技术编号:10148281
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。单晶硅硅片、多晶硅硅片在清洗脱胶的过程中需将玻璃与硅片进行分离,当硅片与玻璃分离后硅片失去环氧树脂胶的约束,会往一个方向倾斜,由于硅片数量较大,当硅片往一个方向倾斜时,会造成最边缘硅片因受力较大,造成边缘硅片碎裂,从而导致碎片率增加。为了防止这一现象的发生,现大多都采用塑料挡板在晶棒翻转前卡入晶棒中,但由于在放置塑料挡板时会产生碎片,且塑料挡板的卡槽与载片篮支撑杆的配合不够紧密,所以塑料挡板会发生倾斜,硅片在脱离后还会出现一边倒的现象,不能够从根本上解决此...
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