技术编号:10334532
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。如图1所示,捷佳伟创管式PECVD冷却水循环系统用于设备前、后法兰的降温作用,其采用串联水路是将冷却水经过后法兰循环后进入前法兰循环排出,当冷却水进入前法兰时水温已经升高,对前法兰没有良好的冷却效果,易造成需经常开关的炉门密封圈使用寿命降低,影响炉管密封性。且,捷佳伟创管式PECVD前法兰经常发生漏气,特别是在设备停机后复机时发生前法兰漏气,导致前法兰密封圈使用寿命变短,根据现冷却水路可分析出,前法兰的冷却水进水端是串联到后法兰的出水端,后法兰的出水端温度...
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