技术编号：10402098
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于太阳能电池生产设备，更具体地说，涉及一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置。背景技术太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应直接将光能转化成电能的装置。目前应用最广泛的太阳能电池是硅太阳能电池，硅电池片的制作主要包括以下步骤制绒、扩散、刻蚀、镀减反射膜、印刷电极和电极烧结。其中，刻蚀是制备硅太阳能电池片的重要工序，其目的是要去除在扩散工艺形成的电池片背面的磷硅玻璃，刻蚀质量的好坏直接影响电池片的转换效率。当前主要有两种刻蚀方法，即干法刻蚀和湿法刻蚀...
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