一种半导体设备异常时的物料处理方法和装置的制造方法

文档序号:8341173阅读:561来源:国知局
一种半导体设备异常时的物料处理方法和装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备的控制技术领域,特别是涉及一种半导体设备异常时的物料处理方法和一种半导体设备异常时的物料处理装置。
【背景技术】
[0002]在工艺生产过程中,半导体设备通过预先制定的工艺传输流程来保证所有的物料都可以按照该流程有序地将物料送到预定的位置进行工艺生产加工,并将加工完成的物料送到指定的位置进行储存。
[0003]当半导体设备异常时,比如当半导体设备的部件进行工艺任务,不满足互锁条件而导致工艺停止时,或者半导体设备的部件被手动终止时,往往需要手动将半导体设备中的存在的物料传到物料储存的位置。
[0004]在手动操作的过程中,需要根据物料在半导体设备中的分布位置,逐个将物料传到物料储存的位置,在手动操作的同时需要观察半导体设备内部物料的移动速度和位置,来调整手动操作的幅度。
[0005]上述手动操作工序复杂,降低了传输效率,并且容易造成误操作;在操作过程中,由于手动操作精确度低,操作过程中物料与设备之间容易碰撞,造成物料和设备的损坏。

【发明内容】

[0006]本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种半导体设备异常时的物料处理方法,以实现在半导体设备异常时的自动化处理。
[0007]本发明还提供了一种半导体设备异常时的物料处理装置,用以保证上述方法的实现及应用。
[0008]为了解决上述问题,本发明实施例公开了一种半导体设备异常时的物料处理方法,所述半导体设备包括工艺模块和传输模块,所述方法包括:
[0009]针对当前任务创建状态变量;所述状态变量包括非激活状态和激活状态,所述非激活状态用于指示工艺模块或传输模块为正常状态,所述激活状态用于指示工艺模块或传输模块为异常状态;
[0010]当监测到当前任务涉及的工艺模块或传输模块发生异常时,将所述状态变量从初始的非激活状态更改为激活状态,并重新计算物料的传输路径;所述传输路径包括源位置和目标位置;
[0011]采用所述传输路径将所述物料从所述源位置传输到所述目标位置;
[0012]若所述物料传输成功,则将所述状态变量从激活状态更改为非激活状态。
[0013]优选地,所述传输模块包括装载腔室、大气机械手臂、中转腔室和/或真空机械手臂,所述工艺模块包括工艺腔室。
[0014]优选地,所述目标位置包括装载腔室,所述传输路径包括第一传输路径、第二传输路径、第三传输路径和/或第四传输路径;
[0015]所述重新计算物料的传输路径的步骤包括:
[0016]当所述大气机械手臂上有物料时,设定所述大气机械手臂为源位置,并重新计算所述第一传输路径;所述第一传输路径为所述物料从所述大气机械手臂直接传输到所述装载腔室的传输路径;
[0017]和/ 或,
[0018]当所述中转腔室内有物料时,设定所述中转腔室为源位置,并重新计算所述第二传输路径;所述第二传输路径为所述物料从所述中转腔室中传输到所述大气机械手臂,再传输到所述装载腔室的传输路径;
[0019]和/ 或,
[0020]当所述真空机械手臂上有物料时,设定所述真空机械手臂为源位置,并重新计算所述第三传输路径;所述第三传输路径为所述物料从所述真空机械手臂传输到所述中转腔室,再传输到所述大气机械手臂,最后传输到所述装载腔室的传输路径;
[0021]和/ 或,
[0022]当所述工艺腔室内有物料时,设定所述工艺腔室为源位置,并重新计算第四传输路径;所述第四传输路径为所述物料从所述工艺腔室中传输到所述真空机械手臂,接着传输到所述中转腔室,再传输到所述大气机械手臂,最后传输到所述装载腔室的传输路径。
[0023]优选地,所述采用所述传输路径将所述物料从源位置传输到目标位置的步骤包括:
[0024]采用所述传输路径生成对应的传输指令;
[0025]将所述传输指令发送至所述传输模块;所述传输模块用于采用所述传输指令将所述物料传输到所述目标位置。
[0026]优选地,当所述传输路径为所述第一传输路径时,生成的传输指令包括第一传输指令;所述第一传输指令为所述大气机械手臂直接将所述物料传输到所述装载腔室的传输指令;
[0027]当所述传输路径为所述第二传输路径时,生成的传输指令包括第二传输指令;所述第二传输指令为所述大气机械手臂从所述中转腔室中取出所述物料、再将所述物料传输到所述装载腔室的传输指令;
[0028]当所述传输路径为所述第三传输路径时,生成的传输指令包括第三传输指令;所述第三传输指令为所述真空机械手臂将所述物料传输到所述中转腔室,所述大气机械手臂从所述中转腔室中取出所述物料、再将所述物料传输到所述装载腔室的传输指令;
[0029]当所述传输路径为所述第四传输路径时,生成的传输指令包括第四传输指令;所述第四传输指令为所述真空机械手臂从所述工艺腔室中取出所述物料、再将所述物料传输到所述中转腔室,所述大气机械手臂从所述中转腔室中取出所述物料、再传输到所述装载腔室的传输路径的传输指令。
[0030]本发明实施例还公开了一种半导体设备异常时的物料处理装置,所述半导体设备包括工艺模块和传输模块,所述装置包括:
[0031]状态变量创建模块,用于针对当前任务创建状态变量;所述状态变量包括非激活状态和激活状态,所述非激活状态用于指示工艺模块或传输模块为正常状态,所述激活状态用于指示工艺模块或传输模块为异常状态;
[0032]激活状态更改模块,用于在监测到当前任务涉及的工艺模块或传输模块发生异常时,将所述状态变量从初始的非激活状态更改为激活状态;
[0033]传输路径计算模块,用于重新计算物料的传输路径;所述传输路径包括源位置和目标位置;
[0034]传输模块,用于采用所述传输路径将所述物料从所述源位置传输到所述目标位置;
[0035]非激活状态更改模块,用于若所述物料传输成功,则将所述状态变量从激活状态更改为非激活状态。
[0036]优选地,所述传输模块包括装载腔室、大气机械手臂、中转腔室和/或真空机械手臂,所述工艺模块包括工艺腔室。
[0037]优选地,所述目标位置包括装载腔室,所述传输路径包括第一传输路径、第二传输路径、第三传输路径和/或第四传输路径;
[0038]所述传输路径计算模块包括:
[0039]第一传输路径计算子模块,用于在所述大气机械手臂上有物料时,设定所述大气机械手臂为源位置,并重新计算所述第一传输路径;所述第一传输路径为所述物料从所述大气机械手臂直接传输到所述装载腔室的传输路径;
[0040]和/ 或,
[0041]第二传输路径计算子模块,用于在所述中转腔室内有物料时,设定所述中转腔室为源位置,并重新计算所述第二传输路径;所述第二传输路径为所述物料从所述中转腔室中传输到所述大气机械手臂,再传输到所述装载腔室的传输路径;
[0042]和/ 或,
[0043]第三传输路径计算子模块,用于在所述真空机械手臂上有物料时,设定所述真空机械手臂为源位置,并重新计算所述第三传输路径;所述第三传输路径为所述物料从所述真空机械手臂传输到所述中转腔室,再传输到所述大气机械手臂,最后传输到所述装载腔室的传输路径;
[0044]和/ 或,
[0045]第四传输路径计算子模块,用于在所述工艺腔室内有物料时,设定所述工艺腔室为源位置,并重新计算第四传输路径;所述第四传输路径为所述物料从所述工艺腔室中传输到所述真空机械手臂,接着传输到所述中转腔室,再传输到所述大气机械手臂,最后传输到所述装载腔室的传输路径。
[0046]优选地,所述传输模块包括:
[0047]传输指令生成子模块,用于采用所述传输路径生成对应的传输指令;
[0048]传输指令发送子模块,用于将所述传输指令发送至所述传输模块;所述传输模块用于采用所述传输指令将所述物料传输到所述目标位置。
[0049]优选地,当所述传输路径为所述第一传输路径时,生成的传输指令包括第一传输指令;所述第一传输指令为所述大气机械手臂直接将所述物料传输到所述装载腔室的传输指令;
[0050]当所述传输路径为所述第二传输路径时,生成的传输指令包括第二传输指令;所述第二传输指令为所述大气机械手臂从所述中转腔室中取出所述物料、再将所述物料传输到所述装载腔室的传输指令;
[0051]当所述传输路径为所述第三传输路径时,生成的传输指令包括第三传输指令;所述第三传输指令为所述真空机械手臂将所述物料传输到所述中转腔室
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