技术编号：10133753
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。酰亚胺薄膜是一种新型的耐高温有机聚合物薄膜，它是目前世界上性能最好的薄膜类绝缘材料，具有优良的力学性能、电性能、化学稳定性以及很高的抗辐射性能、耐高温和耐低温性能。由于其良好的综合性能其用途也逐渐扩大，广泛应用于微电子行业作为介电空间层、金属薄膜的保护覆盖层和基材；聚酰亚胺膜经由下述工序制备浇铸工序，将聚酰胺酸等聚酰胺前驱体溶液流延涂覆在支撑体上，将其加热，形成具有自我支撑性的自我支撑性膜；固化工序，对自我支撑性膜进行加热处理，完成酰亚胺化。另外，还可根据...
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