一种硅棒切割用的主辊的制作方法

文档序号:10970516阅读:443来源:国知局
一种硅棒切割用的主辊的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种硅棒切割用的主辊,属于硅片生产技术领域,该主辊包括主辊本体,在主辊本体外围设置有定位切割线用的齿槽,所述的齿槽底部设置有定位槽,定位槽的槽口与齿槽的槽壁相连接,定位槽的两侧壁之间的夹角α大于齿槽的两槽壁的夹角β,定位槽的槽口与齿槽的槽口之间的垂直距离为30um,齿槽的槽口宽度为60um,切割线的半径为50um,切割线位于齿槽中并随主辊本体的转动而移动,切割线的两侧分别与两侧的槽壁相接触,切割线的底部与定位槽的侧壁相接触,此时,切割线在齿槽中的接触面积和摩擦力均增大,切割线在移动过程中更加稳定,跳线和摆动的情况显著减少,从而提高了切割线的使用寿命和切割硅片的质量。
【专利说明】
一种硅棒切割用的主辊
技术领域
[0001]本实用新型属于硅片生产技术领域,涉及一种硅棒切割用的主辊。【背景技术】
[0002]切割硅棒时常用的方法是通过缠绕有钢丝的胶辊来进行切割,胶辊主要的用途是缠绕钢线,缠绕钢线靠齿槽,钢线上有金刚石砂浆,硅棒在移动过程中通过移动的钢线上的金刚石将硅棒切割成硅片,胶辊中的主辊转动带动钢丝移动,在相邻两个主辊之间的形成一组钢丝线。
[0003]现在主辊中的齿槽一般都是V型槽结构,角度大概30°左右,实际生产使用过程中发现非常容易跳线,也容易发生钢线的来回摆动。跳线现象是其中一条线跳到了另一条齿槽中,一条齿槽中的两条钢线相互磨损后出现断线情况,主辊直接报废;如果钢线来回摆动,导致钢线之间的间距不稳定,切割出来的硅片薄厚不均,良品率非常低。因此,需要对现有主辊的结构进行改进。【实用新型内容】
[0004]本实用新型克服了现有技术的缺点,提供了一种硅棒切割用的主辊,该主辊能够增大切割线与齿槽之间的接触面积和摩擦力,切割线随主辊运动时更加稳定,大大减少了跳线和来回摆动的现象,切割线的使用寿命和切割硅片的质量都有所提高。
[0005]本发明的具体技术方案是:
[0006]—种硅棒切割用的主辊,包括主辊本体,在主辊本体外围设置有定位切割线用的齿槽,关键点是,所述的齿槽底部设置有定位槽,定位槽的槽口与齿槽的槽壁相连接,定位槽的两侧壁之间的夹角a大于齿槽的两槽壁的夹角P。
[0007]所述夹角a的度数为90°。[〇〇〇8]所述的夹角0为3〇°。[00〇9 ]所述的定位槽的槽口与齿槽的槽口之间的垂直距离为30um。[〇〇1〇] 所述的齿槽的槽口宽度为60um。[〇〇11]所述的切割线的半径为50um。
[0012]本发明的有益效果是:本实用新型对齿槽进行了改进,齿槽的槽底设置为锥状,并且齿槽的顶角大于齿槽两侧槽壁之间的夹角,切割线位于齿槽中时,不仅两侧能够接触到齿槽的槽壁,底部也能够接触到齿槽的槽底两侧,切割线与齿槽之间的摩擦面相较于改进之前大大增加,齿槽对切割线所产生的摩擦力也随之增大,该摩擦力即是驱动切割线移动的初始动力,摩擦力及附着面积的增大,使得切割线在移动式时更加稳定,能够避免跳线和来回摆动的现象发生,切割线的使用寿命增长,切割得到的硅片厚度较为均匀,良品率能够稳定在较高水平。【附图说明】
[0013]图1是本实用新型具体实施例中主辊的结构示意图。
[0014]图2是图1中A的放大示意图。
[0015]附图中,1、主辊本体,2、齿槽,3、定位槽,4、槽壁,5、切割线。【具体实施方式】
[0016]本实用新型涉及一种硅棒切割用的主辊,包括主辊本体1,在主辊本体1外围设置有定位切割线5用的齿槽2,所述的齿槽2底部设置有定位槽3,定位槽3的槽口与齿槽2的槽壁4相连接,定位槽3的两侧壁之间的夹角a大于齿槽2的两个槽壁4的夹角0,定位槽3的截面形状可以是三角形、梯形或者多边形。
[0017]具体实施例,如图1和图2所示,定位槽3的截面形状选择为三角形,上端为定位槽3 的槽口,三角形的两侧壁之间的夹角a的度数为90°,齿槽2的两个槽壁4之间的夹角0为3〇°, 定位槽3的槽口与齿槽2的槽口之间的垂直距离为30um,该距离能够有效保证切割线运动时被限定在齿槽2中,齿槽2的槽口宽度为60um,切割线5的半径为50um,该半径的切割线5在齿槽中,既能够和两个槽壁4相接触,又能够和定位槽3的侧壁相接触,从而增大切割线5的接触面积和摩擦力,最终达到稳定的目的。
[0018]本实用新型通过设置夹角大于齿槽的定位槽来增大切割线在齿槽中的接触面积和摩擦力,切割线在运动过程中更加稳定,大大减少了跳线和来回摆动的状况,切割线的使用寿命明显延长,硅棒经过稳定的切割线的切割作用,其厚度较为均匀,硅片产品质量较尚。
【主权项】
1.一种硅棒切割用的主辊,包括主辊本体(1),在主辊本体(1)外围设置有定位切割线 (5)用的齿槽(2),其特征在于:所述的齿槽(2)底部设置有定位槽(3),定位槽(3)的槽口与 齿槽(2)的槽壁(4)相连接,定位槽(3)的两侧壁之间的夹角a大于齿槽(2)的两槽壁(4)的夹 角扎2.根据权利要求1所述的一种硅棒切割用的主辊,其特征在于:所述夹角a的度数为 90。。3.根据权利要求1所述的一种硅棒切割用的主辊,其特征在于:所述的夹角0为3〇°。4.根据权利要求1所述的一种硅棒切割用的主辊,其特征在于:所述的定位槽(3)的槽 口与齿槽(2)的槽口之间的垂直距离为30um。5.根据权利要求1所述的一种硅棒切割用的主辊,其特征在于:所述的齿槽(2)的槽口 宽度为60um〇6.根据权利要求1所述的一种硅棒切割用的主辊,其特征在于:所述的切割线(5)的半 径为50um。
【文档编号】B28D7/00GK205660932SQ201620559229
【公开日】2016年10月26日
【申请日】2016年6月12日
【发明人】楚树恒, 李世杰, 王冲普, 耿成浩, 周子宽
【申请人】宁晋阳光新能源有限公司
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