一种自动清除废液排放管路堵塞的装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体生产过程中废液的排放设备，具体地说是一种自动清除废液排放管路堵塞的装置。
【背景技术】
[0002]半导体生产过程中会产生大量化学废液，化学废液需要通过排废管路系统排放。在废液排放管路中经常会有沉积物附着在废液排放管的管壁上，积累的沉积物会使排废不顺畅。管道中沉积物长时间积累会造成排废管道堵塞，排废系统无法正常排放化学废液。管路系统的拆除清洗或更换会延误生产时间，也会增加生产成本。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种自动清除废液排放管路堵塞的装置。当排放管路堵塞时，该装置可以自动清洗排废管路，清除堵塞物，防止管路堵塞。
[0004]本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
[0005]本发明包括废液收集箱、清洗液供给泵、清洗液控制阀、清洗液槽、废液排放箱、排液控制阀、废液收集槽及清洗废液收集槽，其中废液收集箱的一个入口通过所述清洗液供给泵与清洗液槽连通，并在所述清洗液槽与清洗液供给泵之间设有清洗液控制阀，所述废液收集箱的另一个入口为废液入口，该入口处设有可开关的废液收集箱密封挡板，所述废液收集箱的出口通过废液排放管与所述废液排放箱的入口相连通；所述废液排放箱的一个出口为废液出口，该出口处设有可开关的废液排放箱密封挡板，由该出口流出的废液通过所述废液收集槽收集，所述废液排放箱的另一个出口与所述排液控制阀连通，所述清洗液槽内的清洗液经该排液控制阀、由所述清洗废液收集槽收集。
[0006]其中:所述废液收集箱的一个入口与清洗液供给泵的出口相连通，该清洗液供给泵的入口通过所述清洗液控制阀与所述清洗液槽连通，所述清洗液控制阀通过清洗液阀控制气缸控制开关；所述排液控制阀通过排液阀控制气缸控制开关；所述废液排放箱的另一个出口与排液控制阀的入口相连通，该排液控制阀出口连接的管路位于所述清洗废液收集槽的上方；
[0007]所述废液收集箱密封挡板铰接于废液收集箱另一个入口处，并通过收集箱挡板控制气缸控制开关；所述废液收集箱S封挡板的中部钦接于废液收集箱另Iv入口处，废液收集箱密封挡板的一端与所述收集箱挡板控制气缸的输出端铰接，另一端在关闭时密封所述废液收集箱另一个入口；
[0008]所述废液排放箱密封挡板铰接于废液排放箱一个出口处，并通过排放箱挡板控制气缸控制开关；所述废液排放箱密封挡板的中部铰接于废液排放箱一个出口处，废液排放箱密封挡板的一端与所述排放箱挡板控制气缸的输出端铰接，另一端在关闭时密封所述废液排放箱一个出口 ；所述废液排放箱位于废液收集槽的上方。
[0009]本发明的优点与积极效果为:
[0010]本发明可自动清洗废液排放管路，防止管路堵塞；当排放管路堵塞时，本发明可自动清除堵塞物，无需将管路拆除进行清洗，节省工作时间，提高工作效率。
【附图说明】
[0011]图1为本发明的结构示意图；
[0012]图2为本发明清除堵塞、排放生产废液时的工作状态图；
[0013]其中:I为废液排放箱密封挡板，2为废液收集箱，3为排放箱挡板控制气缸，4为废液排放管，5为废液收集箱，6为收集箱挡板控制气缸，7为废液收集箱密封挡板，8为清洗液供给泵，9为清洗液控制阀，10为清洗液阀控制气缸，11为清洗液槽，12为废液排放箱，13为排废控制阀，14为排废阀控制气缸，15为清洗废液收集槽。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图对本发明作进一步详述。
[0015]如图1、图2所本发明包括废液收集箱5、收集箱挡板控制气缸6、废液收集箱密封挡板7、清洗液供给泵8、清洗液控制阀9、清洗液阀控制气缸10、清洗液槽11、废液排放箱12、排液控制阀13、排液阀控制气缸14、废液排放箱密封挡板1、废液收集槽2、排放箱挡板控制气缸3及清洗废液收集槽15，其中废液收集箱)的一个入口通过管路与清洗液供给泵8的出口相连通，该清洗液供给泵8的入口通过管路与清洗液槽11相连通，并在清洗液供给泵8与清洗液槽11之间的管路上设有控制管路开关的清洗液控制阀9，该清洗液控制阀9通过安装在基础上的清洗液阀控制气缸10控制开关。废液收集箱5的另一个入口为废液入口，排放半导体生产中产生的废液由该入口进入；废液收集箱5的另一个入口铰接有可开关的废液收集箱密封挡板7，并通过安装在基础上的收集箱挡板控制气缸6控制开关；废液收集箱密封挡板7的中部铰接于废液收集箱5另一个入口处，废液收集箱密封挡板7的一端与收集箱挡板控制气缸6的输出端铰接，另一端在处于关闭状态时密封废液收集箱5另一个入口。
[0016]废液排放箱12位于废液收集槽2的上方，废液收集箱5的出口与废液排放管4的入口相连，废液排放管4的出口与废液排放箱12的入口连接；废液排放箱12的一个出口为废液出口，由该出口流出的废液通过废液收集槽2收集。废液排放箱12的一个出口处铰接可开关的废液排放箱密封挡板1，并通过安装在基础上的排放箱挡板控制气缸3控制开关；废液排放箱密封挡板I的中部铰接于废液排放箱12 —个出口处，废液排放箱密封挡板I的一端与排放箱挡板控制气缸3的输出端铰接，另一端在处于关闭状态时密封废液排放箱12一个出口。废液排放箱12的另一个出口通过管路与排液控制阀13的入口相连通，该排液控制阀13出口连接的管路位于清洗废液收集槽15的上方，清洗液槽11内的清洗液经该排液控制阀13、由清洗废液收集槽15收集，排液控制阀13通过安装在基础上的排液阀控制气缸14控制开关。
[0017]本发明的工作原理为:
[0018]排放半导体生产中产生的废液时:如图2所示，收集箱挡板控制气缸6控制废液收集箱密封挡板7，使废液收集箱密封挡板7打开；废液排放箱密封挡板I由排放箱挡板控制气缸3控制开启；清洗液控制阀9由清洗液阀控制气缸10控制关闭，排液控制阀13由排液阀控制气缸14控制关闭；产生的废液依次通过废液收集箱5、废液排放管4、废液排放箱12排放到废液收集槽2。
[0019]清洗废液排放管时或清除排废管堵塞物时:如图1所示，废液排放箱密封挡板I可由排放箱挡板控制气缸3控制关闭，废液收集箱密封挡板7可由收集箱挡板控制气缸6控制关闭；清洗液控制阀9由清洗液阀控制气缸10控制开启，排液控制阀13由排液阀控制气缸14控制开启；清洗液槽11中的清洗液可通过清洗液供给泵8加压流入废液收集箱5内，再经废液排放管4流向废液排放箱12，清除管路中堵塞物并可对管路进行清洗，清洗废液可通过排液控制阀13流入清洗废液收集槽15中。
【主权项】
1.一种自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:包括废液收集箱(5)、清洗液供给泵(8)、清洗液控制阀(9)、清洗液槽(11)、废液排放箱(12)、排液控制阀(13)、废液收集槽(2)及清洗废液收集槽(15)，其中废液收集箱(5)的一个入口通过所述清洗液供给泵(8)与清洗液槽(11)连通，并在所述清洗液槽(11)与清洗液供给泵(8)之间设有清洗液控制阀(9)，所述废液收集箱(5)的另一个入口为废液入口，该入口处设有可开关的废液收集箱密封挡板(7)，所述废液收集箱(5)的出口通过废液排放管(4)与所述废液排放箱(12)的入口相连通；所述废液排放箱(12)的一个出口为废液出口，该出口处设有可开关的废液排放箱密封挡板(I)，由该出口流出的废液通过所述废液收集槽(2)收集，所述废液排放箱(12)的另一个出口与所述排液控制阀(13)连通，所述清洗液槽(11)内的清洗液经该排液控制阀(13)、由所述清洗废液收集槽(15)收集。2.按权利要求1所述自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:所述废液收集箱(5)的一个入口与清洗液供给泵(8)的出口相连通，该清洗液供给泵(8)的入口通过所述清洗液控制阀(9)与所述清洗液槽(11)连通，所述清洗液控制阀(9)通过清洗液阀控制气缸(10)控制开关。3.按权利要求1所述自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:所述排液控制阀(13)通过排液阀控制气缸(14)控制开关。4.按权利要求1或3所述自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:所述废液排放箱(12)的另一个出口与排液控制阀(13)的入口相连通，该排液控制阀(13)出口连接的管路位于所述清洗废液收集槽(15)的上方。5.按权利要求1所述自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:所述废液收集箱密封挡板(7)铰接于废液收集箱(5)另一个入口处，并通过收集箱挡板控制气缸(6)控制开关。6.按权利要求5所述自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:所述废液收集箱密封挡板(7)的中部铰接于废液收集箱(5)另一个入口处，废液收集箱密封挡板(7)的一端与所述收集箱挡板控制气缸￠)的输出端铰接，另一端在关闭时密封所述废液收集箱(5)另一个入口。7.按权利要求1所述自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:所述废液排放箱密封挡板(I)铰接于废液排放箱(12) —个出口处，并通过排放箱挡板控制气缸(3)控制开关。8.按权利要求7所述自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:所述废液排放箱密封挡板(I)的中部铰接于废液排放箱(12) —个出口处，废液排放箱密封挡板(I)的一端与所述排放箱挡板控制气缸(3)的输出端铰接，另一端在关闭时密封所述废液排放箱(12) 一个出口。9.按权利要求1所述自动清除废液排放管路堵塞的装置，其特征在于:所述废液排放箱(12)位于废液收集槽(2)的上方。
【专利摘要】本发明涉及半导体生产过程中废液的排放设备，具体地说是一种自动清除废液排放管路堵塞的装置，包括废液收集箱、清洗液供给泵、清洗液控制阀、清洗液槽、废液排放箱、排液控制阀、废液收集槽及清洗废液收集槽，废液收集箱的一个入口依次与清洗液供给泵、清洗液控制阀、清洗液槽连通，另一个入口处设有可开关的废液收集箱密封挡板，废液收集箱的出口通过废液排放管与废液排放箱的入口相连通；废液排放箱的一个出口处设有可开关的废液排放箱密封挡板，另一个出口与排液控制阀连通，清洗液槽内的清洗液由清洗废液收集槽收集，废液由废液收集槽收集。本发明可自动清洗废液排放管路，防止管路堵塞，无需将管路拆除进行清洗，节省工作时间。
【IPC分类】F16L55/24, B08B9/032
【公开号】CN105170578
【申请号】
【发明人】门恩国, 王继周
【申请人】沈阳芯源微电子设备有限公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2014年5月30日