技术编号:10294014
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在滤光片镀膜生产过程中,真空镀膜室的真空洁净度是一项重要的生产工艺技术指标,真空洁净度就是指在真空环境中某些残余物质分子的多少,它直接影响到镀膜产品的质量,对于因油分子而影响真空洁净度的主要因素则来自真空机组的油扩散栗,虽然油扩散栗机组具有抽气能力大、对惰性气体抽速适应范围宽,且结构简单、使用寿命长、容易获得高真空等优点,同时油扩散栗机组使用时也存在真空洁净度不稳定,高温环境下设备冷却不佳,导致油蒸汽返流的弱点。真空洁净度不稳定,滤光片在真空镀膜过程中因油...
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