一种真空罐体稳压装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及一种真空罐体稳压装置。
【背景技术】
[0002]在真空喷涂旋转靶材过程中，真空喷涂罐体要求压力在负压以下，并且由于真空喷涂时间较长，要求真空罐体内压力长时间保持在某一个值，喷枪在喷涂过程中，大量氮气和粉末通过喷枪进入真空罐体内，粉末通过反应附着在靶材上，而剩余的氮气则残留在真空，影响真空罐体的真空度，所以要求氮气要定期排出，保证真空罐体内的真空度。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种真空罐体稳压装置，能够解决现有技术的不足。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案如下:一种真空罐体稳压装置，包括真空罐体、控制装置、水环栗和压力检测装置，所述真空罐体通过管道与水环栗相连，所述真空罐体上设置有压力检测装置，所述压力检测装置包括压力传感器和压力表，所述压力传感器设置在真空罐体内部，所述压力表设置在真空罐体顶部，所述控制装置包括变频器和控制器，所述水环栗、压力传感器通过闭合回路分别与控制器相连，所述变频器通过导线与水环栗相连。
[0005]作为优选，所述控制装置上设置有显示屏、报警器和控制按钮。
[0006]作为优选，所述管道上设置有控制阀。
[0007]本实用新型结构简单，操作方便，以水环栗为抽真空设备，在罐体上设置压力传感器器，设定罐体内压力为负0.02MPa，当设备工作时变频器启动，带动水环栗工作，变频器通过压力变送器形成闭环回路，通过压力变送器传送给变频器的信号实现PID控制，从而达到罐体稳压的目的。
[0008]本实用新型的有益效果如下:
[0009]1.喷枪虽然不断有氮气进入真空罐体，真空罐体扔可以保持动态平衡，使压力保持一定。2.以设定任意压力值，通关传感器和水环栗都可以实现真空罐体的稳压。
【附图说明】
[0010]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图；
[0011]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0013]参照图1，本实用新型的包括真空罐体2、控制装置3、水环栗4和压力检测装置5，所述真空罐体2通过管道与水环栗4相连，所述真空罐体2上设置有压力检测装置5，所述压力检测装置5包括压力传感器和压力表，所述压力传感器设置在真空罐体2内部，所述压力表设置在真空罐体2顶部，所述控制装置3包括变频器和控制器，所述水环栗4、压力传感器通过闭合回路分别与控制器相连，所述变频器通过导线与水环栗4相连，所述真空罐体2上设置有观察窗，所述控制装置3上设置有照明灯。
[0014]值得注意的是，所述控制装置3上设置有显示屏、报警器和控制按钮。
[0015]值得注意的是，所述管道上设置有控制阀。
[0016]本实用新型工作时，水环栗先抽真空将罐体内压力抽至负0.02MPa以下，而后水环栗停止工作，保压。真空罐体内喷枪开始工作，罐体内压力逐渐上升，压力传感器检测到压力高于-0.02MPa，变频器带动水环栗工作，将罐体内压力抽至负0.02MPa。从而实现了真空罐体内压力的动态平衡，使压力始终保持在负0.02MPa。
[0017]以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种真空罐体稳压装置，其特征在于:包括真空罐体(2)、控制装置(3)、水环栗(4)和压力检测装置(5)，所述真空罐体(2)通过管道与水环栗(4)相连，所述真空罐体(2)上设置有压力检测装置(5)，所述压力检测装置(5)包括压力传感器和压力表，所述压力传感器设置在真空罐体(2)内部，所述压力表设置在真空罐体(2)顶部，所述控制装置(3)包括变频器和控制器，所述水环栗(4)、压力传感器通过闭合回路分别与控制器相连，所述变频器通过导线与水环栗(4)相连。2.根据权利要求1所述的真空罐体稳压装置，其特征在于:所述控制装置(3)上设置有显示屏、报警器和控制按钮。3.根据权利要求1所述的真空罐体稳压装置，其特征在于:所述管道上设置有控制阀。
【专利摘要】本实用新型公开了一种真空罐体稳压装置，包括真空罐体、控制装置、水环泵和压力检测装置，所述真空罐体通过管道与水环泵相连，所述真空罐体上设置有压力检测装置，所述压力检测装置包括压力传感器和压力表，所述压力传感器设置在真空罐体内部，所述压力表设置在真空罐体顶部。本实用新型喷枪虽然不断有氮气进入真空罐体，真空罐体扔可以保持动态平衡，使压力保持一定，以设定任意压力值,通关传感器和水环泵都可以实现真空罐体的稳压。
【IPC分类】C23C4/12
【公开号】CN205295443
【申请号】
【发明人】戴伟彬
【申请人】戴伟彬
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2015年12月17日