技术编号:10148279
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多线切割机由于具有较高的切割效率,在硅片生产过程中得到广泛应用。多线切割机的切割主体为金刚线,由金刚线对硅锭进行切割,因此,在多线切割机上固定有多个用于支撑或校正金刚线的滑轮装置。现有技术中用于多线切割机的滑轮装置,包括滑轮主体,滑轮主体上设置有轮体,轮体由固定于滑轮主体上的外盖压紧。在具体切割过程中,轮体需要经常更换,现有技术中的滑轮装置,如需要更换轮体就必须将外盖取下,然后才能将轮体取下并更换;但是,硅锭在切割过程中具有较多的砂粒,这些砂粒很容易进入外...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。