倍数的整数倍一致。在这种频率调节过程中，例如以适当的时间间隔使基准信号振荡电路5的振荡频率前后变化。这时，通过检测流过振子1的电流为规定的最佳电平(例如最大电平)时的振动频率，进行上述的频率调节。另外，这种频率调节可以根据例如从振子1发射到清洗液4中的超声波的声压进行。
在本实施例中，虽然是通过转换电路9，在上述的输出时间t1、t2、t3连续地转换并输出振荡信号a、b、c，但是也可以如图6所示，在各振荡信号a、b、c的输出时间t1、t2、t3之间设定适当的中止时间，将其放大后输送给振子1。在这种情况下，振子1在输出时间t1、t2、t3连续地发射具有各振荡信号a、b、c的频率的超声波。而且，即使在这种情况下，也会在清洗液中与各振荡信号a、b、c的频率对应的各不相同的深度处产生气穴。因此能使清洗液中的气穴分布比较均匀。
在本实施例中，虽然是将振荡信号a、b、c按照其顺序周期性地输送给振子1，使该振子1振动，但是输送给该振子1的顺序也可以是任意的、或者是随机的。
因此在本实施例的装置中，振荡信号a、b、c的频率基本上是振子1的固有振动频率的整数倍即可，但最好是振子1的固有振动频率的奇数倍。
其理由可参照图4(a)、(b)说明如下。
在图4(a)中，例如将振荡信号a、b、分别设定为25KHz(振子1的固有振动频率)、50KHz(固有振动频率的2倍)时，以横坐标轴表示清洗液4中的深度，图中示出了分别与振荡信号a、b对应的在清洗液4中产生的超声波e、f的波形。图中假定在深度D0处，超声波e、f的波峰与波峰相重合。
由该图可知，振荡信号b的频率为固有振动频率的2倍(偶数倍)时，出现超声波e的波峰与超声波f的波谷相重叠的部分(例如深度D1、D2部分)。因此，由这些波形e、f合成而产生的波形X是沿振幅中心构成的沿横轴上下非对称的波形。因此，可以认为将超声波e、f合成所获得的气穴的分布容易不均匀。这种情况同样还会在例如振动信号的频率为固有振动频率的4倍、即100KHz时出现。
另一方面，在图4(b)中，例如将荡信号a、b、分别设定为25KHz(振子1的固有频率、75KHz(固有振动频率的3倍)时，以横坐标轴表示清洗液4中的深度，图中示出了分别与振荡信号a、b相对应的在清洗液4中产生的超声波e、f的波形。图中与图4(a)的情况相同，假定在深度D0处，超声波e、f的波峰与波峰相重合。
由该图可知，振荡信号b的频率为固有振动频率的3倍(奇数倍)时，超声波e的波峰与超声波f的波峰相重叠，波谷与波谷相重叠。因此由这两个波形e、f合成而产生的波形Y是沿振幅中心构成的沿横轴上下对称的波形。因此，可以认为将超声波e、f合成获得的气穴分布容易均匀。而且这种情况同样还会在例如将振荡信号c的频率设定为固有振动频率的5倍、即125KHz时出现。
由上述可知，振荡信号a、b、c的频率最好为振子的固有振动频率的奇数倍。
在以上说明的实施例中，振动信号的种类为3种，但当然使用更多的频率不同的振荡信号也可以。
以下，参照图5(a)、(b)说明将具有固有振动频率的整数倍的频率的信号输送给上述实施例中的振子1时实际的气蚀效果。
本发明者等人将厚为7μm的铝箔以垂直状态浸渍在清洗液4中，并将频率与振子1的固有振动频率相同(25KHz)的矩形波信号，以及频率为固有振动频率的2倍(50KHz)的矩形波信号分别输送给振子1。而且分别观察了在上述两种情况下铝箔上产生的气蚀情况。这时，清洗液4采用DO值为5.0ppm的水，液体的温度为24℃，液体的深度为232mm。通过各实验获得的铝箔的表面状态示于图5(a)、(b)中。
由图可见，标有参照符号A的斜线部分表示铝箔上的亮斑，标有参照符号B的带点的部分表示经过了某种程度的侵蚀部分。这两部分A、B(以下将它们简称为侵蚀部分A、B)表示在与其对应的深度处产生了气蚀现象。
由图5(a)可知，用与振子1的固有振动频率相同的频率(25KHz)驱动振子1时，大致在每隔超声波的半波长的各深度处出现侵蚀部分A、B。这表明在每隔半波长的深度处明显地出现气蚀现象。
另一方面，由图5(b)可知，用振子1的固有振动频率的2倍的频率(50KHz)驱动振子1时，表明在每隔超声波的半波长的深度处也出现侵蚀部分A、B，在每隔大致半波长的深度处都明显出现气蚀现象。这时，与频率为25KHz的情况相比较，侵蚀的程度有所降低，能充分地看出侵蚀程度的亮斑，表明发生了能充分发挥清洗效果的气蚀作用。另外，可知，由于这时的超声波波长为频率为25KHz时的超声波波长的一半，所以出现气蚀的深度间隔大致为频率为25KHz时的一半，从而以更接近的深度间隔出现气蚀现象。
因此，即使用振子1的固有振动频率的2倍的频率驱动振子1，在清洗液4中也能产生充分清洗所需气蚀，另外，能在与用其固有振动频率驱动振子1时不同的深度处产生气蚀。
而且由此可知，如以上实施例所述，如果将振子1的固有振动频率的整数倍的互不相同的频率按时间序列复合后驱动振子1，则能使在清洗液中产生的清洗工件所需的气蚀作用的分布比较均匀，能提高清洗效果。
权利要求
1.一种超声波清洗用的超声波振子的振动方法，该方法使在清洗液中发射超声波的具有单一固有振动频率的超声波振子振动，其特征为该方法包括产生具有上述超声波振子的固有振动频率的整数倍的互不相同的频率的若干种振荡信号的第1过程；通过在规定的时间连续变换并输出该若干种振荡信号，由此生成由该若干种振荡信号按时间序列混合而成的复合信号的第2过程；以及将该复合信号作为上述超声波振子的驱动信号，使该超声波振子振动的第3过程。
2.根据权利要求1所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为在上述第2过程中，在上述规定时间内按顺序连续输出上述各种振荡信号。
3.根据权利要求1所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为在上述规定时间内只输出一种上述振荡号后，经过规定的中止时间，然后再输出下一个振荡信号。
4.根据权利要求2所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为在上述第2过程中，输出上述各种振荡信号的上述规定时间是以各振荡信号的一个周期为单位的时间。
5.根据权利要求1的所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为在上述第2过程中，输出上述各种振动信号的上述规定时间，随各自的振荡信号而的不同而有所不同。
6.根据权利要求1所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为在上述第3过程中，通过将具有与上述第2过程中产生的上述复合信号相同频率的矩形波信号输送给上述超声波振子，使该超声波振子振动。
7.根据权利要求1所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为上述各种振荡信号的频率是上述超声波振子的固有振动频率的奇数倍。
8.根据权利要求1所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为上述第3过程包括对上述第2过程中产生的上述复合信号进行放大的过程；根据该复合信号中含有的上述振动信号的频率控制该复合信号的放大倍数的过程；以及将经过入大的上述复合信号输送给上述超声波振子，使该超声波振子振荡的过程，在控制上述复合信号的放大倍数的过程中，上述振动信号的频率越高，越要减小其放大倍数。
9.根据权利要求2所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为上述第3过程包括对上述第2过程中产生的上述复合信号的放大过程，以及变换该复合信号中含有的上述振荡信号的频率时，如果该复合信号的放大倍数有所下降，要逐渐将其增大到规定的入大倍数的过程。
10.根据权利要求1所述的超声波清洗用的超声波振子的振动方法，其特征为上述第1过程包括产生具有上述超声波振子的固有振数的大致整数倍的单一频率的基准信号的过程；根据通过上述超声波振子的电流的电平调节该基准信号的频率，使该基准信号的频率与上述超声波振子的固有振动频率的整数倍一致的过程；以及在调整频率之后对该基准信号进行分频，产生上述各种振荡信号的过程。
全文摘要
一种超声波清洗用的超声波振子的振动方法，即按规定时间连续地交换具有超声波振子的单一固有振动频率的互不相同的整数倍(特别是奇数倍)的频率的若干种信号，用以驱动超声波振子振动，于是在清洗液中产生各种频率的超声波，使气穴分布均匀，能够有效地对工件进行清洗或去毛刺。
文档编号B06B1/02GK1099675SQ94102138
公开日1995年3月8日 申请日期1994年2月22日 优先权日1993年2月22日
发明者柴野佳英, 斋藤传 申请人:柴野佳英