技术编号：10441504
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。液晶面板是液晶显示器中主要的显示功能器件，液晶面板结构一般由彩膜基板和阵列基板对盒而成，中间充有液晶，其显示原理是利用液晶分子具有的介电各向异性及导电各向异性，在上下两层基板上分别形成对应电极，从而在两基板间产生电场，外加电场使液晶分子的排列状态转换，使液晶薄膜产生各种光电效应。光刻工艺是液晶面板制造工艺中很重要的一步，该工艺包括涂胶、曝光和显影等步骤。在每一步骤中的基板从上一制程进入下一制程之前，要先存放在基板暂存设备中，等下一制程时，再到基板暂存设备中...
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