技术编号:10241611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。其中,在进行真空离子蒸发时,真空镀膜设备的观察窗多会伴随着高温,导致观察窗变模糊,影响外部人员观察,同时由于真空镀膜设备的工作特性,几乎很长时间内,不会停机,观察窗透镜的使用寿命会由于高温影响,急剧缩短,如发生碎裂,会严重影响设备内部的真空度,进而影响镀膜效果。实用新型内容针对上述问题...
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