磁控直流溅射系统中除气装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体加工装置，尤其是一种磁控直流溅射系统中除气装置。
【背景技术】
[0002]磁控直流溅射中，物料在加工前需对其进行除气处理，即通过加热去除物料在运输与储存过程中的湿气。现有的除气装置往往通过传输带将物料带入除气腔室内，以对其进行加热处理。然而，由于物料在传输过程中，其下端面始终保持与传输带的贴合，致使其除气效果难以得到保证。
【发明内容】
[0003]本发明要解决的技术问题是提供一种磁控直流溅射系统中除气装置，其可使得物料的湿气去除效果得以显著改善。
[0004]为解决上述技术问题，本发明涉及一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道;所述除气腔室内部设置有电热源;所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔相对;每一个传输孔内均设置有传输连杆，传输连杆采用“L”型结构，其包括有沿水平方向延伸，且与传输孔相连接的第一杆段，以及沿竖直方向延伸的第二杆段，第二杆段的端部设置有用于放置物料的置放盘，置放盘在水平方向上进行延伸。
[0005]作为本发明的一种改进，每一个置放盘在传输轨道径向上的长度至多为两个传输链条间距的1/4，其可确保物料的下端面与空气间保持足够的接触面积，以确保其加热与除湿的效果得以保障。
[0006]作为本发明的一种改进，每一个置放盘在传输轨道径向上的长度在竖直方向上由上至下逐渐增加。采用上述设计，其可使得物料在受机械振动等因素掉落时，可在两个置放盘的上述结构下受到夹持，避免其坠入除气腔室内其余区域造成加工效率的降低。
[0007]作为本发明的一种改进，每一个置放盘的上端面均设置有橡胶防滑层，其包括有多条防滑纹路，其可通过橡胶防滑层显著增加物料与置放盘间的摩擦力，从而使得物料掉落的概率得以显著改善。
[0008]采用上述技术方案的磁控直流溅射系统中除气装置，其可通过传输轨道的结构设置，使得物料通过其两端搭载在两个置放盘上，以完成物料与置放盘之间的连接;传输链条带动传输连杆连通物料进行传输过程中，物料的上端面与下端面均可保持与空气的接触，从而使得除气腔室对于物料的湿气去除效果得以显著改善;与此同时，采用上述结构，传输连杆受置放盘与物料重力作用，其始终保持在竖直方向，故而物料可得以稳定的支撑与传输。
【附图说明】
[0009]图1为本发明示意图(传输连杆未标示)；
[0010]图2为本发明中传输连杆示意图；
[0011]附图标记列表:
[00?2] I 一除气腔室、2一传输链条、3一传输孔、4一传输连杆、41一第一杆段、42一第二杆段、43—置放盘、44 一橡胶防滑层、5—电热源。
【具体实施方式】
[0013]下面结合【具体实施方式】，进一步阐明本发明，应理解下述【具体实施方式】仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0014]实施例1
[0015]如图1与图2所示的一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室I，以及延伸至除气腔室I内部的传输轨道;所述除气腔室I内部设置有电热源5;所述除气腔室I之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条2构成，两条传输链条2之中分别设置有多个传输孔3，两条传输链条2之中的传输孔3 相对;每一个传输孔3内均设置有传输连杆4，传输连杆4采用“L”型结构，其包括有沿水平方向延伸，且与传输孔3相连接的第一杆段41，以及沿竖直方向延伸的第二杆段42，第二杆段42的端部设置有用于放置物料的置放盘43，置放盘43在水平方向上进行延伸。
[0016]作为本发明的一种改进，每一个置放盘43在传输轨道径向上的长度为两个传输链条2间距的1/5，其可确保物料的下端面与空气间保持足够的接触面积，以确保其加热与除湿的效果得以保障。
[0017]作为本发明的一种改进，每一个置放盘43在传输轨道径向上的长度在竖直方向上由上至下逐渐增加。采用上述设计，其可使得物料在受机械振动等因素掉落时，可在两个置放盘的上述结构下受到夹持，避免其坠入除气腔室内其余区域造成加工效率的降低。
[0018]采用上述技术方案的磁控直流溅射系统中除气装置，其可通过传输轨道的结构设置，使得物料通过其两端搭载在两个置放盘上，以完成物料与置放盘之间的连接;传输链条带动传输连杆连通物料进行传输过程中，物料的上端面与下端面均可保持与空气的接触，从而使得除气腔室对于物料的湿气去除效果得以显著改善;与此同时，采用上述结构，传输连杆受置放盘与物料重力作用，其始终保持在竖直方向，故而物料可得以稳定的支撑与传输。
[0019]实施例2
[0020]作为本发明的一种改进，每一个置放盘43的上端面均设置有橡胶防滑层44，其包括有多条防滑纹路，其可通过橡胶防滑层显著增加物料与置放盘间的摩擦力，从而使得物料掉落的概率得以显著改善。
[0021 ]本实施例其余特征与优点均与实施例1相同。
【主权项】
1.一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道;所述除气腔室内部设置有电热源;其特征在于，所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔一一相对;每一个传输孔内均设置有传输连杆，传输连杆采用“L”型结构，其包括有沿水平方向延伸，且与传输孔相连接的第一杆段，以及沿竖直方向延伸的第二杆段，第二杆段的端部设置有用于放置物料的置放盘，置放盘在水平方向上进行延伸。2.按照权利要求1所述的磁控直流溅射系统中除气装置，其特征在于，每一个置放盘在传输轨道径向上的长度至多为两个传输链条间距的1/4。3.按照权利要求2所述的磁控直流溅射系统中除气装置，其特征在于，每一个置放盘在传输轨道径向上的长度在竖直方向上由上至下逐渐增加。4.按照权利要求3所述的磁控直流溅射系统中除气装置，其特征在于，每一个置放盘的上端面均设置有橡胶防滑层，其包括有多条防滑纹路。
【专利摘要】本实用新型公开了一种磁控直流溅射系统中除气装置，其包括有除气腔室，以及延伸至除气腔室内部的传输轨道；所述除气腔室之中，传输轨道由两个彼此平行的传输链条构成，两条传输链条之中分别设置有多个传输孔，两条传输链条之中的传输孔一一相对；每一个传输孔内均设置有传输连杆，传输连杆采用“L”型结构，其端部设置有用于放置物料的置放盘，置放盘在水平方向上进行延伸；采用上述技术方案的磁控直流溅射系统中除气装置，其使得物料的上端面与下端面均可保持与空气的接触，从而使得除气腔室对于物料的湿气去除效果得以显著改善。
【IPC分类】C23C14/35
【公开号】CN205188427
【申请号】CN201520929755
【发明人】史进, 伍志军
【申请人】苏州赛森电子科技有限公司
【公开日】2016年4月27日
【申请日】2015年11月20日