一种具有减震结构的微机电测量装置及其减震装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及MEMS惯性测量单元传感器，尤其涉及一种具有减震结构的MEMS惯性测量装置。
【背景技术】
[0002]MEMS即微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)，是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、陀螺仪传感器等等。
[0003]MEMS惯性传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。广泛应用于消费类电子产品，例如飞行器、智能手环等。
[0004]MEMS惯性测量单元因其工作原理，以及本身的性能，在其应用的时候需要做减震处理，去除在固定在设备上使用的时候，由设备本身震动所产生的无效数据，这些无效数据会给系统操作的时候造成很大的误判，严重影响使用效果。
[0005]目前主流的解决方案是在安装MEMS惯性测量单元的基板与设备之间使用减震球，或者双面海绵胶之类的装置，所能达到的效果非常有限。
【实用新型内容】
[0006]鉴于以上不足，本实用新型提供了一种微机电测量装置的减震装置，包括:壳体和减震介质，其中所述减震介质容纳在所述壳体中，所述减震介质中留有用于容纳测量单元的空间。
[0007]优选地，所述减震介质中还留有用于容纳连接线的空间，所述壳体上留有用于供所述连接线延伸到壳体之外的空隙。
[0008]优选地，所述减震介质为能够吸收高频振动的固态弹性介质、液态介质或半凝固态介质之一或者为其中两种或两种以上的混合物。
[0009]优选地，还包括绝缘层，所述绝缘层设置在所述测量单元和所述连接线与所述减震介质接触的部分。
[0010]优选地，还包括:用于装载所述测量单元的柔性部件，所述柔性部件连接在所述壳体上。
[0011]优选地，所述柔性部件为柔性线路板，同时所述柔性线路板作为连接线延伸到所述壳体之外。
[0012]优选地，所述壳体包括上壳和下壳，所述柔性线路板从所述上壳和所述下壳之间进入所述壳体之内。
[0013]优选地，所述柔性线路板具有从所述测量单元的装载位置延伸到所述壳体的分支。
[0014]本实用新型还提供一种具有减震结构的微机电测量装置，包括:测量单元和以上所述的减震装置，其中所述测量单元被设置在所述减震装置的减震介质中所留有的用于容纳所述测量单元的空间内。
[0015]优选地，所述测量单元为加速计或陀螺仪。
[0016]本实用新型的具有减震结构的微机电测量装置，能够有效地解决高频振动带来的测量不准确问题。将相关电路集成在测量单元中可独立使用，单独的测量单元也可以配合其他应用电路使用，并且其安装方式也比传统方法简单，可以省略在应用中做减震处理的流程。
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型涉及的一实施例的具有减震结构的微机电测量装置的侧向截面示意图；
[0018]图2(a)为本实用新型涉及的一实施例的具有减震结构的微机电测量装置的各部件的俯视示意图，图2(b)为柔性线路板的结构示意图；
[0019]图3为本实用新型涉及的另一实施例的具有减震结构的微机电测量装置的各部件的俯视不意图；
[0020]图4为本实用新型涉及的又一实施例的具有减震结构的微机电测量装置的各部件的俯视不意图；
[0021]图5为采用传统减震球减震方式测试得出的加速度计X轴的数据曲线示意图；
[0022]图6为采用本实用新型所涉及的具有减震结构的微机电测量装置测试得出的加速度计X轴的数据曲线示意图；
[0023]图7为采用传统减震球减震方式测试得出的陀螺仪X轴的数据曲线示意图；
[0024]图8为采用本实用新型所涉及的具有减震结构的微机电测量装置测试得出的陀螺仪X轴的数据曲线示意图。
【具体实施方式】
[0025]下面根据附图所示实施方式阐述本实用新型。此次公开的实施方式可以认为在所有方面均为例示，不具限制性。本实用新型的范围不受以下实施方式的说明所限，仅由权利要求书的范围所示，而且包括与权利要求范围具有同样意思及权利要求范围内的所有变形。
[0026]本实用新型涉及的具有减震结构的微机电(MEMS)测量装置，包括壳体、减震介质、测量单元和连接线，壳体中容纳减震介质，测量单元设置在壳体中被减震介质包围，连接线连接在测量单元上并延伸到壳体之外形成测量单元的信号输出端。上述连接线为软性连接线。壳体为密封结构，防止其中的减震介质外漏。所述的壳体可以由金属制成也可以由PC材料制成。所述减震介质为能够吸收高频振动的固态弹性介质、液态介质或半凝固态介质。减震介质优选绝缘的粘稠液态介质，例如绝缘油或绝缘娃脂。测量单元和连接线的外部可以涂覆绝缘层，这样非绝缘减震介质也可以用于本装置。测量单元为微机电测量单元，例如加速计或陀螺仪。
[0027]下面结合【具体实施方式】和附图，详细说明本实用新型涉及的具有减震结构的微机电测量装置。
[0028]实施例1
[0029]图1为本实施例的具有减震结构的微机电测量装置的侧向截面示意图；图2为本实施例的具有减震结构的微机电测量装置的各部件的俯视示意图。本实施例的具有减震结构的微机电测量装置的壳体12包括对称的上壳I