技术编号:10106342
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着无线移动通信技术的迅猛发展,射频集成电路变得越来越重要,射频集成电路是一种工作在300MHz?300GHz频率范围内的集成电路。在射频集成电路中,电感器起着非常重要的作用,成为一种关键的电子元器件而广泛地应用在各种射频集成电路中,例如电压控振荡器、低噪声放大器以及混频器等都需要使用电感器,以满足低损耗、高集成的要求。现有的RF C0MS工艺中,一般由一层厚的金属层或两层金属层形成平面电感器,所述电感器具有多组线圈结构。为了获得更大的电感值,需要制作更多...
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