一种蒸镀设备以及对位方法
【专利摘要】本发明提供了一种蒸镀设备以及对位方法，涉及显示技术领域，用于提高待蒸镀基板和掩膜板的对位精度。所述蒸镀设备包括：真空腔室，安装于所述真空腔室内的承托构件和基台，所述承托构件位于基台的上方并可相对所述基台升降，所述蒸镀设备还包括安装于所述真空腔室内且可升降的支撑构件，在对位过程中，所述支撑构件位于所述承托构件和所述掩膜板之间，并支撑所述待蒸镀基板的中间区域。所述蒸镀设备用于在待蒸镀基板上制备所需的薄膜。
【专利说明】
一种蒸镀设备以及对位方法
技术领域
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种蒸镀设备以及对位方法。
【背景技术】
[0002]OLED(Organic Light-Emitting D1de，有机发光二极管)显示装置是目前主流的显示装置，具有功耗低、响应速度快、工作范围宽、易于实现柔性显示、明暗比例突出以及高画质的色彩等诸多优点。
[0003]OLED显示装置包括色阻层，该色阻层包括R(红色)、G(绿色)和B(蓝色)三种色阻，形成RGB色阻一般采用自下而上的蒸镀工艺。所述自下而上的蒸镀工艺的过程大致为:将掩膜板放置于蒸镀设备内的基台上，利用蒸镀设备的承托构件承托待蒸镀基板，将承托构件下降，使待蒸镀基板下降至距离掩膜板较近的位置，对待蒸镀基板和掩膜板进行对位，完成对位后，将待蒸镀基板放置于掩膜板上，开始蒸镀。
[0004]但是，上述蒸镀过程存在以下问题:由于承托构件仅支撑待蒸镀基板的边缘，而待蒸镀基板本身较薄，抵抗变形的能力较差，因此在自身重力的作用下待蒸镀基板的中间区域会下沉，影响待蒸镀基板和掩膜板之间的对位精度，导致最终得到的RGB色阻位置偏移，引起混色。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种蒸镀设备以及对位方法，以提高待蒸镀基板和掩膜板之间的对位精度。
[0006]为达到上述目的，本发明采用如下技术方案:
[0007]本发明的第一方面提供了一种蒸镀设备，包括:真空腔室，安装于所述真空腔室内的承托构件和基台，所述承托构件位于基台的上方并可相对所述基台升降，所述蒸镀设备还包括安装于所述真空腔室内且可升降的支撑构件，在待蒸镀基板与掩膜板的对位过程中，所述支撑构件位于所述承托构件和所述掩膜板之间，并支撑所述待蒸镀基板的中间区域。
[0008]本发明所提供的蒸镀设备中，在掩膜板和用于支撑待蒸镀基板的承托构件之间设置有支撑构件，在将待蒸镀基板与掩膜板进行对位时，利用支撑构件支撑待蒸镀基板的中间区域，以减小待蒸镀基板的中间区域的下沉量，从而相比于现有技术中仅依靠承托构件支撑待蒸镀基板的边缘引起待蒸镀基板的中间区域下沉量较大的方案，本发明所提供的技术方案能够使待蒸镀基板与掩膜板进行对位时，待蒸镀基板的中间区域下沉量明显减少，显著提高了待蒸镀基板与掩膜板的对位精度。
[0009]本发明的第二方面提供了一种对位方法，所述对位方法适用于本发明的第一方面所提供的蒸镀设备，所述对位方法包括:
[0010]将掩膜板放置于所述蒸镀设备的基台上、将待蒸镀基板放置于所述蒸镀设备的承托构件上，所述蒸镀设备的支撑构件支撑所述待蒸镀基板的中间区域；
[0011]使所述承托构件和所述支撑构件同步下降至预定位置；
[0012]对所述待蒸镀基板和所述掩膜板进行对位。
[0013]本发明所提供的对位方法的有益效果与本发明所提供的蒸镀设备的有益效果相同，此处不再赘述。
【附图说明】
[0014]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0015]图1为本发明实施例一所提供的蒸镀设备的结构示意图；
[0016]图2为本发明实施例一所提供的蒸镀设备中支撑构件的结构示意图；
[0017]图3a为本发明实施例一所提供的蒸镀设备中支撑柱的主视图一；
[0018]图3b为本发明实施例一所提供的蒸镀设备中支撑柱的主视图二；
[0019]图3c为本发明实施例一所提供的蒸镀设备中支撑柱的主视图三；
[0020]图3d为本发明实施例一所提供的蒸镀设备中支撑柱的主视图四；
[0021]图4为本发明实施例二所提供的蒸镀设备中支撑构件的结构示意图。
[0022]附图标记说明:
[0023]1-真空腔室；2-冷却板移动构件；
[0024]3-冷却板；4-待蒸镀基板；
[0025]5-承托构件；6-基板托台；
[0026]7-基板托台移动构件；8-支撑构件；
[0027]81-支撑柱；81A-支撑柱主体；
[0028]81B-支撑块；82A-第一折叠杆；
[0029]82B-第二折叠杆；82C-第三折叠杆；
[0030]9-传动构件；91-转轴；
[0031]91A-第一转轴；91B-第二转轴；
[0032]92-芯轴；93-链条；
[0033]93A-第一链条；93B-第二链条；
[0034]94A、94B_ 齿轮；94C-第一齿轮；
[0035]94D-第二齿轮；94E-第三齿轮；
[0036]94F-第四齿轮；10-掩膜板；
[0037]11-基台；12-掩膜板框架；
[0038]13-掩膜板框架固定构件；14-升降杆。
【具体实施方式】
[0039]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合附图，对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，均属于本发明保护的范围。
[0040]实施例一
[0041]如图1所示，本实施例提供了一种蒸镀设备，包括真空腔室1、承托构件5、基台11和支撑构件8，其中，承托构件5和基台11安装在真空腔室I内，且承托构件5位于基台11的上方并可相对基台11升降；承托构件5用于在蒸镀时支撑待蒸镀基板4的边缘;基台11用于支撑蒸镀时所用的掩膜板10;支撑构件8安装在真空腔室I的侧壁上，且具有可升降的特点;在待蒸镀基板4与掩膜板10的对位过程中，支撑构件8位于承托构件5和掩膜板10之间，用于支撑待蒸镀基板4的中间区域，优选地，支撑构件8支撑待蒸镀基板4的中间区域时，支撑构件8的支撑面与承托构件5支撑待蒸镀基板4的边缘的支撑面处于同一水平面内。
[0042]使用时，承托构件5支撑待蒸镀基板4的边缘，支撑构件8支撑待蒸镀基板4的中间区域，承托构件5与支撑构件8同步下降至预定位置，由于支撑构件8的支撑面与承托构件5支撑待蒸镀基板4的边缘的支撑面处于同一水平面内，使得在待蒸镀基板4与掩膜板10进行对位过程中，能够保持待蒸镀基板4的中间区域平整。因此，与现有技术在待蒸镀基板的中间区域有很大下沉量进行对位的情况相比，本实施例所提供的技术方案在对位过程中，待蒸镀基板4的中间区域的下沉量较小，从而显著地提高了待蒸镀基板4与掩膜板10的对位精度。
[0043]并且，由于现有技术中待蒸镀基板的中间区域下沉量较大，因此为了在对位时保持待蒸镀基板与掩膜板不相互接触，不得不增大待蒸镀基板与掩膜板之间的距离，这无疑会造成对位精度的进一步下降。本实施例中，由于支撑构件8能够支撑待蒸镀基板4的中间区域，使待蒸镀基板4的中间区域下沉量较小，因此待蒸镀基板4能够下降至距离掩膜板10非常近的位置进行对位，从而进一步提高对位精度。
[0044]为了实现对待蒸镀基板4的中间区域的支撑，支撑构件8的具体结构可以有多种，在本实施例中，支撑构件8采用支撑柱81和机械手臂的配合结构，其中，支撑柱81安装在机械手臂的一端上，在待蒸镀基板4与掩膜板10的对位过程中，支撑柱81的上端支撑待蒸镀基板4的中间区域。机械手臂的另一端安装在真空腔室I的侧壁上，用来支撑和固定支撑柱81。优选的，机械手臂可水平位于承托构件5与掩膜板10之间，支撑柱81竖直安装在机械手臂的端部，以便于支撑柱81支撑待蒸镀基板4的中间区域。需要说明的是，本实施例中所述的“机械手臂的一端安装在真空腔室I的侧壁上”可以是指机械手臂的一端直接安装在真空腔室I的侧壁上，也可以是指机械手臂的一端通过某些部件间接安装在真空腔室I的侧壁上。
[0045]如图1?图2所示，在待蒸镀基板4与掩膜板10对位好之后，需要将待蒸镀基板4放置在掩膜板10上，以完成对待蒸镀基板4的蒸镀，可见在将待蒸镀基板4放置在掩膜板10上之前，需要将支撑构件8撤回，以避免支撑构件8对待蒸镀基板4造成阻挡。为了方便支撑构件8撤回，机械手臂优选的可采用可折叠的结构，这样不仅可以增加机械手臂的长度，以利于支撑柱81支撑大面积的待蒸镀基板4，而且节省了支撑构件8的占用空间。
[0046]对于上述机械手臂为可折叠结构的方案，优选的机械手臂可以为双段折叠的结构。具体的，机械手臂包括第一折叠杆82A、第二折叠杆82B和传动构件9，其中，第二折叠杆82B的一端安装在真空腔室I的侧壁上，第二折叠杆的另一端与第一折叠杆82A的一端铰接；第一折叠杆82A的另一端设置有支撑柱81;传动构件9与第一折叠杆82A相连，并用于驱动第一折叠杆82A转动。
[0047]进一步的，为了最大限度的节省支撑构件8的占用空间，第二折叠杆82B的长度可不小于第一折叠杆82A，从而折叠后第一折叠杆82A能够与第二折叠杆82B完全重叠，对于这种完全重叠的情形，机械手臂折叠后的形状可参见图2中虚线所示。
[0048]再次参见图2，对于上述机械手臂为双段折叠结构的方案，传动构件9可包括:芯轴92，芯轴92的一端安装在真空腔室I的侧壁上，另一端与第二折叠杆82B相连，芯轴92可绕自身轴心转动，芯轴92上设有齿轮94B;转轴91，第一折叠杆82A通过转轴91与第二折叠杆82B铰接，且转轴91与第一折叠杆82A固定连接，转轴91上设有齿轮94A;链条93，啮合在转轴91的齿轮94A与芯轴92的齿轮94B上的链条93。
[0049]基于上述传动构件9的结构，当需要对待蒸镀基板4进行支撑时，芯轴92转动，带动设置于自身上的齿轮94B转动，从而带动啮合在齿轮94B上的链条93传动，链条93传动带动设置于转轴91上的齿轮94A转动，进而带动转轴91转动，转轴91转动带动第一折叠杆82A展开，使第一折叠杆82A端部的支撑柱81运动至待蒸镀基板4的下方，并作用于待蒸镀基板4的中间区域上，实现对待蒸镀基板4的支撑。
[0050]由上述需要对待蒸镀基板4进行支撑时传动构件9的传动过程可以想见，当对位完成后需要将支撑构件8撤回时，芯轴92反方向(相对于需要对待蒸镀基板4进行支撑时的转动方向)转动，依次带动齿轮94B转动，链条93传动，齿轮94A转动，转轴91转动，从而第一折叠杆82A折叠，实现对支撑构件8的撤回。
[0051]对于上述机械手臂为双段折叠的结构，第二折叠杆82B优选的可以为空心结构，以方便将链条93安装在第二折叠杆82B的内部，从而节省了链条93在真空腔室I内部的占用空间，简化了真空腔室I的内部结构。
[0052]对于第二折叠杆82B为空心结构的方案，转轴91上的齿轮94A和芯轴92上的齿轮94B可设置在第二折叠杆82B内部，从而节省了传动构件9在真空腔室I内部的占用空间，简化了真空腔室I的内部结构。
[0053]本实施例中，支撑构件8具有可升降的特点，为了实现支撑构件8的可升降功能，优选的，可将支撑构件8的机械手臂通过升降杆14安装在真空腔室I的侧壁上，也就是说，将升降杆14的一端与机械手臂82远离支撑柱81的一端相连，将升降杆14的另一端安装在真空腔室I的侧壁上，该升降杆14能够带动支撑构件8进行升降。进一步的，升降杆14可以设计成空心结构，将芯轴92的轴心设置于升降杆14的内部，从而节省了芯轴92在真空腔室I内部的占用空间，简化了真空腔室I的内部结构。
[0054]为了更好地支撑待蒸镀基板4的中间区域，使待蒸镀基板4在对位过程中更加平整，支撑构件8的数量可以为多个，在对位时，各支撑构件8的支撑柱81支撑于待蒸镀基板4的中间区域，作用位置优选的可相对于待蒸镀基板4的中心对称分布，从而加大了对待蒸镀基板4中间区域的支撑范围，减小待蒸镀基板4中间区域的下沉量。
[0055]由于在待蒸镀基板4与掩膜板10的对位过程中，待蒸镀基板4与掩膜板10之间的距离越近对位精度越高，所以在保证支撑柱81对待蒸镀基板4具有足够的支撑强度的前提下，支撑柱81的长度越小，越能最大限度地增大对位精度。优选的，支撑柱81的长度可为Imm?30mm ο
[0056]支撑柱81的具体结构可以有多种。示例性地，如图3a所示，支撑柱81可包括支撑柱主体81A和设置于支撑柱主体81A上端的支撑块81B，其中，支撑柱主体81A可为圆柱状结构，支撑块81B为半球体结构，这样的结构可以减小支撑柱81与待蒸镀基板4的接触面积，减少对待蒸镀基板4的损伤。
[0057]或者，如图3b所示，支撑柱81可包括支撑柱主体81A和支撑块81B，其中，支撑柱主体81A为圆柱状结构，支撑块81B为设置在支撑柱主体81A上端的圆柱状结构，支撑块81B的直径小于支撑柱主体81A的直径，以减小支撑柱81与待蒸镀基板4的接触面积，减少对待蒸镀基板4的损伤。
[0058]或者，如图3c所示，支撑柱81可包括支撑柱主体81A和支撑块81B，其中，支撑柱主体81A为圆柱状结构，支撑块81B为设置在支撑柱主体81A上端的圆台状结构，支撑块81B的远离支撑柱主体81A的表面为上面，支撑块81B的上面的直径大于支撑柱主体81A的直径，这样的结构能够增大支撑柱81与待蒸镀基板4的接触面积，从而为待蒸镀基板4提供较大的支撑力。
[0059]或者，如图3d所示，支撑柱81为圆柱状结构，以简化支撑柱81的结构，降低生产成本。
[0060]实施例二
[0061]为了进一步的减小支撑构件8的占用空间，并增大支撑构件8对待蒸镀基板4的支撑强度，优选的机械手臂还可以采用三段折叠的结构。
[0062]如图4所示，机械手臂82包括第一折叠杆82A、第二折叠杆82B、第三折叠杆82C和传动构件9，其中，第三折叠杆82C的一端固定安装在真空腔室I的侧壁上，另一端与第二折叠杆82B的一端铰接;第二折叠杆82B的另一端与第一折叠杆82A的一端铰接，第一折叠杆82A的另一端设置有支撑柱81;传动构件9与第一折叠杆82A相连，并用于驱动第一折叠杆82A的转动。
[0063]进一步的，为了最大限度的节省支撑构件8的占用空间，第二折叠杆82B的长度可不小于第一折叠杆82A，第三折叠杆82C的长度可不小于第二折叠杆82B，从而折叠后第一折叠杆82A能够与第二折叠杆82B完全重叠;或者，第二折叠杆82B能够与第三折叠杆82C完全重叠，对于这种完全重叠的情形，机械手臂82折叠后的形状可参见图4中虚线所示。
[0064]再次参见图4，对于机械手臂的三段折叠结构的方案，传动构件9可包括:芯轴92，芯轴92的一端安装在真空腔室I的侧壁上，另一端与第三折叠杆82C相连，芯轴92可绕自身轴心转动，芯轴92上设有第四齿轮94F;第二转轴91B，第二折叠杆82B通过第二转轴91B与第三折叠杆82C铰接，第二转轴91B与第二折叠杆82B固定连接，且第二转轴91B上设有第二齿轮94D和第三齿轮94E;第一转轴91A，第一折叠杆82A通过第一转轴91A与第二折叠杆82B铰接，第一转轴91A与第一折叠杆82A固定连接，且第一转轴9IA上设有第一齿轮94C;第一链条93A，啮合在第一齿轮91C和第二齿轮94D上的第一链条93A;第二链条93B，啮合在第三齿轮94E和第四齿轮94F上的第二链条93B。
[0065]基于上述传动构件9的结构，当需要对待蒸镀基板4进行支撑时，芯轴92转动，带动设置在自身上的第四齿轮94F转动，从而带动啮合在第四齿轮94F上的第二链条93B传动，第二链条93B传动带动设置在第二转轴91B上的第三齿轮94E转动，从而带动啮合在第三齿轮94E上的第一链条93A传动，第一链条93A传动带动设置在第二转轴91B上的第二齿轮94D的转动，进而带动第一转轴91A转动，第一转轴91A带动第一折叠杆82A的展开，使第一折叠杆82A端部的支撑柱81运动至待蒸镀基板4下方的中间区域，进行对待蒸镀基板4的支撑。
[0066]由上述需要对待蒸镀基板4进行支撑时传动构件9的传动过程可以想见，当对位完成后需要将支撑构件8撤回时，芯轴92反方向(相对于需要对待蒸镀基板4进行支撑时的转动方向)转动，依次带动第四齿轮94F转动，第二链条93B传动，第三齿轮94E转动，第二转轴91B转动，第二齿轮94C转动，第一链条93A传动，第一齿轮94C，第一转轴91A转动，从而第一折叠杆82A折叠，实现对支撑构件8的撤回。
[0067]本实施例中的三段折叠的结构，第二折叠杆82B和第三折叠杆82C优选的均为空心结构，以方便将第一链条93A安装在第二折叠杆82B的内部，第二链条93B安装在第三折叠杆82C的内部，从而节省了传动构件9的占用空间，简化了真空腔室I的内部结构。
[0068]本实施例中，支撑构件8具有可升降的特点，为了实现支撑构件8的可升降功能，优选的，可将支撑构件8的机械手臂通过升降杆14安装在真空腔室I的侧壁上，也就是说，将升降杆14的一端与机械手臂82远离支撑柱81的一端相连，将升降杆14的另一端安装在真空腔室I的侧壁上，该升降杆14能够带动支撑构件8进行升降。进一步的，升降杆14可以设计成空心结构，将芯轴92的轴心设置于升降杆14的内部，从而节省了芯轴92在真空腔室I内部的占用空间，简化了真空腔室I的内部结构。
[0069]本实施例中支撑构件8的设置数量及分布情况、支撑柱81的长度及具体结构等的设计可参见实施例一中相应部分的设计，此处不再赘述。
[0070]实施例三
[0071]本实施例提供了一种对位方法，该对位方法适用于实施例一和实施例二的蒸镀设备，参见图1，该对位方法包括以下步骤:
[0072]步骤S1:将掩膜板10放置于蒸镀设备的基台11上，将待蒸镀基板4放置于蒸镀设备的承托构件5上，利用蒸镀设备的支撑构件8支撑待蒸镀基板4的中间区域；
[0073]步骤S2:将承托构件5和支撑构件8同步下降至预定位置；
[0074]步骤S3:对待蒸镀基板4和掩膜板10进行对位。
[0075]现有技术中，在将待蒸镀基板与掩膜板进行对位时，由于重力作用使得待蒸镀基板的中间区域容易下沉，从而造成待蒸镀基板与掩膜板之间的对位精度不高，影响蒸镀效果。本实施例所提供的技术方案，由于支撑构件8能够支撑待蒸镀基板4的中间区域，保证在整个对位过程中待蒸镀基板4的中间区域不下沉，因此能够显著地提高待蒸镀基板4与掩膜板10的对位精度。
[0076]并且，由于支撑构件8支撑待蒸镀基板4的中间区域，使待蒸镀基板4保持平整，因此在保证待蒸镀基板4与掩膜板10不接触的前提下，待蒸镀基板4能够下降至距离掩膜板非常近的位置，从而进一步提高对位精度。
[0077]以上所述仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种蒸镀设备，包括:真空腔室，安装于所述真空腔室内的承托构件和基台，所述承托构件位于所述基台的上方并可相对所述基台升降，其特征在于，所述蒸镀设备还包括安装于所述真空腔室内且可升降的支撑构件，在待蒸镀基板与掩膜板的对位过程中，所述支撑构件位于所述承托构件和所述掩膜板之间，并支撑所述待蒸镀基板的中间区域。2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述支撑构件包括一端安装在所述真空腔室的侧壁上的机械手臂，所述机械手臂的另一端设置有支撑柱，在待蒸镀基板与掩膜板的对位过程中，所述支撑柱的上端与所述待蒸镀基板的中间区域相抵。3.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述机械手臂可折叠，所述机械手臂包括第一折叠杆、第二折叠杆和传动构件;其中， 所述第二折叠杆的一端固定安装在所述真空腔室的侧壁上； 所述第一折叠杆的一端与所述第二折叠杆的另一端铰接，所述第一折叠杆的另一端设置有所述支撑柱； 所述传动构件与所述第一折叠杆相连，用于驱动所述第一折叠杆转动。4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述传动构件包括: 带有齿轮的芯轴，所述芯轴的一端安装在所述真空腔室的侧壁上，另一端与所述第二折叠杆相连，且所述芯轴可绕自身轴心转动； 带有齿轮的转轴，所述第一折叠杆通过所述转轴与所述第二折叠杆铰接，且所述转轴与所述第一折叠杆固定连接； 分别连接所述转轴上的齿轮和所述芯轴上的齿轮的链条。5.根据权利要求4所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第二折叠杆为空心结构，所述链条设置于所述第二折叠杆的内部。6.根据权利要求2所述的蒸镀设备，其特征在于，所述机械手臂可折叠，所述机械手臂包括第一折叠杆、第二折叠杆、第三折叠杆和传动构件;其中， 所述第三折叠杆的一端固定安装在所述真空腔室的侧壁上； 所述第二折叠杆的一端与所述第三折叠杆的另一端铰接； 所述第一折叠杆的一端与所述第二折叠杆的另一端铰接，所述第一折叠杆的另一端设置有所述支撑柱； 所述传动构件与所述第一折叠杆相连，用于驱动所述第一折叠杆转动。7.根据权利要求6所述的蒸镀设备，其特征在于，所述传动构件包括: 带有第四齿轮的芯轴，所述芯轴的一端安装在所述真空腔室的侧壁上，另一端与所述第三折叠杆相连，且所述芯轴可绕自身轴心转动； 带有第二齿轮、第三齿轮的第二转轴，所述第二折叠杆通过所述第二转轴与所述第三折叠杆铰接，且所述第二转轴与所述第二折叠杆固定连接； 带有第一齿轮的第一转轴，所述第一折叠杆通过所述第一转轴与所述第二折叠杆铰接，且所述第一转轴与所述第一折叠杆固定连接； 分别连接所述第一齿轮和所述第二齿轮的第一链条； 分别连接所述第三齿轮和所述第四齿轮的第二链条。8.根据权利要求7所述的蒸镀设备，其特征在于，所述第二折叠杆和所述第三折叠杆均为空心结构，所述第一链条设置于所述第二折叠杆内部，所述第二链条设置于所述第三折叠杆内部。9.根据权利要求4、5、7或8任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备还包括升降杆，所述升降杆与所述机械手臂的远离所述支撑柱的一端相连，所述机械手臂通过所述升降杆安装在所述真空腔室的侧壁上，所述升降杆用于带动所述支撑构件升降； 所述升降杆为空心结构，所述芯轴设置于所述升降杆的内部。10.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述支撑构件的数量为多个，在待蒸镀基板与掩膜板的对位过程中，各所述支撑构件的支撑柱支撑在所述待蒸镀基板上的作用位置相对于所述待蒸镀基板的中心对称分布，且所述支撑柱的长度为Imm?30_。11.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述支撑柱的上端的端面为半球面；或者， 所述支撑柱包括:圆柱状的支撑柱主体，及设置于所述支撑柱主体上端的圆柱状的支撑块，所述支撑块的直径小于所述支撑柱主体的直径;或者， 所述支撑柱包括:圆柱状的支撑柱主体，及设置于所述支撑柱主体上端的圆台状的支撑块，所述支撑块的远离所述支撑柱主体的表面为顶面，所述支撑块的顶面的直径大于所述支撑柱主体的直径。12.—种对位方法，其特征在于，所述对位方法适用于权利要求1?11任一项所述的蒸镀设备，所述对位方法包括: 将掩膜板放置于所述蒸镀设备的基台上、将待蒸镀基板放置于所述蒸镀设备的承托构件上，所述蒸镀设备的支撑构件支撑所述待蒸镀基板的中间区域； 使所述承托构件和所述支撑构件同步下降至预定位置； 对所述待蒸镀基板和所述掩膜板进行对位。
【文档编号】C23C14/24GK105821372SQ201610177514
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2016年3月23日
【发明人】李浩永, 金甲锡, 金薰
【申请人】合肥欣奕华智能机器有限公司