技术编号:10025546
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及表面微细结构加工,尤其涉及一种基于悬浊液靶材的微细结构激光诱导植入装置。背景技术表面功能化技术长久以来一直是科学研究的重要方向,在工程领域内的应用越来越普遍。近年来微纳米技术的发展,为表面功能化研究注入了新的活力,并随之展现出更为广阔的应用前景。通过改变物体表面的微观物理化学构成,或者在表面加工出一定的微细结构,可以改善工作面的机械、腐蚀、光电子、摩擦磨损以及流体力学等特性,从而提高器件的工作性能和效率。微电路是指具有高密度等效电路元件和(或...
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