用于多级真空泵的防冲击结构和具有该结构的多级真空泵的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空栗技术领域，具体地说是一种用于多级真空栗的防冲击结构和具有该结构的多级真空栗。
【背景技术】
[0002]真空栗吸取工作介质时会由栗腔和转子压缩工作介质，会形成较大的压缩比，压缩比的数值经常为3?100之间，普遍的机械式真空栗的压缩比为2?15之间，实际测量栗的压缩比的方法是测量栗进气口与排气口的压力，比如罗茨栗的进气口压力为IPa，前级提供的背压力为15Pa，该栗的压缩比即位15。在固定压缩比的条件下，多级真空栗吸取I个大气压力的工作介质，可以在排气口压力形成15个大气压力的理论值，根据经验，该压力也会在2?3个大气压之间，多级真空栗排气压力约为2大气压，该栗在第一级排气口经过压缩后已经达到排气条件，因为管路原因，继续流通到后面的级别，再进行压缩。
[0003]真空栗的抽速计算为S = Q/t，其中S:真空栗抽速；Q:抽取的气体量；T:抽气时间。
[0004]真空栗在工作中抽取的气体量Q = Q1-Q2，其中Q1:理论抽速；Q2:返流量，而返流量Q2取决于Q2= AP/L，其中Δ P:真空栗进气口与排气口的压差；L:真空栗的返流流阻，真空栗的返流流阻L是一个定值；即真空栗进气口与排气口的压差会对抽速造成决定性影响。
[0005]如上所述的压缩过程中工作介质压力较高，相对的各个级别间的压差也会升高，腔体的返流会增大；会影响栗在低压段的抽速。
【发明内容】
[0006]针对上述问题，本发明的目的在于提供一种用于多级真空栗的防冲击结构和具有该结构的多级真空栗。
[0007]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0008]—种用于多级真空栗的防冲击结构，包括真空栗腔体、压力控制阀门、排气切换阀门及冲击管路，其中真空栗腔体上设有腔体排气口，所述冲击管路的一端与所述腔体排气口连通，另一端与多级真空栗的栗排气管路连通，所述冲击管路上设有压力控制阀门和/或排气切换阀门。
[0009]所述真空栗腔体上的腔体排气口处设有用于控制压力控制阀门的排气压力传感器。所述腔体排气口设置于真空栗腔体的底部。
[0010]所述多级真空栗的一级腔体和二级腔体上均设有所述防冲击结构。所述多级真空栗至少为三级真空栗。
[0011]本发明的优点及有益效果是:本发明将经过压缩的已经达到许用排气压力的工作介质直接排放到排气口处，由于压缩过程减少，可以减少由于腔体级别压力差产生的反流，可以提高在低真空阶段的抽速。
[0012]说明书附图
[0013]图1为本发明中防冲击结构的结构示意图；
[0014]图2为本发明中具有防冲击结构的多级真空栗的结构示意图。
[0015]其中:1为真空栗腔体，2为排气压力传感器，3为压力控制阀，4为排气切换阀，5为冲击管路，10为一级腔体，11为二级腔体，12为五级腔体，13为一级防冲击排气结构，14为二级防冲击排气结构，15为栗排气管路。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本发明作进一步的描述。
[0017]如图1所示，本发明用于多级真空栗的防冲击结构包括真空栗腔体1、压力控制阀门3、排气切换阀门4及冲击管路5，其中真空栗腔体I上设有腔体排气口，所述冲击管路5的一端与所述腔体排气口连通，另一端与多级真空栗的排气管路连通，所述冲击管路5上设有压力控制阀门3和/或排气切换阀门4。所述真空栗腔体I上的腔体排气口处设有用于控制压力控制阀门3的排气压力传感器2，所述腔体排气口设置于真空栗腔体I的底部。
[0018]如图2所示，一种具有防冲击结构的多级真空栗，所述多级真空栗的一级腔体10和二级腔体11上均设有所述防冲击结构。所述多级真空栗至少为三级真空栗，本实施例采用五级真空栗。
[0019]所述多级真空栗可以完成在抽取压力较高的工艺气体时，在达到一级或二级的排气压力的情况下，该级别真空栗排出压力控制阀门3控制的工艺气体，经由冲击管路5向排气管路排出的过程。
[0020]实施例一
[0021]—种用于多级真空栗的防冲击结构包括真空栗腔体1、压力控制阀门3、排气切换阀门4及冲击管路5，其中真空栗腔体I的底部设有腔体排气口，所述冲击管路5的一端与所述腔体排气口连通，另一端与多级真空栗的排气管路连通，所述冲击管路5上设有压力控制阀门3和排气切换阀门4。所述腔体排气口处设有用于控制压力控制阀门3的排气压力传感器2。所述防冲击结构可以完成该级真空栗在抽取压力较高的工艺气体时，并在达到该级别真空栗设定的排气压力时，向排气管路进行排气的过程。
[0022]实施例二
[0023]—种用于多级真空栗的防冲击结构包括真空栗腔体1、压力控制阀门3及冲击管路5，其中真空栗腔体I的底部设有腔体排气口，所述冲击管路5的一端与所述腔体排气口连通，另一端与多级真空栗的排气管路连通，所述冲击管路5上设有压力控制阀门3，所述腔体排气口处设有用于控制压力控制阀门3的排气压力传感器2。所述防冲击结构可以完成该级真空栗在抽取压力较高的工艺气体时，并在达到该级别真空栗设定的排气压力时，向排气管路进行排气的过程。
[0024]实施例三
[0025]—种用于多级真空栗的防冲击结构包括真空栗腔体1、排气切换阀门4及冲击管路5，其中真空栗腔体I的底部设有腔体排气口，所述冲击管路5的一端与所述腔体排气口连通，另一端与多级真空栗的排气管路连通，所述冲击管路5上设有排气切换阀门4。所述防冲击结构可以完成该级真空栗在抽取压力较高的工艺气体时，并在达到该级别真空栗设定的排气压力时，向排气管路进行排气的过程。
[0026]所述防冲击结构可以实现在多级真空栗用于装载腔、卸载腔等频繁工作在大气压力状态下的栗的冲击保护。在现实工艺中，当抽取大气时，在排气切换阀门4和压力控制阀门3的作用下，工艺气体经由排气管路直接排放到栗排气口或者后面级别的栗腔，然后再排出到出气口。因此，本发明将一级腔体压缩的工艺气体直接排放到了排气口，降低了由二、三、四、五级腔体进行抽真空所产生的负载，另外由于压缩过程减少，可以减少由于腔体级别压力差产生的反流，可以提高在低真空阶段的抽速。
【主权项】
1.一种用于多级真空栗的防冲击结构，其特征在于:包括真空栗腔体(I)、压力控制阀门(3)、排气切换阀门(4)及冲击管路(5)，其中真空栗腔体(I)上设有腔体排气口，所述冲击管路(5)的一端与所述腔体排气口连通，另一端与多级真空栗的栗排气管路连通，所述冲击管路(5)上设有压力控制阀门(3)和/或排气切换阀门(4)。2.按权利要求1所述的用于多级真空栗的防冲击结构，其特征在于:所述真空栗腔体(I)上的腔体排气口处设有用于控制压力控制阀门(3)的排气压力传感器(2)。3.按权利要求1所述的用于多级真空栗的防冲击结构，其特征在于:所述腔体排气口设置于真空栗腔体(I)的底部。4.一种具有权利要求1-3任一项所述防冲击结构的多级真空栗，其特征在于:所述多级真空栗的一级腔体(10)和二级腔体(11)上均设有所述防冲击结构。5.按权利要求4所述的多级真空栗，其特征在于:所述多级真空栗至少为三级真空栗。
【专利摘要】本发明涉及真空泵技术领域，具体地说是一种用于多级真空泵的防冲击结构和具有该结构的多级真空泵。一种用于多级真空泵的防冲击结构，包括真空泵腔体、压力控制阀门、排气切换阀门及冲击管路，其中真空泵腔体上设有腔体排气口，所述冲击管路的一端与所述腔体排气口连通，另一端与多级真空泵的排气管路连通，所述冲击管路上设有压力控制阀门和/或排气切换阀门。所述多级真空泵的一级真空泵腔体和二级真空泵腔体上均设有所述防冲击结构。本发明将经过压缩的已经达到许用排气压力的工作介质直接排放到排气口处，由于压缩过程减少，可以减少由于腔体级别压力差产生的反流，可以提高在低真空阶段的抽速。
【IPC分类】F04C25/02, F04C29/00, F04C29/12
【公开号】CN105649986
【申请号】
【发明人】王光玉, 孔祥玲, 张晓玉, 雷震霖
【申请人】中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2014年11月10日